MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制,范围为 4 至 200 sccm,15 针 D 型超小型。
MKS 零件号:GM50A013202RMM020。 MKS GM50A 质量流量控制器能够配置为控制各种安全输送源气体 (SDS)。输入和输出接头为 Swagelok® 4 VCR® 外螺纹。它具有 200 sccm 的满量程流量范围和 4 至 200 sccm 的控制范围、带接地的 15 针 D 型超小型连接器以及 0-5 VDC 流量输入/输出信号。典型的响应时间约为 500 毫秒。数字校准可提供 1% 的校准气体设定点精度。
多范围功能可以通过基于网络浏览器的应用程序进行配置,通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机即可访问该应用程序。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。
世伟洛克,VCR-TM 世伟洛克公司