Ideal Vacuum AnalyzaVAC RGA 是一款紧凑型质谱仪，可帮助确定真空室内残留气体的种类和浓度。它可用于泄漏检测、排气分析、涂层和蚀刻应用中的进料气体质量控制、工艺故障排除等。

RGA 直接连接到腔室，设计用于在总压力低于 1×10 ^-6 Torr 且最佳压力约为 2×10 ^-7 Torr 时连续运行。在较高压力下运行 RGA 会导致电离器、灯丝和四极杆的使用寿命大幅缩短。AnalyzaVAC 的内置压力表既可用于内部，也可用于随附的 AutoZ ⁺软件，以防止对 RGA 造成致命损坏（在大多数情况下）。

为了测量中真空至大气压的腔室中的气体，必须将 RGA 放置在一个单独的小腔室中，该腔室配有自己的高真空泵送系统。然后，RGA 真空系统通过泄漏阀连接到腔室，这使得 RGA 能够对主腔室中的气体进行采样，同时仍保持精密四极杆探针周围的高真空。

该套件包含使用 RGA 测量高压气体所需的一切。

组件和功能：

• 理想的真空分析VAC RGA。
• 1-300 AMU 扫描范围。
• 电子倍增器信号放大器。
• 法拉第杯探测器。
• 内置皮拉尼压力计可防止 RGA 在高压下开启。
• 内置热阴极离子计，可快速测量高真空压力。
• 安捷伦瓦里安 TPS-Mini TwisTorr 74 FS 涡轮分子泵站，具有一键高真空操作功能。
• 手动安捷伦可变泄漏阀可实现从 1000 Torr 到高真空的室体 RGA 采样。
• 采用全金属密封的焊接歧管可最大程度地减少来自其他气源的测量污染。
• 理想的真空 AutoZ ⁺基础版软件。

Agilent Varian TPS-mini 泵站与手动 Agilent 可变泄漏阀相结合，可对压力范围至少为 9 个数量级的腔室进行精确的气体采样。但是，单个隔离阀裂点并不适用于该范围内的所有压力。为获得最佳效果，应在腔室压力发生变化时手动重置阀门。如果腔室压力与当前工作压力相比将上升超过 1 个数量级（即在腔室排气期间），则应先关闭泄漏阀以防止损坏 RGA 和泵送系统。腔室达到稳定压力后，应关闭 RGA 离子发生器，然后重新打开阀门，直到达到 RGA 子系统内所需的压力。然后可以重新打开 RGA 离子发生器并恢复测量。

为了使泄漏阀在压力循环中保持在某个破裂点，可以使用额外的手动波纹管阀将 RGA 与腔室隔离。

关于理想真空 AnalyzaVac RGA：

AnalyzaVAC 通过使用由双可现场更换的钍铱丝以热离子方式发射的电子来电离探针尖端的气体。使用施加到四极过滤器的不同无线电频率和直流电压的组合，根据质荷比分离产生的阳离子。带正电的离子沿四极中心向下移动，要么被电子倍增器放大，要么被探针末端的法拉第杯检测器直接检测到。每种气体都会产生独特的光谱指纹，这是其元素的天然同位素丰度和 RGA 高能电子电离引起的分子碎裂的组合。

所有 AnalyzaVAC 探头均配有法拉第杯检测器，可提供可重复、定量、高线性检测，检测压力低至 1.5×10 ^-12 Torr ^* 。可选电子倍增器可将定性测量的灵敏度提高到惊人的 6×10 ^-15 Torr ^* 。经过适当校准后，标准检测器和配备电子倍增器的检测器在 10% 峰高（或更高）时均具有 0.5 AMU 分辨率。

Ideal Vacuum 的永久有效基本 AutoZ ⁺软件是一款 Windows 10 应用程序，可通过台式机或笔记本电脑控制任何 AnalyzaVAC RGA 系统。AutoZ ⁺使操作员能够控制所有采集参数。AutoZ ⁺提供实时数据流，并允许用户以模拟光谱、质量直方图和随时间变化的趋势形式查看收集的数据。为了消除不需要的峰值和光谱贡献，用户可以使用先前收集的光谱作为基线数据。

Ideal Vacuum 的可选高级 AutoZ ⁺软件升级包括基本软件的所有功能，并增加了高级数据记录、平均、光谱拟合以及访问 Ideal Vacuum 物质库的功能，以及向库中添加其他化合物的功能。Premium AutoZ ⁺使用强大的最小二乘算法来计算常见残留气体的分压，确定它们对当前显示光谱的贡献，并隔离未知峰。Premium 软件必须每年更新，否则将恢复为基本版本。

一些RGA应用程序：

• 泄漏检测
• 过程监控
• 抽气和烘烤监控
• 真空诊断
• 原料气质量控制
• 气体和污染物识别

* AnalyzaVAC 探头是一种精密仪器。使用不当、操作不当或长时间在高压下操作都可能污染和损坏探头。因此，探头在从原包装中取出后不享受保修。
Agilent TPS Mini Turbo 享有完整的制造商保修。任何其他组件的保修均针对产品缺陷。

对于大多数气体，RGA 的最佳总工作压力为 2×10 ^-7 Torr。只要使用可变泄漏阀和涡轮泵系统降低 RGA 系统内部的压力，外部压力可能会高得多。长时间在较高的 RGA 系统压力下运行会导致探针过早老化、增益损失、光谱漂移以及填充物和离子发生器烧坏。RGA 可以在以下压力区域使用相应的时间长度：
10 ^-4 Torr，数小时
10 ^-5 Torr，几天
10 ^-6 Torr，几个月
10 ^-7 Torr，几年
10 ^-8托，无限期
有机蒸汽的压力应保持在比大气低 2 倍的水平，以防止烟灰污染填料和离子发生器。硅树脂蒸汽的压力应保持在比大气低至少 10 倍的水平，以防止玻璃在填料和离子发生器上堆积。腐蚀性蒸汽对 RGA 的损害也比普通气体更大。通过正确管理压力，RGA 可用于测量这些气体，而无需进行昂贵的维修。

*使用氮气、5 秒停留时间、1 amu 全峰宽、10% 高度、70 eV 电子能量、6 eV 离子能量和 2 mA 电子发射进行测量，并计算与基线噪声的三个标准偏差。