Edwards iXL120N Trockenvakuumpumpe, 200–460 VAC, Stickstoffspülanschluss, 3/8 QC-Schnellkupplungs-Wasseranschluss.

Die XL120 ist eine kompakte, energiesparende Trockenpumpe mit 110 m3h-1 für die Waferhandhabung und andere saubere Anwendungen. Es ermöglicht ein schnelles Abpumpen der Schleusenkammern bei extrem niedrigem Energieverbrauch. Die iXL120 ist eine der kleinsten und leichtesten Pumpen für Lastschleusen- und Reinigungsanwendungen. Aufgrund seiner geringen Vibration und seines niedrigen Geräuschpegels eignet es sich ideal für die Montage am Werkzeug oder im Waffelboden einer Fabrik und trägt so dazu bei, wertvollen Platz auf dem Fabrikboden zu sparen. Ein grüner Modus ermöglicht eine reduzierte Nutzung der Betriebsmittel während der Leerlaufzeit, senkt die Betriebskosten und trägt zum Schutz der Umwelt bei!

Die erstklassige Ausfallzeit der Kammerpumpe reduziert die durchschnittliche Gesamtzykluszeit (TACT). Nur 0,55 kW Stromverbrauch tragen zur Minimierung der Betriebskosten des Kunden bei. Der Green-Modus kann den Stromverbrauch in Leerlaufzeiten um bis zu 92 % senken. Eine Wasserversorgung von bis zu 35 °C trägt dazu bei, den Kühlwasserbedarf der Anlage zu senken Extrem klein und leicht, wodurch wertvoller Platz in der Fertigung gespart wird. Ölgeschmierte Präzisionslager sorgen für einen reibungslosen, vibrationsarmen Betrieb ohne routinemäßige Wartung. Die einzigartige Doppeleinlassanordnung ermöglicht eine effiziente Vorleitungsführung und Standortoptionen. Durch die Null-Stickstoff-Spülungsoption ist keine Stickstoffversorgung erforderlich, was die Installation spart und Betriebskosten