Edwards CTI Brooks Cryo-Torr 250F 超高真空半导体低温泵,LF ISO 250,三相,重建,6500 l/s 水,2200 l/s 空气,1800 l/s 氩气,重建。
Edwards CTI Brooks 零件号:8116086G002。 Edwards CTI-Cryogenics(现为 Edwards)Cryo-Torr OB250F 三 (3) 相低温泵专为半导体行业的增强性能和狭小空间要求而设计和制造。
该低温泵具有 ISO 250 入口法兰和标准 KF-25 低真空泵法兰。它能够产生 10-8 Torr 超高真空 (UHV),额定抽速为:
- 水 ………。 6500 升/秒
- 空气 ………..…。 2200 升/秒
- 氢气...... 3200 升/秒
- 氩气…………。 1800 升/秒
这款 Brooks/Edwards CTI Cryo-Torr OB250F 三 (3) 相泵仅使用三 (3) 相电源运行。电力由特殊的 CTI 三相电机控制器提供。
CTI 三相 Cryo-Torr 250F 低温泵不会将任何移动部件、工作液或前级泵暴露在真空中,从而消除了系统回流或低温泵本身造成过程污染的可能性。