Bomba de vacío en seco Edwards iXL120N, 200-460 VCA, 3/8 QC Accesorio de agua de desconexión rápida agregado. Número de pieza A54114010 La XL120 es una bomba seca compacta y de bajo consumo de 110 m3h-1 para el manejo de obleas y otras aplicaciones de servicio limpio. Proporciona un vaciado rápido de las cámaras de bloqueo de carga con un consumo de energía extremadamente bajo. iXL120 es una de las bombas más pequeñas y livianas disponibles para aplicaciones de limpieza y bloqueo de carga. Su baja vibración y bajos niveles de ruido lo hacen ideal para montarse en la herramienta o dentro del piso waffle de una fábrica, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en el piso de la fábrica. Un modo verde permite reducir el uso de servicios públicos durante los períodos de inactividad, lo que reduce los costos de los servicios públicos y ayuda a salvar el medio ambiente. El tiempo de inactividad de bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT) El consumo de energía de solo 0,55 kW ayuda a minimizar el costo de propiedad del cliente El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad El suministro de agua de hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en la fábrica. Los cojinetes de precisión lubricados con aceite garantizan un funcionamiento suave y de baja vibración sin mantenimiento de rutina. El exclusivo arreglo de entrada doble permite enrutamiento delantero eficiente y opciones de ubicación. La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra instalación. y costos operativos Edwards iXL120 Características y beneficios: La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra costos de instalación y operación. El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad. El tiempo de inactividad del bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT). El suministro de agua a hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones. costo de propiedad Una única variante cubre el rango de voltaje de suministro de 200-460 V, 50/60 Hz Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio de fábrica

Bomba de vacío seca Edwards iXL120 E 200-460VAC, conexión de agua de 3/8 QC. Compacto, pequeño y ligero. Número de pieza de Edwards A54113010. La XL120 es una bomba seca compacta, de bajo consumo de energía y 110 m3h-1 para manipulación de obleas y otras aplicaciones de trabajo limpio. Proporciona un rápido vaciado de las cámaras de las esclusas de carga con un consumo de energía extremadamente bajo. iXL120 es una de las bombas más pequeñas y livianas disponibles para aplicaciones de limpieza y bloqueo de carga. Sus bajos niveles de vibración y ruido lo hacen ideal para montarlo en una herramienta o dentro del piso reticular de una fábrica, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en el piso de la fábrica. Un modo ecológico permite reducir el uso de servicios públicos durante los períodos de inactividad, lo que reduce los costos de servicios públicos y ayuda a salvar el medio ambiente. El tiempo de bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT) Solo el consumo de energía de 0,55 kW ayuda a minimizar el costo de propiedad para el cliente El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad El suministro de agua a 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en la fábrica. Los cojinetes de precisión lubricados con aceite garantizan un funcionamiento suave y con baja vibración sin mantenimiento de rutina. La exclusiva disposición de entrada doble permite opciones eficientes de ubicación y enrutamiento de la línea delantera. La opción de purga cero de nitrógeno elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra instalación. y costos operativos Edwards iXL120 Características y beneficios: La opción de purga cero de nitrógeno elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra costos de instalación y operación. Los cojinetes de precisión lubricados con aceite garantizan un funcionamiento suave y con baja vibración sin mantenimiento de rutina. La exclusiva disposición de entrada dual permite un enrutamiento y ubicación eficientes en la línea delantera. Opciones El Modo Verde puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad. El tiempo de bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo promedio total del ciclo (TACT). El suministro de agua a hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones. Solo 0,55 kW1 de consumo de energía ayuda a minimizar el consumo de energía del cliente. costo de propiedad Una única variante cubre el rango de voltaje de suministro de 200-460 V, 50/60 Hz Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en la fábrica

