Skip to main content
× 服务 产品 目录 下载 技术支持 关于 接触 职业机会 (505) 872-0037

(505) 872-0037

Shopping Cart Icon
大车
 
Login Icon
登录
Language Selector
zh-tw
×
Americas
Europe
Middle East & Africa
Asia Pacific & Japan
Edwards nXR Multi Stage Roots Pumps On Sale Agilent IDP-15 Dry Scroll Vacuum Pumps On Sale Ideal Vacuum XG-110 Portable Digital Thermocouple Controllers On Sale Ideal Vacuum XGC-320 Portable Digital Thermocouple Controllers On Sale Adixen 2021C2 Pumps On Sale Ideal Vacuum XG-120 Digital Thermocouple Gauges On Sale

关键词       零件号:      

× 真空泵 普通真空室 不锈钢真空室 铝真空室 ExploraVAC 无限 室 ExploraVAC 真空室 配件和法兰 馈通件 真空阀 重建套件、零件和电机 真空液体、油脂和润滑脂 涡轮泵和控制器 过滤器 陷阱 和 消音器 对流和真空预热 泄漏检测和RGA 真空压力测量 循环冷却器和水浴
×

Load

Product Image 1
Product Image 2
Product Image 3

Edwards EMO 电缆,用于在现有旧式 iH 系列泵的工具上安装新型 iXL 或 iXH 系列干式半导体泵

健康)状况:
  新的
零件号:
  P1011999
保修单:
  Against Product Defect

现在有空   97  

销售: NT$8,625.23

Edwards EMO 电缆,用于在现有旧式 iH 系列泵的工具上安装新型 iXL 或 iXH 系列干式半导体泵 8625.23
货币: New Taiwan Dollar (TWD)

描述

Edwards EMO 电缆,用于在现有旧式 iH 系列泵的工具上安装新型 iXL 或 iXH 系列干式半导体泵。

Ideal Vacuum 提供我们自己的接口电缆,可以用 IXL120N、iXH100 或 iXH610 型替换旧型 iH 系列泵。这种 EMO 布线对于半导体工具在子晶圆厂中连接有多个旧式 iH 泵的应用非常有用。该接口模块电缆延续了 EMO 电路,穿过剩余的旧式 iH 泵和新型 iXL120N 替换泵。下面详细描述连接和不同的接口模块。该电缆通常从左侧 iH 上 iTIM 的 P2(输出)连接到 iXL120N 上的紧急停止 (EMS) 连接器,再连接到右侧 iH 泵上 iTIM 的 J1(输入)(详细信息请参阅 pdf 格式的应用说明) 。

问题是 Edwards iH 系列泵现已停产且不再可用。 Ideal Vacuum 备有替换泵、用于负载锁定的 iXL120N、iXH100(替换 iH80)、iXH610(替换 iH600)等。与旧式 IH 泵不同,新型 iXL120N 泵的正面没有 EMO 按钮(请参阅我们的应用说明中的详细信息)。 Edwards iTIM 通常配置老式的 Edwards iH 系列干式半导体真空泵,其中多个泵连接到子晶圆厂中的单个半导体工具。 EMO 布线设置为在任何 iH 系列泵上按下 EMO 时关闭工具,它们通常采用菊花链配置串联布线。
Marca de agua con el logotipo de Ideal Vacuum
联系我们
Ideal Vacuum Products , LLC
5910 Midway Park Blvd NE
Albuquerque, 新墨西哥 87109-5805 USA

电话: (505) 872-0037
传真: (505) 872-9001
info@idealvac.com



Press ESC to Close


deepbox image 2
load time = 1.0156