Bomba de vacío en seco Edwards iXM 200 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. Número de pieza de Edwards A56106958 Edwards iXM 200 es una nueva gama de bombas secas construidas para la fabricación ecológica. Utilizando muy poca energía, el mecanismo de raíces eficiente se ha desarrollado para reducir drásticamente la potencia de entrada a 1,3 kW, un 60 % menos que la generación anterior de bombas secas, lo que reduce el impacto ambiental y reduce el costo de propiedad. La tecnología de barrera de gas y las mejoras en el diseño térmico permiten una resistencia a la corrosión cuatro veces mayor que el producto de la serie iH. Las funciones avanzadas de manejo de polvo significan que iXM brindará la máxima confiabilidad y una mayor vida útil de la bomba para los procesos de grabado multicapa y un consumo de energía reducido para los procesos de CVD. Las bombas de la serie Edwards iXM 200 son compactas y de diseño liviano, combinado con un ruido y vibración excepcionalmente bajos, hacen de iXM la bomba seca más versátil de la gama Edwards. iXM transformará sus expectativas de la tecnología de bombas de vacío secas, brindará beneficios reales y mayor tiempo de actividad, con un impacto ambiental mínimo. Las bombas iXM están diseñadas para su uso en la mayoría de los procesos de semiconductores y ofrecen reducciones significativas en la potencia de entrada. Para ver el Manual de instrucciones completo, consulte Descargas al costado. CARACTERÍSTICAS y BENEFICIOS: Principalmente para aplicaciones de productos químicos limpios a ligeramente agresivos (consulte el espectro de aplicaciones a continuación) Velocidad máxima de bombeo 200 m3/h-1 (118 CFM) Presión máxima 1,5 X 10-2 Torr Contiene solo bomba primaria No requiere mantenimiento preventivo 3/8 pulgadas Rellenos de agua de conexión rápida Conexión de agua y alimentación Mitades de acoplamiento SS Sistema de refrigeración por agua Módulo de gas Varimode APLICACIONES: Transferencia de bloqueo de carga Meteorología Litografía Deposición física de vapor Proceso PVD Deposición física de vapor PVD Prelimpieza Recocido térmico rápido RTA Tira/grabado con ceniza Fuente de implante Alta densidad Deposición química de vapor de plasma HDP CVD Procesamiento térmico rápido RTP Deposición química de vapor subatmosférica SACVD Deposición química de vapor de tungsteno WCVD Deposición química de vapor modificada MCVD Deposición química de vapor mejorada con plasma PECVD Deposición química de vapor de baja presión LPCVD

Bomba de vacío en seco Edwards iXM 600 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. Número de pieza de Edwards A56126958 Edwards iXM 600 es una nueva gama de bombas secas diseñadas para la fabricación ecológica. Utilizando muy poca energía, el mecanismo de raíces eficiente se ha desarrollado para reducir drásticamente la potencia de entrada a 1,3 kW, un 60 % menos que la generación anterior de bombas secas, lo que reduce el impacto ambiental y reduce el costo de propiedad. La tecnología de barrera de gas y las mejoras en el diseño térmico permiten una resistencia a la corrosión cuatro veces mayor que el producto de la serie iH. Las funciones avanzadas de manejo de polvo significan que iXM brindará la máxima confiabilidad y una mayor vida útil de la bomba para los procesos de grabado multicapa y un consumo de energía reducido para los procesos de CVD. Las bombas de la serie Edwards iXM 600 son compactas y de diseño liviano, combinadas con un nivel excepcionalmente bajo de ruido y vibración, hacen de iXM la bomba seca más versátil de la gama Edwards. iXM transformará sus expectativas de la tecnología de bombas de vacío secas, brindará beneficios reales y mayor tiempo de actividad, con un impacto ambiental mínimo. Las bombas iXM están diseñadas para su uso en la mayoría de los procesos de semiconductores y ofrecen reducciones significativas en la potencia de entrada. Para ver el Manual de instrucciones completo, consulte Descargas al costado. CARACTERÍSTICAS y BENEFICIOS: Principalmente para aplicaciones de productos químicos limpios a ligeramente agresivos (consulte el espectro de aplicaciones a continuación) Velocidad máxima de bombeo 600 m3/h-1 (353 CFM) Presión máxima 3,75 X 10-3 Torr No requiere mantenimiento preventivo Agua de conexión rápida de 3/8 pulgadas Rellenos Conexión de agua y energía Mitades de acoplamiento SS Sistema de enfriamiento de agua Módulo de gas Varimode APLICACIONES: Transferencia de bloqueo de carga Meteorología Litografía Deposición física de vapor Proceso PVD Deposición física de vapor PVD Pre-limpieza Recocido térmico rápido RTA Tira/Grabado con ceniza Fuente de implante Plasma de alta densidad Deposición química de vapor HDP CVD Procesamiento térmico rápido RTP Deposición de vapor químico subatmosférico SACVD Deposición de vapor químico de tungsteno WCVD Deposición de vapor químico modificada MCVD Deposición de vapor químico mejorada con plasma PECVD Deposición de vapor químico a baja presión LPCVD

