MKS 626D 0,1 Torr Baratron Absolutes Kapazitätsmanometer, Vakuum-Manometersensor, UHV-Vakuumanschluss, Conflat CF 1,33-Zoll-Flansch, 626D.1TCE

Die unbeheizten absoluten Baratron®-Kapazitätsmanometer MKS 626D sind die neuesten analogen, kapazitätsbasierten Hochleistungs-Vakuum- und Druckwandler. Sie benötigen eine Eingangsspannung von ±15 VDC und liefern ein analoges Ausgangssignal mit hohem Pegel von 0–10 VDC, das linear zum Druck ist. Dieser Analogausgang kann mit einem MKS PDR2000-Druckregler, einem MKS-Netzteil/Anzeigeinstrument oder jedem anderen Instrument, das diese Anforderungen erfüllt, verbunden werden. Druck-/Vakuumänderungen werden durch Messung der Kapazitätsänderung zwischen der Membran des Sensors und einer benachbarten Elektrodenscheibe bestimmt. Diese Kapazitätsänderung wird durch patentierte elektronische Signalaufbereitungsschaltungen in einen nutzbaren Ausgang umgewandelt. Die radial gespannte Inconel®-Membran im Sensor bietet eine sehr schnelle Reaktion (in vielen Fällen <20 ms), eine geringe Hysterese, eine hervorragende Wiederholbarkeit, eine sehr hohe Auflösung (bis zu 0,001 % des Skalenendwerts), eine außergewöhnlich hohe Korrosionsbeständigkeit und ist doppelwandig Schweißkonstruktion zur Sicherheit des Bedieners. Der Sensor selbst hält wiederholten Belastungen von 45 psia (3,1 bar) ohne dauerhafte Beeinträchtigung oder Verschiebung stand und ermöglicht so den Einsatz in praktisch jedem Prozesssystem. Die MKS 626D Baratron-Kapazitätsmanometer arbeiten bei Umgebungsbedingungen. Sie sind in vollständigen Druck-/Vakuumbereichen von 0,1 bis 1000 Torr erhältlich und eignen sich für viele Industrie-, Elektronik- und Forschungsanwendungen.

Diese Auflistung gilt für ein MKS-Kapazitätsmanometer vom Typ 626D mit einem 15-poligen D-Subminiatur-Signalanschluss, einem maximalen Vakuumdruckmesswert von 0,1 Torr, einem Conflat CF 1,33-Zoll-Ultrahochvakuum-UHV-Flanschanschluss und einer MKS-Teilenummer 626D.1TCE.

Kompatible Controller und Kabel:

• P102063 – Ideales Vakuumkabel für MKS PDR 2000 Netzteil und digitales Anzeigekabel, 15-poliges Y-Kabel, entspricht CB2000S-1-M1
• P102062 – MKS PDR 2000 Digitales Netzteil und Kapazitätsmanometer-Controller mit digitaler Anzeige
• P1010127 – Ideal Vacuum Dual-Kapazitäts-Manometer-Controller (DCM), Netzteil und digitale Druckanzeige

Produktmerkmale:

• 0 bis 10 VDC proportionaler Analogausgang mit 15-poligem D-Sub-Stecker
• Direkte Messung des Kammergesamtdrucks unabhängig von der Gasart oder -zusammensetzung
• Langfristige Ausgabestabilität für hochmoderne Prozesswiederholbarkeit
• Die Inconel®- und Incoloy®-Nickellegierungskonstruktion des Basissensors funktioniert in praktisch jeder chemischen Umgebung ohne Beschädigung
• Hohe Überdruckgrenze gewährleistet Zuverlässigkeit bei Systemausfällen
• Angabe in Prozent des Messwerts für beste Genauigkeit und verbesserte Prozessausbeute