MKS 1179C 质量流量电子绝对压力控制器,2,000 sccm N2 当量,15 针,1/4" Swagelok®,Viton® O 形圈。
MKS 仪器部件号:1179C01323CS1BV。 MKS 1179C 是一款全金属质量流量控制器,设计用于测量各种应用中的气体流量。输入和输出连接采用带有 Viton® O 形圈的 1/4" Swagelok®。MKS 1179C 质量流量控制器的满量程范围为 10 sccm 至 20 slm,提供低至 0.1 sccm 的快速、可重复流量计量。 1179C 是当今市场上最常见质量流量计的直接形状配合功能替代品。标准的 3 英寸占地面积使 1179C 能够直接放入同一空间,而无需修改现有气体管线。电气连接器是相同类型“D”连接器,具有与行业同类产品相似的引脚输出、信号和功能。1179C 与 MKS 或其他制造商的质量流量控制器电源和显示电子设备兼容。
世伟洛克,VCR-TM 世伟洛克公司