Bomba de vacío seca Edwards iXL120 E 200-460VAC Conexión de agua seca de 1/4 QC. Compacto, pequeño y ligero. Número de pieza de Edwards A54113020. La XL120 es una bomba seca compacta y de bajo consumo de 110 m3h-1 para el manejo de obleas y otras aplicaciones de servicio limpio. Proporciona un vaciado rápido de las cámaras de bloqueo de carga con un consumo de energía extremadamente bajo. iXL120 es una de las bombas más pequeñas y livianas disponibles para aplicaciones de limpieza y bloqueo de carga. Su baja vibración y bajos niveles de ruido lo hacen ideal para montarse en la herramienta o dentro del piso waffle de una fábrica, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en el piso de la fábrica. Un modo ecológico permite reducir el uso de los servicios públicos durante los períodos de inactividad, lo que reduce los costos de los servicios públicos y ayuda a salvar el medio ambiente. El tiempo de inactividad de bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT) El consumo de energía de solo 0,55 kW ayuda a minimizar el costo de propiedad del cliente El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad El suministro de agua de hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en la fábrica. Los cojinetes de precisión lubricados con aceite garantizan un funcionamiento suave y de baja vibración sin mantenimiento de rutina. El exclusivo arreglo de entrada doble permite opciones eficientes de ubicación y enrutamiento delantero. La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra instalación. y costos operativos Edwards iXL120 Características y beneficios: La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra costos de instalación y operación. El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad. El tiempo de inactividad del bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT). El suministro de agua a hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones. costo de propiedad Una sola variante cubre el rango de voltaje de suministro de 200-460 V, 50/60 Hz Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio de fábrica

Bomba de vacío en seco Edwards iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC Accesorios de agua. Compacto, pequeño y ligero. Número de pieza de Edwards A54113610. La XL120 es una bomba seca compacta y de bajo consumo de 110 m3h-1 para el manejo de obleas y otras aplicaciones de servicio limpio. Proporciona un vaciado rápido de las cámaras de bloqueo de carga con un consumo de energía extremadamente bajo. iXL120 es una de las bombas más pequeñas y livianas disponibles para aplicaciones de limpieza y bloqueo de carga. Su baja vibración y bajos niveles de ruido lo hacen ideal para montarse en la herramienta o dentro del piso waffle de una fábrica, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en el piso de la fábrica. Un modo ecológico permite reducir el uso de los servicios públicos durante los períodos de inactividad, lo que reduce los costos de los servicios públicos y ayuda a salvar el medio ambiente. El tiempo de inactividad de bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT) El consumo de energía de solo 0,55 kW ayuda a minimizar el costo de propiedad del cliente El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad El suministro de agua de hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en la fábrica. Los cojinetes de precisión lubricados con aceite garantizan un funcionamiento suave y de baja vibración sin mantenimiento de rutina. El exclusivo arreglo de entrada doble permite enrutamiento delantero eficiente y opciones de ubicación. La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra instalación. y costos operativos Edwards iXL120 Características y beneficios: La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra costos de instalación y operación. El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad. El tiempo de inactividad del bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT). El suministro de agua a hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones. costo de propiedad Una única variante cubre el rango de voltaje de suministro de 200-460 V, 50/60 Hz Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio de fábrica

Bomba de vacío seca Edwards iXL120 E 200-460VAC MCM 3/8 QC Accesorios de agua. Compacto, pequeño y ligero. Número de pieza de Edwards A54113710. La XL120 es una bomba seca compacta y de bajo consumo de 110 m3h-1 para el manejo de obleas y otras aplicaciones de servicio limpio. Proporciona un vaciado rápido de las cámaras de bloqueo de carga con un consumo de energía extremadamente bajo. iXL120 es una de las bombas más pequeñas y livianas disponibles para aplicaciones de limpieza y bloqueo de carga. Su baja vibración y bajos niveles de ruido lo hacen ideal para montarse en la herramienta o dentro del piso waffle de una fábrica, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en el piso de la fábrica. Un modo ecológico permite reducir el uso de los servicios públicos durante los períodos de inactividad, lo que reduce los costos de los servicios públicos y ayuda a salvar el medio ambiente. El tiempo de inactividad de bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT) El consumo de energía de solo 0,55 kW ayuda a minimizar el costo de propiedad del cliente El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad El suministro de agua de hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en la fábrica. Los cojinetes de precisión lubricados con aceite garantizan un funcionamiento suave y de baja vibración sin mantenimiento de rutina. El exclusivo arreglo de entrada doble permite enrutamiento delantero eficiente y opciones de ubicación. La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra instalación. y costos operativos Edwards iXL120 Características y beneficios: La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra costos de instalación y operación. El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad. El tiempo de inactividad del bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT). El suministro de agua a hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones. costo de propiedad Una única variante cubre el rango de voltaje de suministro de 200-460 V, 50/60 Hz Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio de fábrica

