Ebara EV-A06-3 风冷干式真空泵 200-240VAC，三相，22cfm，气镇端口。编号：202553

这些 Ebara EV-A 06 系列干式旋转凸轮真空泵采用风冷式，专为轻型干式真空应用而设计。 EV-A 06 泵干泵具有 22 cfm (600 L/Min) 的大抽速，具有 KF-40 入口和 kF-25 排气口，在 57 dB (A) 的运行噪音水平下运行非常安静，并且具有无气镇时的极限压力为 7.5 mTorr（气镇打开时为 75 mTorr）。运行功耗低，极限压力下低至 1.1 kW，节省资金。该装置具有 Ebara 参考号 EV-A06-3，其中包括标准配件，例如垂直排气方向、外部消音器和内置止回阀，在三相 200-240 VAC 上运行，以及用于可选气镇的端口， Ebara 型号 EV-A06-3，零件号 202553。

Ebara EVA 06 干泵采用多级罗茨低真空泵技术来实现完全清洁的干真空，包括 6 个内部泵级。该泵在一对混合罗茨上运行，罗茨同步旋转以保持给定的间隙，同时将气体从入口转移到出口排气口。齿轮安装在转子的另一侧，使用润滑油。这些是干式真空泵，油不在泵的真空容积内，而仅位于齿轮部分内。 EV-A 03 和 EV-A 06 型号使用矿物齿轮油，而 EV-A 10 型号使用 Fomblin PFPE 齿轮油。

Ebara EV-A 泵凭借其无摩擦设计、非接触式多级根、可靠且提供无颗粒真空生成，可产生清洁的干燥真空。与涡旋泵不同，EV-A 泵没有端部密封件，端部密封件会磨损并产生颗粒灰尘，在出现回吸问题时，颗粒灰尘可能会污染粗加工线和处理室。 Ebara EV-A 真空泵高度可靠的设计允许以较低的拥有成本实现干真空。这些泵消除了顶部密封件和轴承更换的麻烦，并且不会出现干式涡旋泵中因顶部密封件磨损而发生的基础压力漂移。改进的旋转凸轮泵设计可在泵的整个使用寿命内提供恒定的极限压力，即 7 mTorr 基础压力。

Ebara EV-A 泵采用风扇冷却，但设计为在较高的内部温度下运行，这使得它们具有较大的可冷凝蒸汽泵送能力，EV-A 06 型号每小时可泵送 350 克水。轴封和轴承的摩擦以及气体压缩时产生的热量有助于提高真空泵的内部工作温度。当泵送可冷凝蒸汽时，需要安装可选的气镇，以防止泵内发生冷凝。气镇引入的空气或氮气降低了泵送气体的分压，使其超过其饱和蒸气压（使它们保持气相）。泵送不易燃蒸气和可冷凝溶剂时，建议使用大气气镇。当泵送易燃溶剂的气体蒸气时，必须按照操作手册正确使用 N ₂镇流器。当泵送水蒸气等可凝性气体时，在气镇阀打开的情况下，在工艺完成后保持泵运行约一小时是有效的。这有助于在关闭泵之前清除所有水迹。

Ebara EV-A 设计的一项重大改进是第一个真空级位于转子上的第二个位置。泵级设计的这种方向可防止转子轴承暴露在高真空中，从而延长其使用寿命。改进的泵设计还包括硬质阳极氧化铝主体、不锈钢转子和内部排气止回阀，这些功能有助于 Ebara EV-A 泵处理可冷凝蒸汽的泵送。可选气镇设计用于在最佳位置注入第 3 级和第 4 级，以增加泵的蒸汽处理能力，同时限制其对泵基础压力的影响。 Ebara EV-A 泵的坚固设计提供的使用寿命通常为 3 至 5 年，具体取决于应用和泵的使用方式。

Ebara EV-A 干式旋转凸轮真空泵包括操作面板和 LED 显示屏，用于调节泵状况并控制泵设置，例如运行频率、电流、运行时间和错误监控。这些泵电机包括变频驱动器 (VFD)，可将泵从静止缓慢启动到全速，从而减少噪音和振动，同时提供较低的启动电流。该泵还包括一个 I/O 连接器 D-sub 端口，可提供干接触器功能，例如远程启动和警报状态监控。

Ebara EV-A 06 系列干式真空泵使用简单，只需插入并打开即可（就是这么简单）。它们可以订购为在 1 相 115、1 相 208 VAC 或 3 相 208 VAC 下运行，当前此处出售的部件号 202553 适用于 3 相 200-240 VAC 泵。 Ebara EV-A 泵可以在大气压力下连续运行，而不会过热或锁定。 Ebara EV-A 真空泵结构紧凑，运行期间噪音<57dB(A)。可选配滚动脚轮，方便在设施内移动。请参阅下面的用户手册和产品手册下载中的附加信息。

Ebara EV-A 系列干式旋转凸轮泵的优点和特点。


• 风冷式
• 体积小、结构紧凑
• 非接触式设计
• 恒定极限压力
• 不产生尖端密封灰尘
• 高大气抽速
• CE 和 NRTL 评级
• 提供单相和三相型号
• 低振动
• 低噪声
• 免维护
• 所有风冷干泵中最高的水蒸气泵送能力（气镇打开）

应用领域


• 负载锁
• 分析仪器（LCMS 液相色谱-质谱、GCMS 气相色谱质谱）
• 计量 - SEM（扫描电子显微镜）、TEM（透射电子显微镜）
• PVD（物理气相沉积）溅射系统
• 干燥真空炉
• 氧等离子系统
• 湿泵更换
• 涡旋泵更换
• 清洁应用
• 手套箱
• 冻干（冷冻干燥）
• 灭菌器（医院应用的汽化过氧化氢灭菌器医疗器械真空蒸汽灭菌器）。
• 检漏仪
• 光束线和同步加速器
• 高能物理（研究与开发实验室 - 研发）
• 太空模拟室
• 涡轮泵背衬
• 柔性LED视频显示屏制造
• 适用于医疗器械和 PCB 板制造的绝对清洁干燥真空
• 中型，与 PFPE 旋片泵竞争，泵送氧气应用。等离子 O2 CF4