MKS HPS® 系列 974 QuadMag MicroPirani™ 压电冷阴极传感器,KF-40,RS-232。
MKS 零件号:974-91020 974 QuadMag 提供从 1x10 -8到 1500 Torr 的测量范围,并结合了冷阴极倒置磁控管、MicroPirani™ 和压电差分传感器技术。 974 专为真空真空进样室内的压力测量而设计。它具有从大气到 10 -8 Torr 的绝对压力测量和大气切换功能,能够取代负载锁上的多个压力测量设备。随后,OEM 可以通过简化的负载锁设计来降低成本。 974 可用于装载室或任何需要绝对压力测量和大气切换功能的真空室。 974 系列 QuadMag 具有 RS232 或 RS485 数字通信接口,用于设置传感器参数并提供实时压力测量。
974 QuadMag 传感器还具有 0.5VDC/十倍频程的模拟压力输出,可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面进行选择。974 系列 QuadMag 具有多达三个机械继电器,可用于过程控制,例如联锁阀门或泵。 974 QuadMag 传感器具有用户可更换的冷阴极阳极模块,无需拆卸传感器电子设备即可轻松维护。需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的带有 PDR900 系列控制器的 974 QuadMag。有关完整的规格和操作信息,请参阅下面的可用下载。
规格和价格如有变更,恕不另行通知。 HPS® 是注册商标,MicroPirani™ 是 ©2009 MKS Instruments, Inc. 的注册商标。保留所有权利。选项、(PN) 部件号和定价:全新 MKS HPS® 系列 974 QuadMag MicroPirani™ 压电冷阴极传感器NW25 KF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-21020,2009 年价格 1295 美元
2 3/4" CF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-71020,2009 年价格 1365 美元
NW40 KF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-91020,2009 年价格 1325 美元
NW25 KF, RS-485, SUBD 15pinHD 公无继电器PN 974-22020,2009 年价格 1295 美元
2 3/4" CF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-72020,2009 年价格 1335 美元
NW40 KF, RS-485, SUBD 15pinHD 公无继电器PN 974-92020,2009 年价格 1275 美元
NW25 KF、RS-232、SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 974-21030,2009 年价格 1305 美元
2 3/4" CF、RS-232、SUBD 15pinHDmale-3 继电器PN 974-71030,2009 年价格 1375 美元
NW40 KF、RS-232、SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 974-91030,2009 年价格 1315 美元
NW25 KF、RS-485、SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 974-22030,2009 年价格 1305 美元
2 3/4" CF、RS-485、SUBD 15pinHDmale-3 继电器PN 974-72030,2009 年价格 1395 美元
NW40 KF、RS-485、SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 974-92030,2009 年价格 1315 美元
●所有价格如有变更,恕不另行通知●