MKS HPS® 系列 974 QuadMag MicroPirani™ 压电冷阴极传感器，KF-40，RS-232。 MKS 部件号：974-91020 974 QuadMag 提供 1x10-8 至 1500 Torr 的测量范围，并结合了冷阴极倒置磁控管、MicroPirani™ 和压电差分传感器技术。 974 专为真空真空进样室内的压力测量而设计。它具有从大气到 10-8Torr 的绝对压力测量以及大气切换功能，能够取代负载锁上的多个压力测量设备。随后，OEM 可以通过简化的负载锁设计来降低成本。 974 可用于装载室或任何需要绝对压力测量和大气切换功能的真空室。 974 系列 QuadMag 具有 RS232 或 RS485 数字通信接口，用于设置传感器参数并提供实时压力测量。 974 QuadMag 传感器还具有 0.5VDC/十进制的模拟压力输出，可连接到外部模拟设备以进行压力读数或控制。其他模拟输出和曲线可以通过数字用户界面进行选择。974 系列 QuadMag 具有多达三个机械继电器，可用于过程控制，例如联锁阀门或泵。 974 QuadMag 传感器具有用户可更换的冷阴极阳极模块，无需拆卸传感器电子设备即可轻松维护。需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的带有 PDR900 系列控制器的 974 QuadMag。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。规格和价格如有更改，恕不另行通知。 HPS® 是注册商标，MicroPirani™ 是 ©2009 MKS Instruments, Inc. 的注册商标。保留所有权利。选项、(PN) 部件号和定价：全新 MKS HPS® 系列 974 QuadMag MicroPirani™ 压电冷阴极传感器NW25 KF， RS-232, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-21020, 2009 Price $12952 3/4 CF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-71020, 2009 Price $1365NW40 KF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-91020, 2009 价格 $1325NW25 KF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-22020, 2009 价格 $12952 3/4 CF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-72020, 2009 价格$1335NW40 KF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头-无继电器PN 974-92020, 2009 价格 $1275NW25 KF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头-3 继电器PN 974-21030, 2009 价格 $13052 3/4 CF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 974-71030, 2009 价格 $1375NW40 KF, RS-232, SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 974-91030, 2009 价格 $1315NW25 KF, RS-485, SUBD 15pinHD 公头 3 继电器PN 974-22030, 2009 价格 $13052 3/4 CF, RS-485, SUBD 15pinHDmale-3 继电器PN 974-72030, 2009 价格 $1395NW40 KF, RS-485, SUBD 15pinHDmale-3 继电器PN 974-92030, 2009 价格 $1315？所有价格均以更改恕不另行通知？

MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器 KF-25，1 x 10-8 至 1500 Torr。 RS232，绝对过程测量。 MKS 部件号：974B-21020 MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器属于 MKS 970 系列，这是一个紧凑、低成本、通用传感器系列，采用一到四个传感器 - 冷阴极、MicroPirani™ 和压电技术。结合这些传感技术可实现从大气到 10-8 Torr 的宽测量范围。除了尺寸小、范围广和成本较低之外，970 系列还可以通过数字通信或作为自主模拟单元进行操作。传感器测量范围为 10-5 至 1,500 Torr。 Piezo 是一款直读式绝对压力传感器，可实现独立于气体的测量。该传感器具有独特的温度补偿功能，可在较宽的测量范围内实现高精度。 Piezo 的测量范围为 10-1 至 1,500 Torr。当压力低于 10-2 Torr 时，MicroPirani 会对 Piezo 执行自动调零功能。与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani™ 中的元件由一毫米见方的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。传统的皮拉尼传感器的测量范围为 10-3 至约 100 Torr，超过 10 Torr 时灵敏度会迅速下降。由于 MicroPirani™ 传感部分的尺寸非常小，因此其范围低至 10-5 Torr。该设计最大限度地减少了对流的影响，因此可以在任何位置进行操作，而不会影响精度，从而简化了安装。该传感器包括一个按钮调零控制，可在压力低于 10-5 Torr 时使用。 MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器具有数字通信功能，可通过主机实时进行所有调整和监控。 MKS 974B 传感器支持 RS485 或 RS232 通信作为标准功能。这款 974B QuadMag 冷阴极传感器在 15 针高密度 D-sub 公头连接器上提供 1 至 9 伏直流模拟输出信号。传感器输出在两个传感器之间进行平滑处理，并在 5 至 15 Torr 范围内从两个传感器读取数据。对于过程控制，974B 具有三个独立的继电器设定点。设定点的特性可以通过数字端口进行设置、调整和监控。与所有热导率传感器一样，MicroPiraniTM 对气体类型敏感。压电测量与气体类型无关。 974B 提供数字泄漏检测输出，可测量 Piezo 和 MicroPirani™ 之间的差异读数。这使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的 974B DualTrans 和 PDR900 系列控制器。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。

MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器 KF-40，1 x 10-8 至 1500 Torr。 MKS 零件号：974B-92020 MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器属于 MKS 970 系列，这是一个紧凑、低成本、通用传感器系列，采用一到四个传感器 - 冷阴极、MicroPirani™ 和压电技术。结合这些传感技术可实现从大气到 10-8 Torr 的宽测量范围。除了尺寸小、范围广和成本较低之外，970 系列还可以通过数字通信或作为自主模拟单元进行操作。传感器测量范围为 10-5 至 1,500 Torr。 Piezo 是一款直读式绝对压力传感器，可实现独立于气体的测量。该传感器具有独特的温度补偿功能，可在较宽的测量范围内实现高精度。 Piezo 的测量范围为 10-1 至 1,500 Torr。当压力低于 10-2 Torr 时，MicroPirani 会对 Piezo 执行自动归零功能。与传统的皮拉尼真空计不同，MicroPirani™ 中的元件由一毫米见方的硅芯片制成，允许在非常小的体积内进行测量。传统的皮拉尼传感器的测量范围为 10-3 至约 100 Torr，超过 10 Torr 时灵敏度会迅速下降。由于 MicroPirani™ 传感部分的尺寸非常小，因此其范围低至 10-5 Torr。该设计最大限度地减少了对流的影响，因此可以在任何位置进行操作，而不会影响精度，从而简化了安装。该传感器包括一个按钮调零控制，可在压力低于 10-5 Torr 时使用。 MKS 974B QuadMag 冷阴极传感器具有数字通信功能，可通过主机实时进行所有调整和监控。 MKS 974B 传感器支持 RS485 或 RS232 通信作为标准功能。这款 974B QuadMag 冷阴极传感器在 15 针高密度 D-sub 公头连接器上提供 1 至 9 伏直流模拟输出信号。传感器输出在两个传感器之间进行平滑处理，并在 5 至 15 Torr 范围内从两个传感器读取数据。对于过程控制，974B 具有三个独立的继电器设定点。设定点的特性可以通过数字端口进行设置、调整和监控。与所有热导率传感器一样，MicroPiraniTM 对气体类型敏感。压电测量与气体类型无关。 974B 提供数字泄漏检测输出，可测量 Piezo 和 MicroPirani™ 之间的差异读数。这使其成为定位真空系统中的中度到细微泄漏的简单解决方案。需要电源和显示器的客户可以使用本网站上出售的 974B DualTrans 和 PDR900 系列控制器。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。

适用于 900 系列传感器的 MKS PDR900 真空计控制器 MKS PDR900 电源和读数装置是一款独立的单通道控制器，可与 900 系列数字真空传感器一起使用。该仪器为真空计控制器设定了新标准，可用作独立电源读出单元，或用作 OEM 应用中系统集成传感器的配置、校准和诊断工具。 PDR900 控制器是真空测量、数字传感器配置和高级系统诊断的理想解决方案。该控制器具有易于使用的菜单驱动用户界面，可指导用户设置和配置远程传感器参数。读出单元与传感器进行数字通信，消除了通过传感器电缆的模拟测量噪声耦合。该装置自动检测 900 系列传感器类型，并可与 RS232 和 RS485 传感器一起使用（与 909/909A 或 903 模拟传感器不兼容）。有关完整的规格和操作信息，请参阅下面的可用下载。