MS 系列热电偶馈通,K 型,10 对,双端带空气和真空侧连接器,CF 4.50 英寸,Conflat 法兰。 MS 系列热电偶馈通,K 型,10 对,双端带空气和真空侧连接器,CF 4.50 英寸,Conflat 法兰
热电偶是通常用于温度测量系统的电馈通的描述。热电偶馈通不测量温度,而是用于将热电偶的电压信号从真空系统内部传导到外部仪表设备。这些馈通使用陶瓷-金属密封技术将热电偶组件中使用的各种金属钎焊到高纯度氧化铝陶瓷绝缘体上。热电偶馈通适用于超高真空应用。有几种安装选项可供选择,包括焊接、KF、CF、底板和 NPT 适配器。
功能包括:常见尺寸:A = 7.76"、B = 2.81"、C = 4.50"
馈通直径:4.50 英寸 CF
材质:不锈钢、镍铬合金、镍铝合金(带接头)
馈通(或真空馈通)有多种形式,用于将电流、信号、流体、气体或机械运动从真空外部(空气侧)传输到真空室内部(真空侧),再传输到室内的设备。馈通的入口必须通过合适的通孔进行真空密封。馈通可以是可焊接的(焊接式),也可以通过 CF、KF 或 ISO 真空法兰连接到真空室。
CF Conflat 法兰通常用于需要超高真空压力(低至 10-12 Torr)的工艺,并通过带铜垫圈的螺母和螺栓进行真空密封。其尺寸包括 1.33 英寸(迷你 conflat)、2.75、4.5、6、8、10、12、13.25、14 和 16.5 英寸外径。
KF 或快速法兰适用于低至 10-9 Torr 的高真空压力,并通过夹具和弹性体 O 形圈进行真空密封。它们有 KF10、KF16、KF25、KF40 和 KF50 尺寸。
ISO 或大型法兰适用于低至 10-6 Torr 的高真空压力,并通过螺母和螺栓(用于带螺栓孔的法兰)或爪夹(用于表面光滑且无螺栓孔的法兰)进行真空密封。它们使用弹性体 O 形圈进行真空密封。它们的尺寸包括 63 毫米、80、100、160、200、250、320、400、500 和 630 毫米。所有法兰均由耐腐蚀不锈钢制成。
馈通件有数千种,对于您的特定真空工艺,选择起来可能非常困难。如果您对您的要求有任何疑问,请联系我们的在职工程师,以帮助您找到适合您的真空工艺的馈通件。我们专注于提供与众不同的定制馈通件、真空室和配件。请致电 505-872-0037。
馈通类型
力量:
电源馈通是一种电馈通,可将电从大气(外部)传输到真空(内部)。电源馈通有一个或多个导体进入真空设备腔壁。导体密封在电绝缘体上,电绝缘体焊接或通过真空法兰或底板连接。导体金属有线、棒或管。导体材料基于电流、耐腐蚀性和磁性。选择时要考虑的因素包括工作电压、最大电流、基准压力和工作环境。切勿低于指定电压或电流,否则可能会导致电弧、熔化或绝缘体损坏。如果对选择有疑问,请致电我们。
热电偶:
热电偶馈通是一种坚固耐用且经济高效的温度传感器,可用于各种温度测量过程。当由不同金属制成的两根导线两端连接,其中一端被加热时,热电回路中就会有连续电流流动。如果该电路在中心断开,则净开路电压(塞贝克电压)是结温和两种金属成分的函数。这意味着当两种金属的结被加热或冷却时,会产生一个电压,该电压可以与温度相关联。如果配置正确,热电偶可以提供各种温度的测量。
它们可以包含一对或多对电线,并具有模制插头、推入式连接器、分离式连接器,并且可以在内部(真空)或外部(大气)具有接线片或螺丝连接器。需要考虑的因素包括温度范围、温度位置数量、护套材料、电线直径、金属类型和同一馈通内的电源导体。有许多类型的热电偶馈通由多种具有不同温度范围的不同金属制成。当选择有疑问时,请致电我们。
仪器:
仪器馈通也称为多针馈通,它通过真空壁传输电信号和/或低功率应用。它们用于仪器应用,如电子显微镜、表面分析和半导体过程控制。它们可以由真空壁两侧的针脚或同轴电连接器组成,内部(真空)或外部(大气)。选择前要考虑的事项包括电缆到屏蔽的最大电压、屏蔽到地的最大电压、信号电压、接地、阻抗、温度范围、连接数、连接器类型等。订购时,务必确保您随订单提供或未提供正确的连接器。仪器连接馈通类型很多,如有疑问,请致电我们。
液体或气体:
液体或气体馈通将气体或液体输送到真空安装的设备或腔室。这种气体或液体可以在真空腔室内保持一定的温度。它们可以订购 CF 或 KF 法兰或底板端口,这些端口有一个或多个管焊接到通孔,管从法兰/底端口的两侧伸出。这些管的直径各不相同,通常用小法兰或气体接头终止。需要考虑的事项包括法兰是否与设备壁上未使用的法兰相匹配、馈通数量、管直径、馈通入口端口尺寸以及与两侧组件相匹配的终端。如有疑问,请致电我们。
旋转运动:
旋转运动馈通是空气侧轴,用于旋转真空侧轴。存在多种类型的旋转驱动器,根据执行器机制、真空密封、兼容压力范围和应用进行区分。两种类型是使用背对背双 O 形环进行密封的弹性体密封和使用磁流体 O 形环技术的铁磁密封,以实现更高的 RPM 和高扭矩容量。馈通可以提供可重复的移动或粗定位,并且可以提供旋转运动、线性运动或两者的组合。有多种驱动设计可供选择,从手动转动到气动再到电动。如有疑问,请致电我们。
配件:
馈通可能需要额外的硬件才能进行所需的连接。我们提供电缆、电气/同轴连接器以及真空室内外的插针。如果不确定要购买哪种配件,请致电我们。
定制馈通:
为您的真空工艺选择合适的馈通件可能是一项非常困难的任务。我们可以帮助您做出选择。我们还专门为您的特定真空工艺设计和制造独特的馈通件。无论是选择帮助还是制造新的馈通件,我们的技术人员/工程师都可以利用他们的专业知识来加快您的真空工艺目标。立即致电 505-872-0037。