MKS 1179C 质量流量电子绝对压力控制器,50 sccm N2 当量,15 针,Swagelok 4 VCR。
MKS 仪器部件号:1179C00151CR1BV。 MKS 1179C 是一款全金属质量流量控制器,设计用于测量各种应用中的气体流量。输入和输出连接采用 Swagelok® 4 VCR® MKS 1179C 质量流量控制器的满量程范围为 10 sccm 至 20 slm,提供低至 0.1 sccm 的快速、可重复流量计量。1179C 是一款直接贴合式流量控制器。功能替代当今市场上最常见的质量流量计。标准的 3 英寸占地面积使 1179C 能够直接放入同一空间,而无需修改现有的燃气管线。电气连接器与“D”型连接器相同,具有与行业同类连接器相似的引脚排列、信号和功能。 1179C 与 MKS 或其他制造商的质量流量控制器电源和显示电子设备兼容。
世伟洛克,VCR-TM 世伟洛克公司