Agilent Varian TPS-mobiles Vakuumsystem mit 74FS Turbo, ISO63-Einlass, mit Trockenscrollpumpe IDP-07 auf mobilem Wagen

Diese mobilen Agilent Varian TPS-Systeme sind mit einer Agilent 74 FS-Turbopumpe mit einer Pumpgeschwindigkeit von 60 l/s, einem ISO-63K-Einlassflansch, einer IDP-7-Trockenscroll-Vorpumpe und einem 74-FS AG-Regler für die Rackmontage ausgestattet. Sie sind Plug-and-Play-Systeme, ein komplett eigenständiges Ultrahochvakuum-Pumpsystem, einfach einstecken und abpumpen. Sie benötigen lediglich die erforderliche Hardware und Manometer für den Anschluss an Ihre Kammer oder Ihren Vakuumprozess. Die Turbopumpen Agilent 74 FS mit CF-Flansch sind echte Ultrahochvakuumpumpen (UHV) mit einem Enddruck im Bereich von 10–10 Torr (sofern Ganzmetall-Einlassdichtungen verwendet werden und die Vakuumkammer vollständig sauber und ausgeheizt ist). aus). Agilent 74 FS-Turbopumpen mit ISO-K-Flanschen sind (durch Permeation und Ausgasung der Gummi-/Elastomer-O-Ring-Dichtungen) auf einen Enddruck im Bereich von 10-8 Torr begrenzt. Der Ansaugflansch dieser Pumpen (nur CF-Flansch) kann bei wassergekühltem Turbo auf bis zu 100 °C erhitzt werden.

Zu den Anwendungen gehören:

• Abpumpen des UHV-Systems
• IONENPUMPEN-Schruppen
• Lampen- und Röhrenverarbeitung
• Regeneration der Kryopumpe
• Betrieb von Hochvakuumsystemen
• Ausheizen von Hoch- und Ultrahochvakuumsystemen

Dieses Agilent Varian TPS-Mobile umfasst die folgenden Komponenten:

• Agilent Varian 74 FS TwisTorr Turbomolekularpumpe, ISO-63-Einlass, 60 l/s Stickstoff
• Agilent Varian 74 AG FS Rack-Controller
• Agilent Varian Luftkühlungslüfter-Kit für Rack-Controller
• Agilent Varian IDP-07 Dry Scroll Vorpumpe
• ISO63-Einlass mit Sieb
• Mobiler Wagen mit Rädern und einstellbarer Pumpenhöhe
• Wechselstromkabel, 3 Meter

Hinweise zur Agilent Varian 74 FS Turbomolekular-Vakuumpumpe
Diese Agilent Varian TwisTorr 74-FS Turbomolekular-Hochvakuumpumpen verfügen über eine neue und verbesserte Leistung, einschließlich einer neu entwickelten Labyrinth-TwisTorr-Widerstandsstufentechnologie und der Agilent Floating Suspension (AFS) sowie einer optimierten thermischen Designkartierung. TwisTorr-Drag-Stufen erzeugen hohe Kompressionsverhältnisse für leichte Gase wie Wasserstoff und Helium, um einen hohen Durchsatz und eine hohe Toleranz des Vordrucks zu liefern, wodurch die Verwendung kleinerer und wirtschaftlicherer Vorpumpen ermöglicht wird. Diese Technologie führt zu einem kompakten Rotordesign, das energieeffizient ist und eine niedrige Betriebstemperatur aufrechterhält. Das schwimmende Aufhängungssystem von Agilent reduziert Geräusche und Vibrationen und sorgt für optimale Lagerbetriebsbedingungen, um die Lebensdauer zu verlängern, Systemausfallzeiten zu minimieren und eine stabile Pumpleistung über lange Zeiträume sicherzustellen. Die einzigartigen Keramikkugellager mit Dauerschmierung machen Öl und Wartung überflüssig und ermöglichen den Betrieb der Pumpe in jeder Ausrichtung. Turbopumpen von Agilent sind für optimale Leistung in realen Anwendungen konzipiert, wobei ihre kompakte Größe den Anforderungen von Branchen mit strengen Platzanforderungen gerecht wird. Diese neuen Turbopumpen Agilent TwisTorr 74 FS erfordern nur minimale bis gar keine Wartung. Eine PDF-Bedienungsanleitung für die Turbopumpe TwisTorr 74 FS steht unten zum Download bereit.

Hinweise zum Agilent Varian 74FS AG Rack-Controller
Der Rack-Controller TwisTorr 74FS AG ist ein mikroprozessorgesteuerter Frequenzumrichter mit neuen erweiterten Funktionen, die größere Steuerungs- und Kommunikationsmöglichkeiten ermöglichen. Es handelt sich um eine kompakte 1/4-Rack-Einheit, die für vollständige weltweite Kompatibilität mit 100–240 VAC ausgelegt ist. Dieser Controller verfügt über RS 232/485-Anschlüsse, versorgt einen Kühlventilator mit Strom, treibt Entlüftungsventilsteuerungen an, liefert und erfasst den Druck der Agilent Varian-Großraummessgeräte und steuert die Pumpenbetriebsparameter für die Turbopumpen der TwisTorr 74FS-Serie. Es enthält außerdem Selbstdiagnose- und Schutzfunktionen. Dieser Controller erkennt automatisch die aktiven Messgeräte von Agilent, die einen Wert von 10-3 bis 10-9 Torr messen. Eine PDF-Bedienungsanleitung für den TwisTorr 74 FS AG Controller steht unten zum Download bereit.

Hinweise zur Trockenscroll-Vorvakuumpumpe IDP-7
Die neue trockene Scroll-Vakuumpumpe Agilent Varian IDP-07 ist für einen extrem leisen Betrieb mit < 55 dBA und geringen Vibrationen ausgelegt, liefert eine Spitzenpumpgeschwindigkeit von 5,4 cfm (9,1 m3/h) bei 60 Hz und erzeugt einen Enddruck von 20 mTorr . Diese neuen trockenen Scrollpumpen IDP-07 von Agilent sind hermetisch abgedichtet und eignen sich für die Heliumumwälzung sowie für Vakuumöfen und Vorpumpenanwendungen. Das hermetische Design sorgt für einen sauberen Gasweg durch die Pumpe, wodurch jegliches Risiko einer Öl- oder Fettverunreinigung ausgeschlossen wird, sodass Motor und Lager bei Atmosphärendruck laufen können und sie so vor der Einwirkung von Vakuumprozessgasen oder Wasserdampf geschützt sind. Der Agilent IDP-07 unterstützt einen globalen Einphasenmotor für Betriebsspannungsbereiche, die problemlos zwischen 100–120 V oder 200–230 VAC bei 50/60 Hz umgeschaltet werden können. Eine PDF-Bedienungsanleitung für den IDP-7 steht seitlich zum Download bereit.