MKS HPS® 系列 317 对流增强型皮拉尼传感器 KF16 NW16 (PN 103170010SH)（与 MKS 947 对流增强型皮拉尼压力表控制器兼容） MKS HPS® 317 对流增强型皮拉尼传感器以极低的成本提供可靠、稳定的压力测量。由于暴露于真空的唯一材料是不锈钢、镍、玻璃和铂，因此该传感器与多种工艺气体兼容，特别适合 UHV 应用。铂丝有效地消除了对流传感器较高测量范围内的任何读数差异。 317 传感器比热电偶传感器更准确，可在更宽的压力范围内进行测量，并对过程压力变化做出更快的响应。对流增强型皮拉尼传感器的测量上限比传统皮拉尼传感器的测量上限从 100 Torr 提高到 1,000 Torr。当监测真空系统从大气压到基础压力的抽气时，这个较高的限制非常有用。该传感器可补偿 10° 至 50°C 范围内的室温变化。与所有热导率传感器一样，317 传感器天生对气体类型敏感。此功能使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。它是质谱仪检漏仪的补充，可以更有效地发现较小的泄漏。该传感器具有屏蔽射频噪声功能，符合 CE 标志要求，并且可烘烤至 100°C。该 317 传感器包括标准真空连接件，例如 KF16 NW16 法兰。该传感器的电缆不包括在内，但提供标准 10 英尺长度。 317 传感器可与该网站上出售的 947 系列对流皮拉尼真空计控制器一起使用。完整的规格手册和操作手册可在下面以 PDF 格式下载。

MKS HPS® 系列 317 对流增强型皮拉尼传感器 KF25 NW25 (PN 103170027SH)（与 MKS 947 对流增强型皮拉尼压力表控制器兼容） MKS HPS® 317 对流增强型皮拉尼传感器以极低的成本提供可靠且稳定的压力测量。由于暴露于真空的唯一材料是不锈钢、镍、玻璃和铂，因此该传感器与多种工艺气体兼容，特别适合 UHV 应用。铂丝有效地消除了对流传感器较高测量范围内的任何读数差异。 317 传感器比热电偶传感器更准确，可在更宽的压力范围内进行测量，并对过程压力变化做出更快的响应。对流增强型皮拉尼传感器的测量上限比传统皮拉尼传感器的测量上限从 100 Torr 提高到 1,000 Torr。当监测真空系统从大气压到基础压力的抽气时，这个较高的限制非常有用。该传感器可补偿 10° 至 50°C 范围内的室温变化。与所有热导率传感器一样，317 传感器天生对气体类型敏感。此功能使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。它是质谱仪检漏仪的补充，可以更有效地发现较小的泄漏。该传感器具有屏蔽射频噪声功能，符合 CE 标志要求，并且可烘烤至 100°C。该 317 传感器包括标准真空连接件，例如 KF25 NW25 法兰。该传感器的电缆不包括在内，但提供标准 10 英尺长度。 317 传感器可与该网站上出售的 947 系列对流皮拉尼真空计控制器一起使用。完整的规格手册和操作手册可在下面以 PDF 格式下载。

MKS HPS® 系列 317 对流增强型皮拉尼真空传感器具有 0.001 至 1000 Torr、Conflat CF 1.33 英寸 MKS 零件号：103170013SH。 MKS HPS® 317 对流增强型皮拉尼传感器以极低的成本提供可靠且稳定的压力测量，与 MKS 947 对流增强型皮拉尼压力表控制器兼容。由于暴露于真空的唯一材料是不锈钢、镍、玻璃和铂，因此该传感器与多种工艺气体兼容，特别适合 UHV 应用。铂丝有效地消除了对流传感器较高测量范围内的任何读数差异。 317 传感器比热电偶传感器更准确，可在更宽的压力范围内进行测量，并对过程压力变化做出更快的响应。对流增强型皮拉尼传感器的测量上限比传统皮拉尼传感器的测量上限从 0.001 增加到 1,000 Torr。当监测真空系统从大气压到基础压力的抽气时，这个较高的限制非常有用。该传感器可补偿 10° 至 50°C 范围内的室温变化。与所有热导率传感器一样，317 传感器天生对气体类型敏感。此功能使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。它是质谱仪检漏仪的补充，可以更有效地发现较小的泄漏。该传感器具有屏蔽射频噪声功能，符合 CE 标志要求，并且可烘烤至 100°C。该 317 传感器包括标准真空连接件，例如 CF 1.33 英寸 Mini-CF 法兰接头。该传感器的电缆不包括在内，但提供标准 10 英尺长度。 317 传感器可与该网站上出售的 947 系列对流皮拉尼真空计控制器一起使用。完整的规格手册和操作手册可在下面以 PDF 格式下载。

