MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 模拟控制,范围为 0.4 至 20 sccm,15 针 D 型微型,4 VCR 公头。
MKS 零件编号:GM50A013201RMM020。 MKS GM50A 质量流量控制器可配置为控制 N2 或等效物,其满量程流量范围为 20 sccm,控制范围为 0.4 至 20 sccm。它具有一个带接地线的 15 针 D 型微型模拟连接器、一个 0-5 VDC 流量输入/输出信号和一个 Swagelok® 4 VCR® 公头输入和输出接头。典型响应时间约为 500 毫秒。
Swagelok, VCR-TM 世伟洛克公司