MBraun 热蒸发器 - MB Evap S/A,薄膜共沉积系统,不锈钢钟罩室 - 13 x 17 英寸,4 个热源和 2 个 Inficon QCM 厚度监测器,配备全新 Pfeiffer HiPace 300 Turbo,翻新。这款翻新的 Mbraun Evap S/A 真空镀膜室(2012 年制造)配备了全新的 HiPace 300 涡轮泵和全新的 Edwards 12 旋转粗加工泵。该工具处于良好的工作状态。室内部经过喷砂处理,以去除之前使用时可能存在的所有污染物。该工具适用于高熔点金属和电介质(如金、钛和氧化物)的热蒸发。它有一个不锈钢钟罩室,直径为 13 英寸,高为 17 英寸。最大蒸发投射距离为 10 英寸(带基片支架旋转),可增加到 12 英寸(不带基片旋转组件),适用于剥离金属沉积。基片支架在沉积过程中旋转时最多可容纳 4 英寸 x 4 英寸的样品,不旋转时最多可容纳 6 英寸 x 6 英寸的样品。该室有 4 个热蒸发源,每个热蒸发源的负载容量约为 1 cc。
这款 MBraun 热蒸发器配备了许多功能,包括一个新的定制 4 英寸旋转基片支架。它安装了 2 个 Inficon QCM 传感器和两个新的石英晶体,以及一个具有手动和自动处理模式的 Inficon SQC-310C 共沉积控制器。沉积过程可以是顺序的,也可以是共沉积的。其他功能包括用于观察涂层进度的 6 英寸观察口、气动源和基片挡板、故障安全机制、光学安全幕、视觉和音频状态指示器(以警报形式)。
这款 MBraun 蒸发器于 2012 年制造,具有以下特点和性能:- 不锈钢钟罩室(直径 13 英寸 x 高 17 英寸)
- 工具尺寸为 48 英寸长 x 32 英寸宽 x 80 英寸高
- 4 英寸旋转基片支架(不含 24VDC 电源)
- 4 个电阻加热袋
- 10 英寸蒸发喷射距离
- 电动钟罩室提升机
- 2 个 QCM 薄膜厚度传感器和一个来自 Inficon 的 SQC-310C 共沉积控制器
- 气动源和基底挡板
- 6 英寸视口
- 触摸屏GUI屏幕
- 普发 HiPace 300 涡轮泵
- 可选的视在船舶功率测量和显示(不包括)
- 可选的船温热电偶和读数器(不包括万用表)
- 故障安全机制、沉积速率、电源、门、真空安全联锁
- 视觉和音频运行状态指示器
- 供电系统 - 3 x 208V AC,60Hz (3Ph/N/PE)
- 总负载 - 16A
- 4 个船用电源 - 2kW,船用温度 30 - 1800°C
- 基准压力 5x10-7 Torr,Pfeiffer 冷阴极真空计可能需要更换
- 最大工作压力 - 用户设置,5x10-3 Torr
- 基片材料、形状和尺寸 - 最大 4 英寸的硅晶片
- 基板旋转速度-用户设定
- 蒸发舟/蒸发棒尺寸 - 1 - 4 英寸长,1cc 负载容量
- 100个配方储存,大部分金属膜沉积配方已安装
- 手动、自动操作模式
- 船体材料 - 任意,钨,钼,钽,坩埚
- 1 年有限保修
MBraun Evap 涂层系统