Ebara 电缆,用于 EBT70 陶瓷轴承涡轮分子真空泵,3 米。荏原零件编号:EBTCBL01M03M。这是一条 3 米长的 Ebara 电缆,可与 EBT70 陶瓷轴承涡轮分子真空泵和 ETC76 控制器配合使用。 Ebara EBT70 机械陶瓷轴承复合涡轮分子泵是高效、经济高效的解决方案,可为您的高真空应用提供清洁、可靠的真空生成。 EBT70 涡轮分子泵具有卓越的价值,并配备精密陶瓷轴承,可实现多年无故障运行(更换前超过 30,000 小时)。新的复合设计转子可以在高流量或通风条件下承受不频繁的冲击处理。效率的提高带来了更高的抽速和气体压缩。这可适应更高的前级压力,使其成为包括特高压、移动真空推车和分析系统在内的多种应用的理想选择。
Ebara EBT 型号的特点和优点:- 坚固的轴承设计非常适合移动应用
- 高抽速
- 轻质气体的高压缩比
- 快速启动和停止
- 快速排气(无排气脉冲)
- 风扇或水冷(不包括在内)
- ISO 或 Conflat (CF) 法兰
- 集成控制器(选定型号)
典型的涡轮泵应用包括:- 半导体
- 薄膜
- 光伏
- 质谱
- 分析仪器灯
- 表面处理
- 电子/X射线管
- 离子/电子束源
- 晶圆键合
- 溅射
- 玻璃/薄膜涂层
- 排气车
泵说明手册和 Ebara EBT 涡轮分子泵产品手册可下载。