Edwards APG200-XM 主动式皮拉尼真空计 NW25、KF25、10-3 Torr。PN：D1G1021100

Edwards APG200-XM 有源皮拉尼真空计包含一个 NW25、KF25 真空法兰，结构紧凑易于安装，具有线性输出和用户可更换的管传感器。新型 Edwards 真空计与所有 Edwards TIC、ADC、TAG 仪器控制器以及其他有源真空计控制器和显示器兼容。由于采用无铅结构，它们还通过了 CSA、C/US 认证并完全符合 RoHS 标准。它们可测量从 1000 到 10 ^-3 Torr 的压力。信号线和 TIC 真空计控制器单独出售。这些 Edwards APG200 系列真空计的说明手册以 PDF 格式提供，如下所示。APG200 有两个版本：“M”版（包含标准钨/铼灯丝）可测量低至 10-3 Tor 的压力，适用于一般应用； “LC”版本（包含耐腐蚀铂/铱丝）可测量低至 10-4 Torr 的压力，也适用于腐蚀性应用。这些 Edwards APG200-XM 主动皮拉尼真空计配有标准钨/铼丝和 NW16 真空法兰。

APG200 可以以任何方向安装，但仪表管在垂直状态下在氮气中单独进行工厂校准。为了在您选择的仪表方向上正确指示压力，应在大气压力下重新校准仪表。Edwards 建议垂直安装仪表管，以尽量减少仪表内工艺颗粒和可凝性蒸汽的积聚。APG200 经过校准，可在氮气中使用，并可在干燥空气、氧气和一氧化碳中正确读数。对于任何其他气体类型，都需要进行转换才能获得正确的压力读数，常见气体：氮气、氩气、二氧化碳、氦气、氪气和氖气。

功能包括：

• 外壳紧凑，方便接入信号线
• 传感器可烘烤至 150°C (300°F)，且用户可更换传感器
• 可调节设定点，实现简单的过程控制和联锁
• 可进行远程校准
• 压力范围 10 ^-3 Torr

皮拉尼真空计和对流增强型皮拉尼真空计的背景知识
皮拉尼真空计可归类为热导率计，与热电偶计非常相似，通过测量加热丝的电阻来确定真空压力。皮拉尼计旨在测量电阻不平衡，其中加热丝形成惠斯通电桥电路的一个臂。随着真空压力的增加，气体分子将热量从丝中带走，压力传感器的电阻将移至较低值，从而使电路不平衡。因此，真空压力是根据惠斯通电桥电路中压力引起的不平衡计算得出的。与热电偶计一样，分子碰撞产生的热导率在 0.001 至 1 Torr 的压力范围内随压力线性增加。但是，随着压力进一步增加到粘性流状态，热量去除变得非线性，其中气体与气体的碰撞可以使分子重新定向回加热丝。分子必须碰撞多次才能到达传感器的外壳（散热器）。对流增强型皮拉尼压力计利用传感器内部的对流电流将其压力测量范围扩展到大气压力。

皮拉尼压力计是一种间接压力测量传感器，其测量读数取决于气体类型。应谨慎行事，因为较重的气体具有较差的传热率，并且标准对流增强型皮拉尼压力计针对 N2 进行了校准（校准方式与空气基本相同）。当用较重的气体（如氩气）回填真空系统时，这可能会导致危险的过压情况。如果真空系统操作员没有根据正确的气体类型校正压力计显示读数，就会出现危险，例如，针对 N2 进行校准的标准压力计在室内氩气为 760 Torr 时显示 24 Torr。操作员会误以为室内仍处于真空状态，并继续将系统增加到临界过压状态。如果对流增强型皮拉尼压力计安装不正确，则会产生另一个错误源，大多数商用传感器要求它们与地面平行安装。这使得传感器内部的常规电流沿着设计的方向流动（如果常规增强型皮拉尼传感器不是水平安装的，很容易引入 20% 或更大的误差）。

这些对流增强型皮拉尼传感器的快速抽真空将在短短几秒钟内产生显著的测量误差。随着快速抽气的气体膨胀，压力传感器灯丝的散热不是正常的对流电流，而是由强制对流驱动的。当真空压力迅速下降时，气体会膨胀和冷却，这为从热传感器线中散热提供了第二条途径。对流增强型皮拉尼压力表在系统抽真空期间可能会错误地显示高达 1000 Torr 的高压。一旦气体流动停止，压力读数将再次稳定为实际测量值。出于这些原因，对流增强型皮拉尼压力表不太适合测量动态抽气条件下的压力变化。总体而言，对流增强型皮拉尼是一种流行的经济高效的粗真空压力表，可以测量从大气压到 1x10-4 Torr 的压力，低于 1 Torr 的测量最准确。