Bomba de vacío seca Edwards iXL120 E 200-460VAC 3/8 QC Accesorios de agua con válvula de control de flujo. Número de pieza de Edwards A54113011. La XL120 es una bomba seca compacta y de bajo consumo de 110 m3h-1 para el manejo de obleas y otras aplicaciones de servicio limpio. Proporciona un vaciado rápido de las cámaras de bloqueo de carga con un consumo de energía extremadamente bajo. iXL120 es una de las bombas más pequeñas y livianas disponibles para aplicaciones de limpieza y bloqueo de carga. Su baja vibración y bajos niveles de ruido lo hacen ideal para montarse en la herramienta o dentro del piso waffle de una fábrica, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en el piso de la fábrica. Un modo ecológico permite reducir el uso de los servicios públicos durante los períodos de inactividad, lo que reduce los costos de los servicios públicos y ayuda a salvar el medio ambiente. El tiempo de inactividad de bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT) El consumo de energía de solo 0,55 kW ayuda a minimizar el costo de propiedad del cliente El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad El suministro de agua de hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en la fábrica. Los cojinetes de precisión lubricados con aceite garantizan un funcionamiento suave y de baja vibración sin mantenimiento de rutina. El exclusivo arreglo de entrada doble permite enrutamiento delantero eficiente y opciones de ubicación. La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra instalación. y costos operativos Edwards iXL120 Características y beneficios: La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra costos de instalación y operación. El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad. El tiempo de inactividad del bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT). El suministro de agua a hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones. costo de propiedad Una única variante cubre el rango de voltaje de suministro de 200-460 V, 50/60 Hz Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio de fábrica

Bomba de vacío seca Edwards iXL120 E 200-460VAC SPI 1/4 QC Accesorios de agua con válvula de control de flujo. Número de pieza de Edwards A54113221. La XL120 es una bomba seca compacta y de bajo consumo de 110 m3h-1 para el manejo de obleas y otras aplicaciones de servicio limpio. Proporciona un vaciado rápido de las cámaras de bloqueo de carga con un consumo de energía extremadamente bajo. iXL120 es una de las bombas más pequeñas y livianas disponibles para aplicaciones de limpieza y bloqueo de carga. Su baja vibración y bajos niveles de ruido lo hacen ideal para montarse en la herramienta o dentro del piso waffle de una fábrica, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en el piso de la fábrica. Un modo ecológico permite reducir el uso de los servicios públicos durante los períodos de inactividad, lo que reduce los costos de los servicios públicos y ayuda a salvar el medio ambiente. El tiempo de inactividad de bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT) El consumo de energía de solo 0,55 kW ayuda a minimizar el costo de propiedad del cliente El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad El suministro de agua de hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en la fábrica. Los cojinetes de precisión lubricados con aceite garantizan un funcionamiento suave y de baja vibración sin mantenimiento de rutina. El exclusivo arreglo de entrada doble permite opciones eficientes de ubicación y enrutamiento delantero. La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra instalación. y costos operativos Edwards iXL120 Características y beneficios: La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra costos de instalación y operación. El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad. El tiempo de inactividad del bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT). El suministro de agua a hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones. costo de propiedad Una sola variante cubre el rango de voltaje de suministro de 200-460 V, 50/60 Hz Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio de fábrica

Bomba de vacío seca Edwards iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC Accesorios de agua con válvula de control de flujo. Número de pieza de Edwards A54113611. La XL120 es una bomba seca compacta y de bajo consumo de 110 m3h-1 para el manejo de obleas y otras aplicaciones de servicio limpio. Proporciona un vaciado rápido de las cámaras de bloqueo de carga con un consumo de energía extremadamente bajo. iXL120 es una de las bombas más pequeñas y livianas disponibles para aplicaciones de limpieza y bloqueo de carga. Su baja vibración y bajos niveles de ruido lo hacen ideal para montarse en la herramienta o dentro del piso waffle de una fábrica, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en el piso de la fábrica. Un modo ecológico permite reducir el uso de los servicios públicos durante los períodos de inactividad, lo que reduce los costos de los servicios públicos y ayuda a salvar el medio ambiente. El tiempo de inactividad de bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT) El consumo de energía de solo 0,55 kW ayuda a minimizar el costo de propiedad del cliente El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad El suministro de agua de hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en la fábrica. Los cojinetes de precisión lubricados con aceite garantizan un funcionamiento suave y de baja vibración sin mantenimiento de rutina. El exclusivo arreglo de entrada doble permite enrutamiento delantero eficiente y opciones de ubicación. La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra instalación. y costos operativos Edwards iXL120 Características y beneficios: La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra costos de instalación y operación. El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad. El tiempo de inactividad del bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT). El suministro de agua a hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones. costo de propiedad Una única variante cubre el rango de voltaje de suministro de 200-460 V, 50/60 Hz Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio de fábrica

