Pfeiffer Vacuum 电压保护, 残余气体分析仪, 残余气体分析仪,  PN  PT 162 039

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普发 PrimaPro QMG 250

配备法拉第探测器的普发真空四极杆质谱仪是高真空室中气体成分定性分析的首选设备。与真空计相比，四极杆质谱仪提供了更丰富的真空信息。法拉第探测器通常足以获取有关高真空下泄漏、水蒸气释放或碳氢化合物污染的信息。为此，普发真空提供了一系列具有各种质量范围和灯丝材料的四极杆质谱仪。

质谱仪提供的用于测量气体成分质荷比的离子电流提供了有关真空系统在多个操作阶段的有意义的信息，无论是用于确定安装后的密封性和是否存在污染，还是用于其表征当操作真空过程时。

基于真空室和抽气系统的设计，真空系统可达到的压力范围决定了质谱仪相对于检测器的选择。在高真空中法拉第探测器通常就足够了，而在超高真空中则需要二次电子倍增器来检测非常低的气体密度。

另一个关键标准是要检测的质量范围。在传统的真空系统中，主要关注的是氮气、氧气、氩气、水蒸气等大气气体以及轻质烃的污染。为了检测这些气体，1 至 100 原子质量单位 (u) 范围内的四极质谱仪是理想的选择，因为这表明在此范围内具有出色的质量分离。如果还必须检测较重的气体及其成分，例如长链碳氢化合物，普发真空还为此提供 1 至 200 u 或 1 至 300 u 的质量过滤器。

开放式离子源是残余气体分析中大多数任务的最佳选择，因为它们结合了稳健的设计和高检测灵敏度。必须分析气体射流或气流的任务可以通过封闭或交叉束离子源有利地掌握。对于超高真空范围，还可以使用具有极低脱气率的栅极离子源。由于普发真空四极杆质谱仪有大量组件可供选择，因此具有精确的可配置性，因此可以针对所有测量任务最佳地选择质谱仪。我们拥有多年经验的产品和应用专家很乐意为您提供有关合适残余气体分析仪配置的建议。

普发高压分析仪 HPA 220

普发真空高压分析仪 HPA 220 是一款模块化且可灵活使用的质谱仪系统，配有干式涡轮泵站，可在压力高达 37 Torr (50 hPa) 的真空中进行气体分析。根据其用途，普发真空 HPA 220 可以选择五种不同的电动气动以及手动操作的进气阀。这甚至使得反应气体能够检测到工艺气体中最小的杂质。它还有效地防止分析仪室的反向扩散造成的任何读数伪造。

普发真空 SPM 220 溅射过程监测仪

普发真空溅射过程监测仪 SPM 220 为溅射过程的定性和定量气体分析提供了完美的解决方案。普发真空 HiPace 涡轮泵站和质谱仪系统与专门开发的 SPM 离子源相结合，可在高达 7.4 mTorr (10-2 hPa) 的压力下进行精确的最新工艺气体分析。

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