Agilent Varian 4UHV 离子泵控制器,带 1 x 120 瓦负极性
安捷伦瓦里安部件号 9299100这些 Agilent Varian 4UHV 离子泵控制器(部件号 9299100)具有一个高压 HV 通道,在负极性时提供 120 瓦功率(1 x 120 W 负极性)。订购时请务必注意,4UHV 离子泵控制器最多可购买四个高压通道,具有不同的额定输出功率,最大总功率为 400 瓦。同样重要的是要知道这些 4UHV 控制器上的输出极性不可现场调节,您必须选择具有所需输出极性的适当部件号,例如,(二极管和贵族二极管)需要正电压,而三极管样式元件(旧样式) Triode 和 StarCell)需要负电压才能工作。 Agilent Varian 4UHV 离子泵控制器的所有部件号均采用 100 - 240 VAC 输入电源运行,并配有 Fischer HV 连接器,设计用于与中型和大型离子泵(例如 20、40、55、75、 150、300 和 500 升/秒泵。
新型 Agilent 4UHV 离子泵控制器
最先进的新型安捷伦 4UHV 离子泵控制器可同时独立操作多达四个泵。 4UHV 启动并控制任何类型(二极管、Noble Diode、StarCell)和尺寸(从 20 到 500 l/s)的离子泵。大型四行 LCD 显示屏可同时读取各个泵的电压、电流和压力。可变电压功能可确保在整个工作压力范围内实现最佳抽速和压力读数。内置设定点、远程操作和 RS232/485 计算机接口均为标准配置(Profibus 和以太网可选)。
优化的抽速
4UHV 将选择正确的工作电压来优化离子泵的抽速。通过根据工作压力施加高压,可以提高抽速性能。这是因为离子轰击阴极的能量是标称施加的高压,由于离子泵电池中存在的电子云而导致空间电荷效应而减少。由于空间电荷效应与压力相关,因此采用可变 HV 来维持最佳轰击能量,从而在任何压力下实现最佳的泵送性能。
多功能性
4UHV 有不同的配置,以便独立供电、控制和监控不同尺寸的多个泵的任意组合(从一台到四台泵、从 20 到 500 l/s)。对于每个要运行的泵数量,都有多种选项可供选择,单泵为 120W 或 200W,两台泵为 2 x 80 W 或 2 x 200 W,三台泵为 2 x 80 + 200 W,四台泵为 4 x 80 W泵。
安全
为了保护您免受高压影响,电缆配备了联锁系统,当插头从泵上拔下时,该系统会立即关闭高压。保护模式限制电流以保护泵和控制器。
压力读数
4UHV 经过预编程,可自动将任何 Vaclon Plus 泵的电流读数转换为压力。由于其能够检测低至 10 nA 的离子电流,因此可以测量 10-10 mbar 范围内的压力。为了确保在 UHV 区域获得可靠的压力读数,4UHV 根据压力优化了所施加的高压。结果,消除了离子泵的漏电流,从而提供更准确的压力读数。
智力
要访问该装置,您可以使用模拟或 RS232/485 端口。该控制器使用与我们其他智能真空设备(Navigator 涡轮泵控制器和变频涡旋和旋片泵)相同的协议,让您快速、方便地访问真空系统的所有元件。 Profibus 和以太网通信是可选的。
低噪声
为了保护您免受高压影响,电缆配备了联锁系统,当插头从泵上拔下时,该系统会立即关闭高压。保护模式限制电流以保护泵和控制器。
我的离子泵需要多少功率?
功率要求取决于泵的尺寸和启动压力;泵越大,启动压力越高,功耗越高。最大的标准离子泵配置为 500 升/秒,可以在高达 1-5 毫巴的压力下以 200 瓦的功率轻松启动,而中型泵 (75 升/秒) 在相同压力下需要不到 80 瓦的功率才能启动,并且80 W 足以在典型离子泵工作范围(低于 2-6 mbar)内运行 500 l/s。
为什么过去需要更高的额定功率?
过去,离子泵是借助吸附泵启动的,只能达到 10-4 mbar。因此,需要更大、更强大的离子泵控制器。在如此高的压力下启动的离子泵的使用寿命要短得多(在 10-4 mbar 下运行 1 分钟相当于在 10-9 mbar 下运行 2 个月)。当今的无油涡轮泵以无油主泵为后盾,实现较低的压力,从而降低离子泵的启动压力。这降低了离子泵控制器的最大功率要求并延长了离子泵的使用寿命。
消极还是积极?
负电势或正电势的要求取决于安装在离子泵中的泵送元件。二极管类型元件(二极管和贵族二极管)需要正电压,而三极管类型元件(旧式三极管和 StarCell)需要负电压才能工作。如上所述,输出电压极性不是 4UHV 离子泵控制器的可选参数,您必须选择具有所需输出极性的适当零件号(请参阅下面的用户手册和目录部分)。