MKS T2BA 蝶形排气节流阀，KF40，“F 型密封”（挡板上的 Viton O 形圈），低功率电机（8 英寸磅），105°C，RS232，带 +/-15VDC 传感器电源（适用于 Baratron） ）。 MKS 零件号：T2BA01K320003V210025。 MKS T2BA 排气节流阀专为需要简单而先进的压力控制系统的应用而设计。 T2BA 将所有控制、通信和驱动电路集成在节流阀组件内，从而无需安装单独的压力控制电子模块。独特的基于模型的控制算法和高速运行驱动系统以最小的超调快速达到设定点，并确保可重复的工艺配方，无需操作员参与。产品特点：紧凑的压力控制系统 - 带有集成板载控制器电子设备的阀门 - 易于集成，无需额外的电缆或机架空间 提供高速配置（<250 毫秒。打开到关闭） - 更快的设定点和流量恢复和压力扰动 - 实现高工具吞吐量 可选的高扭矩驱动器 - 延长恶劣过程条件下的正常运行时间 带量程自动切换功能的双通道 Baratron® 传感器输入 - 支持宽动态压力控制范围 - 实现高压力控制精度 基于先进模型的压力控制算法- 最大限度地缩短达到设定点的时间 - 确保可重复的工艺配方，无需操作员参与 提供低电导软密封版本 - 即使在低流量下也支持高压工艺（Epi、RTP、SACVD 等） - 适用于“室内排气”或大气应用 为连接的 Baratron 电容压力计（某些型号可选）提供电源 T2BA 排气节流阀可以在两种主要模式下运行：挡板定位或压力控制，其中任何一种模式都可以由用户通过 I/O 接口激活。所有可调节的设置参数、运行时操作和诊断信息均可通过通信接口获得。 EtherCAT T2BA 与 EtherCAT 压力计完全兼容。模拟压力计需要网关。下游压力控制技术提供宽动态范围，适用于所有类型的泵，提供快速响应，并且能够耐受大多数废气。 “智能仪器”概念可以节省宝贵的系统空间，提高抗噪能力，并轻松访问时间关键的过程和校准信息以及板载诊断功能。 T2BA 采用直接驱动高速步进电机。阀门驱动器提供高分辨率压力控制。可选的高扭矩直驱电机可延长正常运行时间并延长预防性维护周期，这在要求严苛的流程中具有巨大优势，因为仅一小时的停机时间就可能导致数千美元的损失。 T2BA 还提供齿轮版本，可提供最大扭矩并能够在恶劣环境下长期运行。T2BA 阀门可选择使用 MKS 外部加热器加热至 200°C（需要正确选择密封材料）。 T2BA 提供独特的 MKS 低电导版本，可在大气应用中实现高速压力控制，包括排气压力控制、CVD 和 RTP，而无需依赖基于 O 形圈的设计来最大限度地减少阀门电导。提供基于编码器的位置反馈系统用于诊断目的。该阀门采用耐腐蚀 316 不锈钢制成，与大多数工艺气体兼容，并提供标准 ISO 法兰样式，孔径为 1" 至 4"（可根据定制提供其他尺寸）。提供的标准密封件是 Viton®，可以指定替代材料，以与各种工艺化学和/或加热应用兼容。

MKS T2BA 蝶形排气节流阀，ISO100，非密封（无 O 形圈；0.003 英寸径向间隙），低功率电机（8 英寸磅），105°C，氟橡胶（阀体密封），RS232，带 +/- 15VDC 传感器电源（用于 Baratron）。MKS 零件号：T2BA04N220303V210025。MKS T2BA 排气节流阀专为需要简单而先进的压力控制系统的应用而设计。T2BA 集成了所有控制、通信和驱动电路在节流阀组件内，从而无需安装单独的压力控制电子模块。独特的基于模型的控制算法和高速运行驱动系统以最小的超调快速设定点，并确保可重复的工艺配方，无需操作员参与产品特点：紧凑的压力控制系统 - 带有集成板载控制器电子设备的阀门 - 易于集成，无需额外的电缆或机架空间 提供高速配置（<250 毫秒。打开到关闭） - 更快的设定点和恢复流量和压力扰动 - 实现高工具吞吐量 可选的高扭矩驱动器 - 延长恶劣过程条件下的正常运行时间 带量程自动切换功能的双通道 Baratron® 传感器输入 - 支持宽动态压力控制范围 - 实现高压力控制精度 基于先进模型的压力控制算法 - 最大限度地缩短达到设定点的时间 - 确保可重复的工艺配方，无需操作员参与 提供低电导软密封版本 - 即使在低流量下也支持高压工艺（Epi、RTP、SACVD 等） - 适用于“室内排气”或大气应用 为连接的 Baratron 电容压力计（某些型号可选）提供电源 T2BA 排气节流阀可以在两种主要模式下运行：挡板定位或压力控制，其中任何一种模式都可以由用户通过 I/O 接口激活。所有可调节的设置参数、运行时操作和诊断信息均可通过通信接口获得。 EtherCAT T2BA 与 EtherCAT 压力计完全兼容。模拟压力计需要网关。下游压力控制技术提供宽动态范围，适用于所有类型的泵，提供快速响应，并且能够耐受大多数废气。 “智能仪器”概念可以节省宝贵的系统空间，提高抗噪能力，并轻松访问时间关键的过程和校准信息以及板载诊断功能。 T2BA 采用直接驱动高速步进电机。阀门驱动器提供高分辨率压力控制。可选的高扭矩直驱电机可延长正常运行时间并延长预防性维护周期，这在要求严苛的流程中具有巨大优势，因为仅一小时的停机时间就可能导致数千美元的损失。 T2BA 还提供齿轮版本，可提供最大扭矩并能够在恶劣环境下长期运行。T2BA 阀门可选择使用 MKS 外部加热器加热至 200°C（需要正确选择密封材料）。 T2BA 提供独特的 MKS 低电导版本，可在大气应用中实现高速压力控制，包括排气压力控制、CVD 和 RTP，而无需依赖基于 O 形圈的设计来最大限度地减少阀门电导。提供基于编码器的位置反馈系统用于诊断目的。该阀门采用耐腐蚀 316 不锈钢制成，与大多数工艺气体兼容，并提供标准 ISO 法兰样式，孔径为 1" 至 4"（可根据定制提供其他尺寸）。提供的标准密封件是 Viton®，可以指定替代材料，以与各种工艺化学和/或加热应用兼容。