理想真空立方体 6 x 6 真空立方体 XYZ 平台板,配有三丰定位千分尺。这些 6 x 6 真空立方体 XYZ 平台板允许在真空立方体内动态精细调整测试件的位置。这些平台允许 X 和 Y 轴行程 0.50 英寸 (13 毫米),Z 轴行程 0.25 英寸,通过硬化钢直线轴承实现精确运动和长寿命。
平台板本身在所有三个轴上都采用弹簧张紧,消除了反转行进方向时的间隙。高品质的 Mitutoyo 测微头通过高性能氟橡胶轴密封,在测微头每旋转一圈时,目标水平移动 0.025 英寸,重复定位精度为 0.001 英寸。如果需要,测微头可与高精度电机执行器兼容(请致电了解更多信息)。
在真空侧,板和移动块由 6061-T6 铝制成,并配有通风不锈钢 304 或 316 紧固件,可消除虚拟泄漏。空气侧金属表面采用蓝色粉末涂层。虽然自张紧系统允许以任何方向安装此板,但最佳负载方向是麦克风因重力而支撑负载。平放时的负载限制为 4 磅,垂直安装时为 2 磅。