Bomba de vacío seca Edwards iXL120 E 200-460VAC MCM 3/8 QC Accesorios de agua con válvula de control de flujo. Número de pieza de Edwards A54113711. La XL120 es una bomba seca compacta y de bajo consumo de 110 m3h-1 para el manejo de obleas y otras aplicaciones de servicio limpio. Proporciona un vaciado rápido de las cámaras de bloqueo de carga con un consumo de energía extremadamente bajo. iXL120 es una de las bombas más pequeñas y livianas disponibles para aplicaciones de limpieza y bloqueo de carga. Su baja vibración y bajos niveles de ruido lo hacen ideal para montarse en la herramienta o dentro del piso waffle de una fábrica, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en el piso de la fábrica. Un modo ecológico permite reducir el uso de los servicios públicos durante los períodos de inactividad, lo que reduce los costos de los servicios públicos y ayuda a salvar el medio ambiente. El tiempo de inactividad de bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT) El consumo de energía de solo 0,55 kW ayuda a minimizar el costo de propiedad del cliente El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad El suministro de agua de hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio en la fábrica. Los cojinetes de precisión lubricados con aceite garantizan un funcionamiento suave y de baja vibración sin mantenimiento de rutina. El exclusivo arreglo de entrada doble permite opciones eficientes de ubicación y enrutamiento delantero. La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra instalación. y costos operativos Edwards iXL120 Características y beneficios: La opción de purga de nitrógeno cero elimina la necesidad de un suministro de nitrógeno, lo que ahorra costos de instalación y operación. El modo ecológico puede reducir el consumo de energía hasta en un 92 % durante los períodos de inactividad. El tiempo de inactividad del bombeo de la cámara líder en su clase reduce el tiempo de ciclo promedio total (TACT). El suministro de agua a hasta 35 °C ayuda a reducir los requisitos de agua de refrigeración de las instalaciones. costo de propiedad Una sola variante cubre el rango de voltaje de suministro de 200-460 V, 50/60 Hz Extremadamente pequeño y liviano, lo que ayuda a ahorrar un valioso espacio de fábrica

Bomba de vacío en seco Edwards iXL600N. Suministro trifásico de 200-460 V 50/60 Hz. 600 m3h-1 Velocidad máxima de bombeo. Incluye: accesorios de agua de conexión rápida de 3/8. Edwards PN: A54134010 El iXL600N es una combinación de bomba seca y sistema de refuerzo. Los sistemas son para uso en aplicaciones de servicio liviano y la variante N está equipada con un módulo de gas que suministra gas de purga de nitrógeno a las áreas del mecanismo de la bomba. El estator, el motor y los impulsores del inversor se enfrían con agua. Los sistemas de bombeo pueden ser controlados por el panel frontal, un accesorio PDT o por la herramienta a través de MicroTIM. Los sistemas de bomba seca están diseñados para usarse en aplicaciones de carga liviana y bloqueo de carga. Las aplicaciones comunes incluyen bloqueo de carga, transferencia, metrología, litografía, proceso de PVD y limpieza previa de PVD.

Terminal de pantalla de bomba Edwards GX, iGX, iXH, iXM e iXL, 5 vías, enchufe XLR, módulo de pantalla con teclado portátil. Número de pieza de Edwards: D37280700 Terminal de pantalla de bomba Edwards GX, iGX, iXH, IXM e iXL Enchufe XLR de 5 vías. Pantalla portátil para sistemas de bomba seca de las series GX, iGX e iXL120 de Edwards con conexión XLR de 5 vías. Número de pieza de aspiradora Edwards D37280700.

Módulo Edwards SPI Micro TIM D37360310 El módulo SPI Micro TIM proporciona una interfaz de herramientas Edwards SPI para bombas secas con una ranura Micro TIM. Se puede usar un módulo SPI Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards mediante su herramienta de proceso, usando la interfaz digital paralela. El SPI Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL También para uso en sistemas de bombas múltiples con un controlador del sistema. Cuando estos módulos ya existan, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control. Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.

Módulo Edwards MCM Micro TIM D37360320MCM El módulo MicroTIM proporciona una interfaz de herramientas Edwards MCM para bombas secas con una ranura MicroTIM. Se puede usar un módulo MCM Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards mediante su herramienta de proceso, usando una interfaz digital paralela. El MCM Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Serie GXS (solo versión MCM) Serie CXS (solo versión MCM) Cuando estos módulos ya existen, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control. Por ejemplo, una bomba puede actualizarse de un iH a un iHs sin cambiar el módulo de interfaz. El MCM Micro TIM tiene compatibilidad AUC con las bombas de las series GXS y CXS. Equivalente a iH iTIM D37422000 - MCM. Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.

