Agilent Varian TwisTorr 84 FS 涡轮泵套件配有 ISO-K 63 进样口和 IDP-3 干式涡旋前级泵、84FS AG 远程控制器和空气冷却套件。

这款 Agilent TwisTorr 84-FS 涡轮真空泵套件配备干式涡旋低真空泵，是实验室应用的理想选择。该套装包括一台 Agilent Varian TwistTorr 84-FS 涡轮泵，配有 ISO-K 63 入口法兰、抽速为 67 l/s、KF-16 前级法兰和入口滤网。这款 84 FS 涡轮泵的启动时间不到 2 分钟，最大转速为 81,000 rpm，安捷伦部件号为 X3502-64000。该套装包括一个 IPD-3 干式涡旋前级泵和一根 120V 电源线（NEMA 5-15P 插头）。 IDP-3 在 60 Hz 频率下的峰值抽速为 2.1cfm (3.6 m ³ /h)，产生 250 mTorr 的极限压力，并且非常安静 (< 55 dBA)。该交易还包括带有 120V 电源线（NEMA 5-15P 插头）的 TwisTorr 84FS AG 遥控器。控制器附有一条 5 m 长的电缆，用于连接泵并为其供电。该控制器具有 RS232/485 串行通信和专用 24 VDC 输出，用于为空气冷却风扇、通风阀和压力表供电。控制器可以安装在机架或台式上。该套装还包括径向安装的强制风冷套件，以及用于连接控制器的 5 m 长延长电缆。可根据要求提供水冷版本。该涡轮泵套件包括低真空泵，但不包括低真空管线、真空室、压力测量表或排气阀，所有这些均由 Ideal Vacuum 单独提供和销售。该套装交易作为套件存储在我们的库存中，由许多单独的部件组成，每个部件都列在下面的套件组件可用性部分中。

这些安捷伦瓦里安 TwisTorr 84-FS 涡轮分子高真空泵具有全新的改进性能，包括更新设计的迷宫式 Twistorr 拖动级技术和安捷伦浮动悬架 (AFS) 以及优化的热设计映射。 TwisTorr 拖动级为氢气和氦气等轻质气体提供高压缩比，以提供高吞吐量和高前级压力耐受性，从而允许使用更小、更经济的前级泵。该技术实现了紧凑的转子设计，既节能又保持较低的工作温度。安捷伦浮动悬浮系统可降低噪音和振动，并确保最佳的轴承工作条件，从而延长使用寿命、最大限度地减少系统停机时间并确保长期稳定的泵送性能。独特的陶瓷球轴承具有永久润滑功能，无需加油和维护，并允许泵在任何方向运行。安捷伦涡轮泵专为在实际应用中实现最佳性能而设计，其紧凑的尺寸可满足具有严格空间要求的行业的需求。这些新型 Agilent TwisTorr 84 FS 涡轮泵几乎不需要维护，甚至无需维护。

此一揽子交易的申请包括：

• 质谱
• 气相色谱质谱 (GC/MS)
• 液相色谱质谱法 (LC/MS)
• 电感耦合等离子体质谱 (ICP-MS)
• 飞行时间质谱 (TOF)

真空研发：

• 高能物理
• 融合技术
• 一般特高压研究
• 同步加速器光源 粒子加速器

纳米技术仪器：

• 电子显微镜
• 扫描电子显微镜 (SEM)
• 透射电子显微镜 (TEM)
• 聚焦离子束系统 (FIB)
• 表面分析
• 半导体制造

工业真空处理：

• 薄膜沉积：
• 玻璃镀膜设备（建筑和汽车玻璃、平板显示器）
• 薄膜太阳能电池生产（光伏）
• 光学数据介质（CD、DVD、磁光盘）
• 磁性存储介质
• 表面处理
• 光学镀膜（眼科、精密光电）
• 薄膜或箔片上的卷筒/卷筒涂层
设备处理：
• 电视及显示器显像管制造
• 灯的疏散（高速公路照明、光束灯）
• X 射线管和电子设备
一般流程：
• 真空炉
• 冶金
说明手册和小册子可在下面的下载部分获取。