MKS Granville Phillips 355 Micro-Ion ATM 模块化真空压力传感器、数字显示托读数、DeviceNet、氧化钇涂层铱灯丝、2.75 CF 入口。
1x10-9 Torr 压力测量。部件号:355620-2-YG-T MKS Granville-Phillips 355 Micro-Ion ATM 模块将经过验证的 Micro-Ion 电离计技术与微型 Conductron 热损失传感器相结合,提供从高真空到大气的精确、连续的压力测量。使用其隔膜传感器,该产品能够提供高达大气压的精确绝对压力,以及真空室与环境压力差的精确指示。独特的传感器设计消除了在较高压力下可能影响热损失传感器性能的热效应。这个小型模块将所有四个传感器和控制电子设备结合在紧凑的模块化设计中,减少了腔室所需的仪表数量,并最大限度地减少了所需的空间。全量程压力测量通过DeviceNet数字接口输出信号。这是一个 DeviceNet 版本,具有可配置用于过程控制的设定点,能够在真空压力范围内的任何压力下或特定的压差值上分配继电器。
好处包括:
•从1 x 10-9 高真空到大气的连续压力测量。
• 大气中的精密压差测量。
• 无需分立的大气开关。
• 无需三个独立的传感器。
• 电离规涂有氧化钇的铱丝,可延长设备的正常运行时间。
• 电离计激活和停用的自动化。
• 用于过程控制的设定值继电器。
• 现场可更换仪表组件。
• DeviceNet 输出。
模块化真空计是不需要前面板显示器和控件的应用的理想解决方案。这些紧凑、方便、可靠、节省成本的模块将控制电子设备直接安装在仪表上。全金属封装提供了坚固的外壳和高水平的抗电噪声能力。迷你Convectron 模块使用最新的电子技术来操作Granville-Phillips®Convectron®Gauge。 Convectron 压力计已成为行业标准。它是热导率计的独特变体,其中压力测量基于传感器线的热损失率。与仅利用传导热损失的传统热电偶和皮拉尼真空计不同,Convectron 真空计利用了高压下对流产生的热损失。这将精确、可重复的测量范围扩展到大气。