MKS Instruments 653B-3-80-2/S145-92-2, 下游阀门和压力控制器, 下游阀门和压力控制器, PN 653B-13105
这些 MKS Instruments 653B-3-80-2/S145-92-2 有零件号 653B-13105, 都是新的,并且配备齐全 MKS Instruments 保修单。 653B 排气节流阀的高速电机和齿轮/驱动器组件可对给定设定点做出快速响应,从而快速达到所需压力并提高系统吞吐量。通过对挡板进行微步进来实现高精度,以在所需的设定点提供更精确的压力控制,并且不会发生漂移。 653 具有足够的扭矩来操作长达 4 英寸的密封阀和长达 12 英寸的非密封阀,以防止污染物堆积造成堵塞。阀体可加热至 150°C(使用可选密封材料),以便在高温应用和工艺中运行。 653 具有挡板位置指示器,可在系统故障排除期间识别阀门角度,有多种尺寸和法兰样式可供选择,并与 MKS 651 和 1652 控制器兼容。
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