MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 模拟控制,范围为 10 至 500 sccm,15 针 D 型微型,4 VCR 公头。
MKS 零件编号:GM50A013502RMM020。 MKS GM50A 质量流量控制器能够配置为控制各种安全输送源气体 (SDS)。输入和输出配件为 Swagelok® 4 VCR®。它的满量程流量范围为 500 sccm,控制范围为 10 至 500 sccm,带有接地的 15 针 D 型微型连接器,以及 0-5 VDC 流量输入/输出信号。典型响应时间约为 500 毫秒。
Swagelok, VCR-TM 世伟洛克公司