MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器 KF-40，1 x 10-8 至 1500 Torr。编号：974B-92020

MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器属于 MKS 970 系列，这是一个紧凑、低成本、通用传感器系列，采用一到四个传感器 - 冷阴极、MicroPirani™ 和压电技术。结合这些传感技术可实现从大气到^10-8 Torr 的宽测量范围。除了尺寸小、范围广和成本较低之外，970 系列还可以通过数字通信或作为自主模拟单元进行操作。

传感器测量范围为^10-5至 1,500 Torr。 Piezo 是一款直读式绝对压力传感器，可实现独立于气体的测量。该传感器具有独特的温度补偿功能，可在较宽的测量范围内实现高精度。 Piezo 的测量范围为 10-1 至 1,500 Torr。当压力低于^10-2 Torr 时，MicroPirani 会对 Piezo 执行自动归零功能。与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani™ 中的元件由一毫米见方的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。传统的皮拉尼传感器的测量范围为 10-3 至约 100 Torr，超过 10 Torr 时灵敏度会迅速下降。由于 MicroPirani™ 传感部分的尺寸非常小，因此其范围低至 10-5 Torr。该设计最大限度地减少了对流的影响，因此可以在任何位置进行操作，而不会影响精度，从而简化了安装。该传感器包括一个按钮调零控制，可在压力低于 10-5 Torr 时使用。

MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器具有数字通信功能，可通过主机实时进行所有调整和监控。 MKS 974B 传感器支持 RS485 或 RS232 通信作为标准功能。这款 974B QuadMag 冷阴极传感器在 15 针高密度 D-sub 公头连接器上提供 1 至 9 伏直流模拟输出信号。传感器输出在两个传感器之间进行平滑处理，并在 5 至 15 Torr 范围内从两个传感器读取数据。

对于过程控制，974B 具有三个独立的继电器设定点。设定点的特性可以通过数字端口进行设置、调整和监控。与所有热导率传感器一样，MicroPiraniTM 对气体类型敏感。压电测量与气体类型无关。 974B 提供数字泄漏检测输出，可测量 Piezo 和 MicroPirani™ 之间的差异读数。这使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。同时需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的带有 PDR900 系列控制器的 974B DualTrans。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。