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BOC Edwards iQDP80 (iQDP-80) 干式半导体 DryStar 真空泵重建 iQ 干泵系统是微处理器控制的模块化干泵套件,可提供无与伦比的控制和监控设施。 iQ 泵送系统可以通过手持式 LCD 控制面板进行本地控制,也可以通过完全定制的工具界面进行远程控制。所有主要控制元件均位于泵送系统的占地面积内。iQ 干式泵送系统具有集成传感器,可连续监控关键系统性能参数并提前发出问题警告。这些泵安装了泵和电机温度传感器。 iQ 泵组参数可通过各种输出设备进行监控和显示,包括: 手持式或面板安装的控制模块;本地PC或笔记本电脑; OEM指定工具接口; PC 作为晶圆厂范围网络的一部分。这是一个手持式 LCD 控制面板模块,提供以下访问:系统控制和配置;系统状态和监控值;诊断和建议的纠正措施。工具接口模块可用于为您的工艺工具提供完全定制的接口。它通过屏蔽双绞线电缆与 iQ 泵系统进行通信。它具有完整的系统配置,可检查流程泵服务历史记录、流程/工具特定设置、通电时更新,从而在流程工具之间提供最大的泵互换性。我们销售的每台干式真空泵都在新墨西哥州阿尔伯克基 (NM) 工厂经过严格的改造过程。每个泵都被完全拆卸,所有部件都经过净化和检查。更换损坏或磨损的部件。所有轴承、O 形圈、密封件和垫圈均已更换。重建的泵连接到我们的计算机控制压力诊断系统,在不同负载下对其性能进行 72 小时监控。泵经过泄漏测试,以确保操作期间的安全。根据需要对最终泵进行清洁和涂漆。
健康)状况: 重建
零件号: P101404
价格: NT$367,756.03
正常价格: NT$525,365.75