MKS HPS® 系列 317 对流增强型皮拉尼真空传感器具有 0.001 至 1000 Torr、Conflat CF 2.75 英寸 MKS 零件号：103170014SH。 MKS HPS® 317 对流增强型皮拉尼传感器以极低的成本提供可靠且稳定的压力测量，与 MKS 947 对流增强型皮拉尼压力表控制器兼容。由于暴露于真空的唯一材料是不锈钢、镍、玻璃和铂，因此该传感器与多种工艺气体兼容，特别适合 UHV 应用。铂丝有效地消除了对流传感器较高测量范围内的任何读数差异。 317 传感器比热电偶传感器更准确，可在更宽的压力范围内进行测量，并对过程压力变化做出更快的响应。对流增强型皮拉尼传感器的测量上限比传统皮拉尼传感器的测量上限从 0.001 增加到 1,000 Torr。当监测真空系统从大气压到基础压力的抽气时，这个较高的限制非常有用。该传感器可补偿 10° 至 50°C 范围内的室温变化。与所有热导率传感器一样，317 传感器天生对气体类型敏感。此功能使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。它是质谱仪检漏仪的补充，可以更有效地发现较小的泄漏。该传感器具有屏蔽射频噪声功能，符合 CE 标志要求，并且可烘烤至 100°C。该 317 传感器包括标准真空连接件，例如 CF 2.75 Conflat 法兰。该传感器的电缆不包括在内，但提供标准 10 英尺长度。 317 传感器可与该网站上出售的 947 系列对流皮拉尼真空计控制器一起使用。完整的规格手册和操作手册可在下面以 PDF 格式下载。

MKS 真空计电缆，用于 345 或 317 连接至 937B 和 946 控制器，10 英尺。 (3m) 长。 MKS 零件号：103170006SH。 MKS 真空计信号电缆将 345 或 317 真空计传感器连接到 945、947、937B 和 946 控制器。它连接到 MKS 控制器的背面以及 MKS 345 或 317 Pirani 传感器的侧面。这仅是电缆。 947 系列对流增强型皮拉尼控制器提供许多标准功能且易于使用。与压力成比例的模拟输出信号是标准的，并且可以从控制器的后部访问，那里是连接该电缆的地方。过程由两个独立的继电器设定点控制，这是该单通道控制器的标准配置。继电器可设置为在控制器设定点范围内的任何位置跳闸。所有操作控件都可以从控制器的前面板方便地访问，包括电源开关。从前面板调整设定点，同时查看易于读取的大显示屏。设定点激活通过红色 LED 指示灯显示。可以随时检查设定点，而不会中断过程控制。

MKS 真空计电缆，用于 345 或 317 连接至 945、947、937B 或 946 控制器，长 25 英尺 (7.5m)。 MKS 零件号：103170007SH。 MKS 真空计信号电缆将 345 或 317 真空计传感器连接到 945、947、937B 或 946 控制器。它连接到 MKS 控制器的背面以及 MKS 345 或 317 Pirani 传感器的侧面。这仅是电缆。 947 系列对流增强型皮拉尼控制器提供许多标准功能且易于使用。与压力成比例的模拟输出信号是标准的，并且可以从控制器的后部访问，那里是连接该电缆的地方。过程由两个独立的继电器设定点控制，这是该单通道控制器的标准配置。继电器可设置为在控制器设定点范围内的任何位置跳闸。所有操作控件都可以从控制器的前面板方便地访问，包括电源开关。从前面板调整设定点，同时查看易于读取的大显示屏。设定点激活通过红色 LED 指示灯显示。可以随时检查设定点，而不会中断过程控制。