全新 MKS Instruments 气动波纹管角阀 ISO-KF NW16 不锈钢。 120V/50-60。部件号:153-0016K这些全新 MKS Instruments KF16 波纹管角阀系列 150 阀门旨在确保产品质量、可靠性和价值。这些产品在从半导体制造到等离子体物理研究再到核加速器的各种应用中都能可靠地发挥作用。这些角阀主要用于真空工艺。有时,阀门在气体处理或回填系统中会遇到高于大气压的压力。这些 MKS Instruments 阀门可在大气压至 10-9 Torr 以下的压力范围内使用。波纹管设计和关闭力可在规定的最大压力下提供可靠的操作。
单作用气缸将气动阀打开至 3 英寸尺寸。当气缸排气时,强力弹簧会关闭阀门。波纹管内的弹簧直接作用在鼻梁上。当电磁线圈的电控电压发生故障或气动源发生故障时,阀门将无法关闭。 4 英寸尺寸的阀门可带(V-100 系列)或不带(150 系列)关闭弹簧,6 英寸阀门仅可不带关闭弹簧。不带关闭弹簧的阀门具有双作用气缸。在所有尺寸中,气缸都得到充分润滑,以保证阀门的使用寿命。
电磁阀可靠、体积小且符合所需的电导率。电磁线圈适用于各种电压和频率;该 MKS Instruments 电磁阀的电磁阀电压和频率为 120V/50-60(零件号:153-0016K-120V/50-60)。许多附件可以通过气动连接端口连接。电磁控制阀的另一个特点是可以安装排气配件的螺纹排气口。这对于不允许将废气排入房间的应用至关重要,例如在洁净室中。