MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，范围为 0.4 至 20 sccm，RS - 485 串行通信协议，4 VCR 公头。MKS 零件编号：GM50A015201R5M020。MKS GM50A 质量流量控制器配置为控制 O2 或等效物，具有 20 sccm 的满量程流量范围和 0.4 至 20 sccm 的控制范围。它具有 RS - 485 串行通信端口、0-5 VDC 或 4 至 20 mA 流量输入/输出信号和 Swagelok® 4 VCR® 公头输入和输出配件。典型响应时间约为 500 毫秒。数字校准可使校准气体的设定点精度达到 1%。可以通过基于 Web 浏览器的应用程序配置多范围功能，该应用程序可通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机来访问。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。Swagelok、VCR-TM Swagelok 公司

MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，范围为 4 至 200 sccm，RS - 485 串行通信协议，4 VCR 公头。MKS 零件编号：GM50A004202R5M020。MKS GM50A 质量流量控制器配置为控制氩气或等效气体，全量程流量范围为 200 sccm，控制范围为 4 至 200 sccm。此 200sccm 氩气单位可通过软件“降低范围”至 141sccm，使可控范围从 4-200sccm 降至 ~2.8-141sccm 氩气。它具有 RS - 485 串行通信端口、0-5 VDC 或 4 至 20 mA 流量输入/输出信号和 Swagelok® 4 VCR® 公头输入和输出配件。典型响应时间约为 500 毫秒。数字校准可使校准气体的设定点精度达到 1%。多范围功能可通过基于 Web 浏览器的应用程序进行配置，只需将 MFC 插入路由器或通过以太网电缆连接到计算机即可访问。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。Swagelok、VCR-TM Swagelok 公司

MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，范围为 1 至 50 sccm，RS - 485 串行通信协议，4 VCR 公头。MKS 零件编号：GM50A013501R5M020。MKS GM50A 质量流量控制器配置为控制 N2 或等效物，具有 50 sccm 的满量程流量范围和 1 至 50 sccm 的控制范围。它具有 RS - 485 串行通信端口、0-5 VDC 或 4 至 20 mA 流量输入/输出信号和 Swagelok® 4 VCR® 公头输入和输出配件。典型响应时间约为 500 毫秒。数字校准可使校准气体的设定点精度达到 1%。可以通过基于 Web 浏览器的应用程序配置多范围功能，该应用程序可通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机来访问。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。Swagelok、VCR-TM Swagelok 公司

MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，范围为 1 至 50 sccm，RS - 485 串行通信协议，4 VCR 公头。MKS 零件编号：GM50A015501R5M020。MKS GM50A 质量流量控制器配置为控制 O2 或等效物，具有 50 sccm 的满量程流量范围和 1 至 50 sccm 的控制范围。它具有 RS - 485 串行通信端口、0-5 VDC 或 4 至 20 mA 流量输入/输出信号和 Swagelok® 4 VCR® 公头输入和输出配件。典型响应时间约为 500 毫秒。数字校准可使校准气体的设定点精度达到 1%。可以通过基于 Web 浏览器的应用程序配置多范围功能，该应用程序可通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机来访问。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。Swagelok、VCR-TM Swagelok 公司

MKS GM50A 质量流量控制器 (MFC) 数字控制，范围为 0.4 至 20 sccm，RS - 485 串行通信协议，4 VCR 公头。MKS 零件编号：GM50A013201R5M020。MKS GM50A 质量流量控制器配置为控制 N2 或等效物，具有 50 sccm 的满量程流量范围和 0.4 至 20 sccm 的控制范围。它具有 RS - 485 串行通信端口、0-5 VDC 或 4 至 20 mA 流量输入/输出信号和 Swagelok® 4 VCR® 公头输入和输出配件。典型响应时间约为 500 毫秒。数字校准可使校准气体的设定点精度达到 1%。可以通过基于 Web 浏览器的应用程序配置多范围功能，该应用程序可通过以太网电缆将 MFC 插入路由器或计算机来访问。电子诊断应用程序允许用户实时监控 MFC 的性能以及绘制数据和选择变量。Swagelok、VCR-TM Swagelok 公司