此列表用于销售理想真空分析VAC 残留气体分析仪，其组件如下：

• 理想真空分析仪VAC RGA
• 1-300 AMU 扫描范围。
• 电子倍增器信号放大器。
• 法拉第杯探测器。
• 内置皮拉尼真空计用于粗真空测量。
• 内置热阴极离子计，用于高真空测量。
• Conflat (CF) 2.75” 安装法兰。

还包括：
• 24 VDC 通用电源（120/240 VAC 输入）和 6' 电缆。
• USB 转 DB-9 公头 RS-232 串行通信电缆，1 英尺长。
• DB-9 公对母 RS-232 串行延长线，25 英尺长。
• CF 2.75 英寸铜垫片和螺栓套件。
• 理想的真空 AutoZ ⁺基础版软件。

Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA 是一款紧凑型质谱仪，可帮助确定真空室内残留气体的种类和浓度。它可用于泄漏检测、排气分析、涂层和蚀刻应用中的进料气体质量控制、工艺故障排除等。AnalyzaVAC RGA 探头内置皮拉尼真空计和 Bayard Alpert 热阴极真空计，可防止其在过高的压力下运行，从而降低系统复杂性并避免昂贵的维护。每个系统都配有四极杆探头、控制和通信单元 (CCU)、适用于 Microsoft Windows® 10 的 AutoZ ⁺ Basic 软件以及所有必要的电源和通信电缆。

AnalyzaVAC 通过使用由双可现场更换的钍铱丝以热离子方式发射的电子来电离探针尖端的气体。使用施加到四极过滤器的不同无线电频率和直流电压的组合，根据质荷比分离产生的阳离子。带正电的离子沿四极中心向下移动，要么被电子倍增器放大，要么被探针末端的法拉第杯检测器直接检测到。每种气体都会产生独特的光谱指纹，这是其元素的天然同位素丰度和 RGA 高能电子电离引起的分子碎裂的组合。

RGA 设计用于在总压力低于 1×10 ^-6 Torr 时连续运行，最佳压力约为 2×10 ^-7 Torr。在较高压力下运行 RGA 会导致电离器、灯丝和四极杆的使用寿命大幅缩短。内置压力表在内部和 AutoZ ⁺软件中均有使用，以防止 RGA 受到致命损坏（在大多数情况下）。

虽然 RGA 探头可以直接安装到高真空室中，但最佳做法是使用一段管道和隔离阀将 RGA 与真空室隔离。这可以防止在真空室排气或引入新样品或设备时发生污染或意外损坏。如果使用 RGA 测量低真空室中的气体，则应将 RGA 放在一个单独的小室中，该小室具有自己的高真空泵送系统，并通过泄漏阀连接到主室。Ideal Vacuum 提供 RGA 套件，其中包含所有必要的设备，可安全测量高达 1000 托的压力下的气体。

所有 AnalyzaVAC 探头均配有法拉第杯检测器，可提供可重复、定量、高线性检测，检测压力低至 1.5×10 ^-12 Torr ^* 。可选电子倍增器可将定性测量的灵敏度提高到惊人的 6×10 ^-15 Torr ^* 。经过适当校准后，标准检测器和配备电子倍增器的检测器在 10% 峰高（或更高）时均具有 0.5 AMU 分辨率。

Ideal Vacuum 的永久有效基本 AutoZ ⁺软件是一款 Windows 10 应用程序，可通过台式机或笔记本电脑控制任何 AnalyzaVAC RGA 系统。AutoZ ⁺使操作员能够控制所有采集参数。AutoZ ⁺提供实时数据流，并允许用户以模拟光谱、质量直方图和随时间变化的趋势形式查看收集的数据。为了消除不需要的峰值和光谱贡献，用户可以使用先前收集的光谱作为基线数据。

Ideal Vacuum 的可选高级 AutoZ ⁺软件升级包括基本软件的所有功能，并增加了高级数据记录、平均、光谱拟合以及访问 Ideal Vacuum 物质库的功能，以及向库中添加其他化合物的功能。Premium AutoZ ⁺使用强大的最小二乘算法来计算常见残留气体的分压，确定它们对当前显示光谱的贡献，并隔离未知峰。Premium 软件必须每年更新，否则将恢复为基本版本。

一些RGA应用程序：
• 泄漏检测
• 过程监控
• 抽气和烘烤监控
• 真空诊断
• 原料气质量控制
• 气体和污染物识别

AnalyzaVAC 探头是一种精密仪器，从原包装中取出后不享受保修。

*使用氮气、5 秒停留时间、1 amu 全峰宽、10% 高度、70 eV 电子能量、6 eV 离子能量和 2 mA 电子发射进行测量，并计算与基线噪声的三个标准偏差。