Edwards EMO-Kabel für die Installation einer trockenen Halbleiterpumpe der iXL- oder iXH-Serie neuer Bauart an einem Werkzeug mit vorhandenen Pumpen der iH-Serie alter Bauart

Ideal Vacuum liefert unser eigenes Schnittstellenkabel, das den Austausch einer älteren Pumpe der iH-Serie durch die Modelle IXL120N, iXH100 oder iXH610 ermöglicht. Diese EMO-Verkabelung ist nützlich für Anwendungen, bei denen an einem Halbleiterwerkzeug mehrere iH-Pumpen alter Bauart in der Unterfertigung angeschlossen sind. Dieses Schnittstellenmodulkabel setzt die EMO-Schaltung über die verbleibenden iH-Pumpen des alten Stils und durch die iXL120N-Ersatzpumpe des neuen Stils fort. Im Folgenden werden die Anschlüsse und die verschiedenen Schnittstellenmodule ausführlich beschrieben. Dieses Kabel wird normalerweise von P2 (Ausgang) des iTIM auf der linken Seite des iH mit dem Notaus-Anschluss (EMS) des iXL120N und J1 (Eingang) des iTIM auf der rechten Seite der iH-Pumpe verbunden (Details finden Sie in unserem Anwendungshinweis im PDF-Format). .

Das Problem besteht darin, dass die Pumpen der Edwards iH-Serie inzwischen eingestellt wurden und nicht mehr erhältlich sind. Ideal Vacuum hat die Ersatzpumpen iXL120N für die Ladeschleuse, iXH100 (ersetzt iH80), iXH610 (ersetzt iH600) usw. auf Lager. Die neue iXL120N-Pumpe verfügt nicht wie die alten IH-Pumpen über einen EMO-Knopf an der Vorderseite (siehe Details in unserem Anwendungshinweis). Das Edwards iTIM wurde oft mit trockenen Halbleitervakuumpumpen der Edwards iH-Serie älterer Bauart konfiguriert, bei denen mehrere Pumpen an ein einziges Halbleiterwerkzeug in der Unterfabrik angeschlossen sind. Die EMO-Verkabelung ist so eingerichtet, dass das Werkzeug abgeschaltet wird, wenn eine EMO an einer der Pumpen der iH-Serie gedrückt wird. Sie sind normalerweise in Reihe in einer Daisy-Chain-Konfiguration verkabelt.