MKS HPS 910 DualTrans Micropirani Absoluter Piezo-Wandler KF16 RS485, 10-5 bis 1500 Torr 910-12030

Der 910-12030 DualTrans™ MicroPirani™/Absolute Piezo-Vakuumwandler wurde speziell für Druckmessanwendungen mit großem Bereich entwickelt und verfügt über einen ISO-KF-Flanschanschluss der Größe NW16. Der kombinierte Ausgang bietet eine deutlich höhere Genauigkeit, Stabilität, Wiederholbarkeit und eine schnellere Reaktionszeit als herkömmliche Wärmeleitfähigkeitsmessgeräte. Der 910 kombiniert zwei Druckmesstechnologien, um überragende Leistung und Funktionalität zu bieten. Der 910 bietet eine gasunabhängige Absolutdruckmessung von 11 bis 1500 Torr mit höherer Genauigkeit als Wärmeleitfähigkeitssensoren. Im Gegensatz zu herkömmlichen Pirani-Messgeräten besteht das Sensorelement des MicroPirani aus einem ein Millimeter großen Siliziumchip, sodass die Messungen in einem sehr kleinen Volumen durchgeführt werden können. Dank der MicroPirani-Technologie kann der 910 Drücke bis zu 10-5 Torr messen, zwei Jahrzehnte unter einem Standard-Pirani-Sensor. Das Sensordesign minimiert die Auswirkungen der Konvektion, sodass der 910 in jeder Ausrichtung montiert werden kann, ohne dass die Genauigkeit beeinträchtigt wird.

Der Piezo ist ein Absolutdrucksensor, der eine direkte Druckmessung liefert und eine gasunabhängige Messung ermöglicht. Der Piezosensor misst von weniger als 1 Torr bis 1500 Torr. Der 910 verfügt über eine digitale RS485-Kommunikationsschnittstelle zur Einrichtung von Wandlerparametern und zur Bereitstellung von Druckmessungen in Echtzeit. Der 910 verfügt außerdem über einen analogen Druckausgang von 1 VDC/Dekade, der zur Druckanzeige oder -steuerung an externe analoge Geräte angeschlossen werden kann. Weitere analoge Ausgänge und Kurven können über die digitale Benutzeroberfläche ausgewählt werden. Der 910 verfügt über drei mechanische Relais, die zur Prozesssteuerung verwendet werden können, beispielsweise zur Verriegelung von Absperrventilen und Vakuumpumpen. Jeder Sollwert kann entweder der Piezomessung oder der kombinierten absoluten MicroPirani/Piezomessung zugeordnet werden. Das kompakte Design des 910 reduziert den Platzbedarf eines Vakuummessgeräts erheblich. Dies ist besonders für Systementwickler interessant und ermöglicht ein kompakteres Vakuumsystem.