MKS 627H 10 Torr 加热 45 °C,绝对 Baratron 电容压力计,真空接头 VCR 8 母头,读数精度 0.12%,垂直校准。
MKS 零件号 PN:627H11TBC1B。 627H Baratron® 电容压力计可加热至 45°C,精确度为读数的 0.12%,并包含更新的温度控制电子器件,可提供卓越的长期稳定性和可重复性。该电容压力计的满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar),以适应当今较低的过程压力。该传感器基于成熟的 Baratron 电容压力计技术,其润湿表面采用 Inconel® 材料,具有出色的耐腐蚀性气体性能。现代不锈钢包装提供了洁净室兼容的产品。该产品可与早期的 627A、627B、627D 和 627F Baratron 电容压力计互换,并可与 MKS 电源、显示单元和压力控制器或其他兼容的电源/读出设备一起使用。
这些清单适用于加热至 45 °C 的 MKS 627H 型电容压力计,具有带螺纹锁的 15 针 D 型超小型信号连接器、10 Torr 满量程最大真空压力读数值、VCR 8 母真空法兰连接,读数精度为 0.12%,具有垂直校准,MKS 部件号为 627H11TBC1B。
兼容的控制器和电缆:
产品特点:
- 优异的长期稳定性
- 在较低压力范围内获得更精确输出信号的读数精度百分比
- 满量程范围低至 20 mTorr (0.03 mbar),可精确测量低压过程
- 全铬镍铁合金耐腐蚀润湿表面
- 更快的预热时间
- 温度和加热器控制电路的视觉和电气状态
- 与早期的 Baratron 电容压力计、MKS 电源/读出模块和压力控制器兼容
- 直接测量总压力,与气体成分无关
- 高过压等级可提高可靠性
- 洁净室兼容的不锈钢封装