Agilent Varian IDP-10 干式涡旋真空泵，1 相，带入口隔离阀，部件号：X3810-64010

安捷伦瓦里安 IDP-10 干涡旋真空泵专为极其安静的 < 55 dBA 和低振动运行而设计，在 60 Hz 频率下提供 6.0 cfm (10.2 m3/h) 的峰值抽气速度，并产生 20 mTorr 的极限压力。 DSUB9 连接器允许远程打开/关闭泵以及在 1350 至 1900 RPM 之间微调泵速度。这些新型 Agilent IDP-10 干式涡旋泵采用密封设计，适用于氦气再循环以及真空炉和前级泵应用。密封设计提供了穿过泵的清洁气体路径，消除了任何油或油脂污染的风险，使电机和轴承能够在大气压力下运行，从而将它们与真空工艺气体或水蒸气隔离。 Agilent IDP-10 支持全球单相电机，工作电压范围可在 50/60Hz 时在 100-120V 或 200-230 VAC 之间轻松切换。

该 IDP-10 型号（安捷伦技术部件号 X3810-64010）包含一个集成入口隔离阀，可在 IDP-10 断电时防止空气通过涡旋泵入口向后迁移。该隔离阀可防止客户的腔室或仪器在系统断电时突然排气。由于该隔离阀内置于泵模块中，因此泵体没有额外的高度；两种 IDP-10 型号尺寸相同。

高真空泵，例如涡轮分子泵，越来越多地与干式前级泵技术结合使用。基于涡旋技术的泵已成为后级涡轮分子高真空泵的首选干泵技术。有几个因素使安捷伦瓦里安 IDP-10 涡旋技术成为卓越的干泵选择，包括清洁、可预测的性能、较低的振动和噪音以及较长的使用寿命。

现代 Agilent IDP-10 涡旋技术基于平稳的轨道运行；真空泵的气体压缩和排气循环以最小的脉动和非常低的振动发生。根据应用的不同，振动可能会产生不利影响，并且可能需要使用额外的组件，例如隔振器。新型 Agilent IDP-10 是各种不允许过度振动的应用的首选干泵。

当前的涡旋泵技术和顶部密封设计是共同作用的因素，以提供低基础压力，并在使用寿命内逐渐增加基础压力。基础压力的逐渐增加允许在真空水平变得不可接受之前进行维护，并减少计划外停机时间。像 Agilent IDP-10 这样的典型涡旋泵将达到 20 mTorr 的基础压力。

这些 Agilent IDP-10 干式涡旋泵使用简单的双涡旋机构产生真空，其中一个嵌套涡旋围绕另一个涡旋旋转，形成捕获气体的移动区域。气体从外周进入涡旋组，并向轮毂中心移动和压缩，并在中心排出。简单的双涡旋设计具有许多优点，包括较低的噪音和振动水平、简单且不频繁的维护要求，以及消除灾难性故障模式。

这些新的 Agilent Technologies IDP-10 包括改进的固体尖端密封件，可延长尖端密封件的使用寿命和更长的维修间隔。固体顶部密封材料在可冷凝蒸汽应用中表现良好。 IDP-10 的端部密封件更换比以往任何时候都更加容易。除了顶部密封套件 (X3807-67000) 之外，更换磨损的顶部密封件还需要一些简单的工具：平头螺丝刀、4 和 5 毫米内六角扳手、异丙醇、一些不起毛的工具湿巾。请参阅使用手册第 22 - 24 页了解顶部密封件更换程序。新型 Agilent IDP-10 密封干涡旋真空泵的 PDF 格式说明手册和小册子可在下面的下载部分下载。