MKS 通用流量控制阀,2000 sccm,1/4 英寸 Swagelok 卡套管接头,Viton 密封件MKS 零件号:148JA52CR1M
当提供控制电流时,这种通用改良电磁阀将调节气体流量。当与 MKS 控制器和适当的流量传感器一起使用时,248D 阀门可调节气体流量,同时保持准确和精确的压力或流量。应用包括流量控制、上游或下游压力控制。该型号 0248D-02000SV 阀门具有 2000 标准立方厘米/分钟 (sccm) 的全量程氮气、Swagelok® 1/4 英寸管接头和 Viton 密封件。通过关闭的阀门漏导<1x10 -5 scc/sec He。
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