Módulo Micro TIM Edwards TEL D37360330El módulo Micro TIM TEL proporciona una interfaz de herramienta Edwards TEL para bombas secas con una ranura Micro TIM. Se puede usar un módulo TEL Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards por su herramienta de proceso, usando la interfaz digital paralela. El TEL Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL También para uso en sistemas de bombas múltiples con un controlador del sistema. Cuando estos módulos ya existan, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control. Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.

Módulo Edwards Semi E73 Micro TIM D37360340 El módulo Semi E73 Micro TIM proporciona una interfaz de herramienta compatible con Semi E73 para bombas secas con una ranura MicroTIM. Se puede usar un módulo Semi E73 Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards por su herramienta de proceso, usando la interfaz digital paralela. El Semi E73 Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL También para uso en sistemas de bombas múltiples con un controlador del sistema. Cuando estos módulos ya existan, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control. Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.

Edwards LAM Alliance Micro TIM ModuleD37360350LAM Alliance MicroTIM proporciona una interfaz de herramientas para plataformas LAM Alliance para bombas secas con una ranura MicroTIM. Se puede usar un módulo LAM Alliance Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards por su herramienta de proceso, usando la interfaz digital paralela. El LAM Alliance Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL También para uso en sistemas de bombas múltiples con un controlador del sistema. Cuando estos módulos ya existan, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control. Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.

Módulo Edwards Novellus C3 Micro TIM D37360360 Novellus C3 Micro TIM proporciona una interfaz de herramientas para plataformas Novellus C3 para bombas secas con una ranura MicroTIM. Se puede usar un módulo Novellus C3 Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards por su herramienta de proceso, usando la interfaz digital paralela. Novellus C3 Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL También para uso en sistemas de bombas múltiples con un controlador del sistema. Cuando estos módulos ya existan, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control. Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.

Módulo Edwards Hitachi Micro TIM D37360370Hitachi MicroTIM proporciona una interfaz de herramienta Hitachi para bombas secas con una ranura MicroTIM. Se puede usar un módulo Hitachi Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards mediante su herramienta de proceso, usando la interfaz digital paralela. Hitachi Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL También para uso en sistemas de bombas múltiples con un controlador del sistema. Cuando estos módulos ya existan, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control. Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.

Enchufe de bomba semiconductora seca Edwards iXL utilizado para fabricar cables de alimentación para bombas de vacío de la serie iXL. Este es un kit de enchufe de bomba semiconductora seca Edwards iXL para hacer un cable de alimentación de entrada para bombas de vacío semiconductores de la serie Edwards iXL. Funciona con iXL120 y otros modelos.

Cable EMO de Edwards para instalar una bomba de semiconductores secos de la serie iXL o iXH de estilo nuevo en una herramienta con bombas de la serie iH de estilo antiguo existentes. Ideal Vacuum suministra nuestro propio cable de interfaz, que permite reemplazar una bomba de la serie iH de estilo antiguo con el estilo IXL120N, iXH100 o iXH610. Este cableado EMO es útil para aplicaciones en las que una herramienta de semiconductores tiene varias bombas iH de estilo antiguo conectadas en la subfabricación. Este cable del módulo de interfaz continúa el circuito EMO a través de las bombas iH de estilo antiguo restantes y a través de la bomba de reemplazo iXL120N de estilo nuevo. Las conexiones y los diferentes módulos de interfaz se describen en detalle a continuación. Este cable generalmente se conecta desde P2 (salida) de iTIM en el lado izquierdo de iH, al conector de parada de emergencia (EMS) en iXL120N, a J1 (entrada) de iTIM en el lado derecho de la bomba iH (consulte los detalles en nuestra Nota de aplicación en formato pdf) . El problema es que las bombas de la serie Edwards iH ahora están descontinuadas y ya no están disponibles. Ideal Vacuum almacena las bombas de repuesto, iXL120N para bloqueo de carga, iXH100 (reemplaza a iH80), iXH610 (reemplaza a iH600), etc. La nueva bomba iXL120N no tiene un botón EMO en la parte delantera como las bombas IH de estilo antiguo (consulte los detalles en nuestra Nota de aplicación). El iTIM de Edwards a menudo se configuraba con bombas de vacío de semiconductores secos de la serie iH de Edwards de estilo más antiguo, en las que se conectaban varias bombas a una sola herramienta de semiconductores en la subfabricación. El cableado EMO está configurado para apagar la herramienta si se presiona un EMO en cualquiera de las bombas de la serie iH; por lo general, están cableados en serie, en una configuración de cadena tipo margarita.