Edwards Cryo-Torr 低温泵 9600 氦压缩机,三相,水冷,低压 180/230 VAC。
Edwards 零件号:8135717G001 取代过时的 PN:8135900G001。适用于真空镀膜、半导体生产、粒子加速器、溅射沉积系统和分子束外延等领域依赖低温压缩机的应用、工艺、维护工程师和科学家。 9600 压缩机专为使用寿命长、非常可靠且易于使用而设计。 9600 压缩机可为所有 Cryo-Torr 低温泵、板载低温泵、板载水泵和板载 TurboPlus 真空泵提供出色的性能。
它采用轻量级设计,配有大脚轮,易于搬运,其电源、氦气和水连接装置均易于快速安装。除了建议每三年更换一次吸附器外,9600 不需要任何维护。电路保护由单排断路器提供,可在后面板上轻松操作。请参阅手册更换吸附器。支持远程控制,使您可以灵活地远程定位压缩机(但不包括在内)。具有极高的容量和高效的设计,可提高泵的性能和快速再生。该装置与新的和现有的 CTI-Cryogenics 泵系统完全兼容。该装置为低压、水冷、三相、输入电压 180-230 V、50/60 Hz、三相 C 系列板载电源。具有板载电源输出,可驱动标准 1 相(2 相)板载电机以及 Cryo-Torr 和 Cryodyne 泵。
下载 pdf 版本即可提供用户和配置手册。
可与以下冷冻泵一起使用