MKS Instruments 电缆,112 至 122/222 屏蔽,ROHS, 上游阀门和压力控制器, 上游阀门和压力控制器, PN RCB112S-2-10
这些 MKS Instruments 电缆,112 至 122/222 屏蔽,ROHS 有零件号 RCB112S-2-10, 都是新的,并且配备齐全 MKS Instruments 保修单。 245 阀门是 Grainville-Philips 系列 216 全金属可烘烤控制阀的改进版本。 245 阀门能够控制 10-11 至 6000 Torr 的压力,最大吞吐量高达 2500 托升/秒 (200 slm):该阀门可用于许多腐蚀性气体,而无法使用其他阀门。拆除阀门驱动器组件后,可将阀门烘烤至 450°C,以用于 UHV 应用。用于驱动 245 型的步进电机可以在几分之一秒内响应压力或设定点变化,并且只需 15 秒即可将阀门从完全关闭位置驱动到完全打开位置。 244 型控制器完善了系统。 244/245 压力/流量控制系统是一种闭环反馈控制系统,适用于需要全金属、可烘烤控制阀的真空工艺,用于宽范围压力或流量控制。 244/345 系统由控制模块和伺服控制泄漏阀组成,非常适合溅射、溅射蚀刻、离子源控制、离子注入、真空计校准等单一气体工艺。
有关这些的更多信息MKS Instruments 电缆,112 至 122/222 屏蔽,ROHS 可以通过下载下面的 pdf 目录和文档来找到。只需打开 pdf 下面的目录,运行 pdf 搜索 (ctrl F) 并搜索 RCB112S-2-10.
|