MKS 626D 1000 Torr Baratron 绝对电容压力计、真空压力表传感器、真空接头 KF-16,PN 626D13TDE。 MKS 626D 不加热绝对 Baratron® 电容压力计是最新的基于电容的模拟高性能真空和压力传感器。它们需要 ±15 VDC 输入电压,并提供与压力呈线性关系的高电平 0-10 VDC 模拟输出信号。该模拟输出可与 MKS PDR2000 压力控制器、MKS 电源/显示仪表或任何满足这些要求的仪表连接。通过测量传感器隔膜和相邻电极盘之间的电容变化来确定压力/真空的变化。这种电容变化通过获得专利的信号调节电子电路转换为可用的输出。传感器中的径向张紧 Inconel® 隔膜提供非常快的响应(许多情况下 <20 毫秒)、低滞后、出色的重复性、非常高分辨率(达到满量程的 0.001%)、极高的耐腐蚀性和双壁焊接结构,确保操作员安全。传感器本身可以承受反复暴露于 45 psia (3.1 bar) 的压力,而不会永久退化或移位,从而使其几乎可以在任何过程系统中运行。 MKS 626D Baratron 电容压力计在环境条件下运行。它们的全量程压力/真空范围为 0.1 至 1000 Torr,适用于许多工业、电子和研究应用。
这些清单适用于 MKS 626D 型电容压力计,该压力计具有 15 针 D 型超小型信号连接器、1000 Torr 满量程最大真空压力读数值、KF-16 真空法兰连接,并且 MKS 零件号为 626D13TDE。
兼容的控制器和电缆:
产品特点:
- 0 至 10 VDC 比例模拟输出,带 15 针 D-sub 连接器
- 直接测量腔室总压力,与气体类型或成分无关
- 长期输出稳定性,实现最先进的工艺可重复性
- Inconel® 和 Incoloy® 镍合金结构的基本传感器在几乎任何化学环境中都不会损坏
- 高超压限制可确保系统发生故障时的可靠性
- 以读数百分比指定,以获得最佳精度并提高工艺产量