BRUKER DektakXT-Advanced 触针轮廓仪、DXT-A 表面轮廓测量系统、3D 自动表面轮廓仪

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Bruker DektakXT-A 触针轮廓仪，DXT 表面轮廓测量系统。这款 Bruker DektakXT® 触针轮廓仪是一款先进的触针轮廓仪 (DXT-A)，具有 3D 自动表面映射和分析功能，包括拼接长达 200 毫米的扫描。它采用革命性的台式设计，可实现无与伦比的 4Å 重复性，并将扫描速度提高 40%。此外，它还具有收集精确台阶高度和表面粗糙度测量所需的所有功能。该 DektakXT-A 系统包括：Dell OptiPlex PC，搭载 Win10 Pro 操作系统和 Bruker Vision64 软件 四个空气隔离支脚 电动 X/Y 平台，行程 6 英寸，电动 360 度旋转，包括 2-3、4-6 或 8 英寸真空吸盘，作为系统标准配置 LIS 3，低惯性传感器，力为 1 至 15mg 3.1Mpixel 彩色摄像头，放大倍数可选 入门级触控笔（选择 2um 或 12.5um） 光学平面扫描块，扫描长度为 55mm 4 Å 步高重复性，1um 步长 1 sigma 拼接，扫描长度可达 200mm 3D 地图收集和广泛的数据分析 自动收集功能，位置数量不受限制 1 年有限工厂保修 Dektak XT 设施要求、尺寸、重量和热负荷表 1 列出了 DektakXT 系统的设施要求。表 2 列出了其尺寸、重量和热负荷。电源 DXT-110V - 100/115 VAC 操作配置电源以进行 100/115 VAC 操作。可在美国和使用 100/115 伏标准三孔美国插座的国家/地区使用。环境外壳 DXT-ENC - 包括 DXT 环境外壳。计算机包括 Bruker 的 64 位台式计算机。Dell OptiPlex、Win10 Pro 操作系统、3.2GHz 处理器、Intel Core i5、4GB (1x4G) 1600MHz DDR3L 内存、500GB 硬盘驱动器，带有 Vision64# 操作和分析软件。计算机显示器需要兼容 VGA 的显示器。显示器必须支持 1920x1080 @ 60HZ 分辨率、包含 DVI-D 端口并兼容 DisplayPort。该系统不附带显示器，且不包含在基本价格中。但是，根据要求，可以开具发票并提供全新的兼容显示器。XY 台 DXT-AUTO - 电动 XY 150 X 150MM 台，R 台 DXT-R-AUTO - 电动 R-THETA DXT-S/A 样品盘选项 DXT-SET-WVC - 晶圆真空吸盘包 1,620.00 1,620.00 晶圆真空吸盘包此晶圆真空吸盘包包括：2-3 英寸 (838-203)、4-6 英寸 (838-189) 和 8 英寸 (838-195) 晶圆真空吸盘。价格不包括基本系统价格。入门级触针 DXT-STYL-2UM-B - 触针，LIS 3，2UM RAD-TYPE B 这款入门级触针带有 2um半径触针尖端免费随此系统附赠，安装后可立即使用。它不包括尖端的 SEM 图像。应用包 DXT-STITCH - 拼接功能 Vision64#Stitching 功能允许 DXT-A 系统将多个扫描拼接在一起，生成覆盖 6 英寸（150 毫米）电动行程的无缝扫描。它最适用于在硅晶片和类似平整度的样品上进行 2D 薄膜应力测量。拼接功能包含在此 DektakXT 高级系统 (DXT-A) 中。DXT-3D MAP - 3D 映射和分析功能 Vision64 3D 映射功能包括在 DXT-A 高级系统上收集的 3D 地图的实时可视化。3D 映射提供了生成所有大小的 3D 数据集的能力，包括使用拼接的大型地图。完整的 Vision64 3D 分析套件可通过此功能对数据集进行高级过滤和操作。DXT-2D 应力 - 2D 应力测量功能 Vision64 2D 应力测量功能可同时计算拉伸应力和压缩应力。利用 5 阶多项式拟合和用户可选择的弹性常数，2D 应力功能可实现精确的结果。它可以与拼接功能结合使用，以测量 DXT-Advanced 系统上平面晶圆上的较大区域。订购晶圆真空吸盘的系统包括镀铬滚珠轴承和笔式磁铁。DXT-AUTOMATION - 自动测量收集 Vision64 自动化功能可在多个位置自动收集线扫描和 3D 地图。操作员只需单击按钮，即可使用自动化配方进行一系列分析。此 DXT-A 标准功能在生产 QA/QC 环境中非常有用，因为此类环境需要在样品的多个位置进行重复测量。客户安装套件 DektakXT 设计为可使用此套件自行安装。我们将提供指导视频，指导客户完成拆包、设置和系统功能的初始验证。我们还提供一组附加视频，指导操作员完成数据收集和分析。这套全面的短视频可让操作员快速熟练掌握 DXT 操作，并可在系统的整个运行寿命期间用作参考。