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关键词       零件号:      

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Agilent Varian VHS-6 水冷扩散泵 ISO200K,外径 9.5 英寸,外部帽,120V 2200W,L6193311

健康)状况:
  新的
零件号:
  P106798
保修单:
  As-Stated*

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NT$314,466.63

在 销售: NT$283,020.03

Agilent Varian VHS-6 水冷扩散泵 ISO200K,外径 9.5 英寸,外部帽,120V 2200W,L6193311 283020.03
货币: New Taiwan Dollar (TWD)

描述

Agilent Varian VHS-6 水冷真空扩散泵,ISO 200K 入口法兰,9.5 英寸外径,最大抽速 2400 l/s
扩展冷帽,120 VAC 2200 瓦加热器,Agilent Varian 部件号 L6193311。

Agilent Varian VHS-6 专为满足需要高抽速和空间限制而需要紧凑型泵的应用的特殊需求而设计。 VHS-6 泵是一款坚固耐用的通用装置,工作范围为 2 x 10-3 至 <5 x 10-9 Torr。 Agilent Varian VHS-6 具有高抽气速度(最大额定值为 2400 l/s)以及高前级压力耐受性(空载时为 0.65 Torr,满气体负载时为 0.55 Torr),因此非常适合需要快速循环的应用。 。该装置的回流速率为1x10-4 mg/cm 2 /分钟,不使用任何冷却的冷帽。

该 Agilent Varian VHS-6 扩散泵包括:
  • ISO 200K 入口法兰无孔使用 LF ISO 爪夹进行配合
  • KF50 出口前级法兰
  • 延长冷帽
  • 2400 l/s 最大抽速 空气
  • 120 VAC @ 2200 瓦加热器
  • 设计用于与 Santovac 5 扩散泵油一起使用
扩散泵使用高速蒸汽射流将泵喉中的气体分子引导至泵底部并从出口流出。油扩散泵使用低蒸气压的油进行操作。其目的是获得比单独使用正排量泵更高的真空(更低的压力)。 Agilent Varian VHS-6 可以抽气至 <5x10-9 Torr 的压力。扩散泵不能直接排放到大气中,因此通常使用机械前级泵、低真空泵来将出口压力维持在 1 mTorr 左右。

这些安捷伦瓦里安扩散泵非常可靠、设计简单且运行时无噪音或振动。扩散泵仍然是产生高真空压力的最经济的手段。扩散泵还可以承受过量颗粒和反应气体等操作条件,这些条件会破坏其他类型的高真空泵。它们可以与单相 115、208、240 VAC 加热器线束以及标准或扩展冷帽一起订购。我们库存并销售适用于该泵的 Santovac 5 扩散泵油。请参阅下面的“相关”部分,了解可能有利于您的真空应用和维护需求的其他配件。我们提供各种真空润滑脂、油、真空配件、软管、真空计、传感器/转换器、零件和配件,在本网站上单独出售。

这些 Agilent Varian VHS-6 扩散泵具有 ISO 200K 入口法兰,在单相 120 VAC 下运行,具有扩展冷帽,并且 Agilent Varian 部件号为 L6193311。 Agilent Varian VHS-6 扩散泵用户说明手册可在下面以 PDF 格式下载。这些是典型的库存商品,通常在下订单的当天发货。


宣传册

Specifications
Specification Value
Pumping Speed, Operating Range 1500 l/s air, 1,930 l/s He/H₂
Maximum Pumping Speed 2,400 l/s air w/standard cold cap; 950 w/extended cold cap
Maximum Throughput 2.4 T-l/s (3.2 mbar-l/s) in operating range, 3.5 T-l/s (4.5 mbar-l/s) @ 0.01 Torr
Operating Range 1.5x10⁻³ to < 5x10⁻⁹ Torr (2.10 x 10⁻³ < 6.5 x 10⁻⁹ mbar)
Maximum Forepressure No Load: 0.65 Torr (0.85 mbar)
Full Load: 0.55 Torr (0.72 mbar)
Recommended Backing Pump ≥ 17 cfm (29 m³/hr)
Backstreaming Rate < 5x10⁻⁴ mg/cm²/min (with standard cold cap)
Warmup Time 10 minutes
Cooldown Time 10 minutes (with quick cool coil)
Fluid Charge 500 cc - exact fluid charge available
Electrical Requirements 1 ph, 50/60 Hz, 120/208/240 VAC
Pump Power 2,200 Watts
Cooling Water Requirements 0.25 gpm (50 l/h) at 60-80 °F (15-26 °C)
Water Connections ⅛ in. FPT Tee

VHS-6 Diffusion Pump Replacement Parts List

Description Part No. Item
Standard Cold Cap Assembly 86488301 1
Extended Cold Cap Assembly F6455001 2
Sight Glass Repair Kit consisting of: L8908301 3
   Sight Glass L8816001 5.1
   Gasket, Teflon L9694001 5.1
   O-ring, Viton, Parker No. 2-113 CommI 5.1
   O-ring, Viton, Parker No. 2-226 CommI 5.1
Jet Assembly F3365301 4
Splash Baffle F4780301 5
Foreline Baffle Assembly L9172301 6
Thermal Switch Includes: L8912301 7
   Switch (set at 300 °F – 147 °C) 642906025 7a
   Lug 648056680 7b
   Wire 656179100 5.1
   Box Insulator 89867001 7d
Heaters (one heater required per pump) 8
   120 V / 2200 watt Heater Element 647306125 5.1
   208 V / 2200 watt Heater Element 647306175 5.1
   240 V / 2200 watt Heater Assembly 647306225 5.1
VHS-4 heater wire, 10 AWG, 24 inches (3 per pump required) X3901-68001 9
Lugs, Replacement, nickel 648056680 10
Heater Clamping Plate 86086301 11
Heater Insulation 86087001 12
Baffle Retaining Ring 699992156 13
O-Ring Kit includes: K0377184 14
   3 Butyl inlet flange O-ring, Parker No. 2-258 5.1
   10 Viton fill and drain O-rings (old style), Parker No. 2-112 5.1
   10 Viton fill and drain O-rings (new style, Parker No. 2-113 5.1
   1 Sight glass O-ring, Parker No. 2-226 5.1
   1 PTFE gasket 5.1
Screw, Rd hd machine, no. 8-32x31/416, stainless steel Screw 15
Stud, no. 8-32 x 1/2, stainless steel Stud 16
Screw, Socket hd cap, no. 8-32x11/44, stainless steel Screw 17
Centering ring for ISO inlet flange, 160K IC160SV 18
Centering ring for ISO foreline flange, KF40 KC40SV 19
Santovac 5 diffusion pump fluid, 500 cc 695405005
Installation and Operation Manual 699901021
Marca de agua con el logotipo de Ideal Vacuum
联系我们
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, 新墨西哥 87109-5805 USA

电话: (505) 872-0037
传真: (505) 872-9001
info@idealvac.com



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