Edwards EMO 电缆,用于在现有旧式 iH 系列泵的工具上安装新型 iXL 或 iXH 系列干式半导体泵。 Ideal Vacuum 提供我们自己的接口电缆,可以用 IXL120N、iXH100 或 iXH610 型替换旧型 iH 系列泵。这种 EMO 布线对于半导体工具在子晶圆厂中连接有多个旧式 iH 泵的应用非常有用。该接口模块电缆延续了 EMO 电路,穿过剩余的旧式 iH 泵和新型 iXL120N 替换泵。下面详细描述连接和不同的接口模块。该电缆通常从左侧 iH 上 iTIM 的 P2(输出)连接到 iXL120N 上的紧急停止 (EMS) 连接器,再连接到右侧 iH 泵上 iTIM 的 J1(输入)(详细信息请参阅 pdf 格式的应用说明) 。
问题是 Edwards iH 系列泵现已停产且不再可用。 Ideal Vacuum 备有替换泵、用于负载锁定的 iXL120N、iXH100(替换 iH80)、iXH610(替换 iH600)等。与旧式 IH 泵不同,新型 iXL120N 泵的正面没有 EMO 按钮(请参阅我们的应用说明中的详细信息)。 Edwards iTIM 通常配置老式的 Edwards iH 系列干式半导体真空泵,其中多个泵连接到子晶圆厂中的单个半导体工具。 EMO 布线设置为在任何 iH 系列泵上按下 EMO 时关闭工具,它们通常采用菊花链配置串联布线。