Bomba de vacío en seco Edwards iXM 1200 200-230 VAC 50/60 hz 3 ph. Número de pieza de Edwards A56146958 Edwards iXM 1200 es una nueva gama de bombas secas diseñadas para la fabricación ecológica. Utilizando muy poca energía, el mecanismo de raíces eficiente se ha desarrollado para reducir drásticamente la potencia de entrada a 1,3 kW, un 60 % menos que la generación anterior de bombas secas, lo que reduce el impacto ambiental y reduce el costo de propiedad. La tecnología de barrera de gas y las mejoras en el diseño térmico permiten una resistencia a la corrosión cuatro veces mayor que el producto de la serie iH. Las funciones avanzadas de manejo de polvo significan que iXM brindará la máxima confiabilidad y una mayor vida útil de la bomba para los procesos de grabado multicapa y un consumo de energía reducido para los procesos de CVD. Las bombas de la serie iXM 1200 de Edwards son compactas y de diseño liviano, combinado con un ruido y una vibración excepcionalmente bajos, hacen de iXM la bomba seca más versátil de la gama Edwards. iXM transformará sus expectativas de la tecnología de bombas de vacío secas, brindará beneficios reales y mayor tiempo de actividad, con un impacto ambiental mínimo. Las bombas iXM están diseñadas para su uso en la mayoría de los procesos de semiconductores y ofrecen reducciones significativas en la potencia de entrada. Para ver el Manual de instrucciones completo, consulte Descargas al costado. CARACTERÍSTICAS y BENEFICIOS: Principalmente para aplicaciones químicas desde limpias hasta duras ligeras (vea el espectro de aplicaciones a continuación) Velocidad máxima de bombeo 1030 m3/h-1 (606 CFM) Presión máxima 5.0 X 10-3 Torr No requiere mantenimiento preventivo Agua de conexión rápida de 3/8 de pulgada Rellenos Conexión de agua y energía Mitades de acoplamiento SS Sistema de enfriamiento de agua Módulo de gas Varimode APLICACIONES: Transferencia de bloqueo de carga Meteorología Litografía Deposición física de vapor Proceso PVD Deposición física de vapor PVD Pre-limpieza Recocido térmico rápido RTA Tira/Grabado con ceniza Fuente de implante Plasma de alta densidad Deposición química de vapor HDP CVD Procesamiento térmico rápido RTP Deposición de vapor químico subatmosférico SACVD Deposición de vapor químico de tungsteno WCVD Deposición de vapor químico modificada MCVD Deposición de vapor químico mejorada con plasma PECVD Deposición de vapor químico a baja presión LPCVD

Terminal de pantalla de bomba Edwards GX, iGX, iXH, iXM e iXL, 5 vías, enchufe XLR, módulo de pantalla con teclado portátil. Número de pieza de Edwards: D37280700 Terminal de pantalla de bomba Edwards GX, iGX, iXH, IXM e iXL Enchufe XLR de 5 vías. Pantalla portátil para sistemas de bomba seca de las series GX, iGX e iXL120 de Edwards con conexión XLR de 5 vías. Número de pieza de aspiradora Edwards D37280700.

Módulo Edwards SPI Micro TIM D37360310 El módulo SPI Micro TIM proporciona una interfaz de herramientas Edwards SPI para bombas secas con una ranura Micro TIM. Se puede usar un módulo SPI Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards mediante su herramienta de proceso, usando la interfaz digital paralela. El SPI Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL También para uso en sistemas de bombas múltiples con un controlador del sistema. Cuando estos módulos ya existan, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control. Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.

Módulo Edwards MCM Micro TIM D37360320MCM El módulo MicroTIM proporciona una interfaz de herramientas Edwards MCM para bombas secas con una ranura MicroTIM. Se puede usar un módulo MCM Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards mediante su herramienta de proceso, usando una interfaz digital paralela. El MCM Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Serie GXS (solo versión MCM) Serie CXS (solo versión MCM) Cuando estos módulos ya existen, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control. Por ejemplo, una bomba puede actualizarse de un iH a un iHs sin cambiar el módulo de interfaz. El MCM Micro TIM tiene compatibilidad AUC con las bombas de las series GXS y CXS. Equivalente a iH iTIM D37422000 - MCM. Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.

Módulo Micro TIM Edwards TEL D37360330El módulo Micro TIM TEL proporciona una interfaz de herramienta Edwards TEL para bombas secas con una ranura Micro TIM. Se puede usar un módulo TEL Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards por su herramienta de proceso, usando la interfaz digital paralela. El TEL Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL También para uso en sistemas de bombas múltiples con un controlador del sistema. Cuando estos módulos ya existan, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control. Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.

Módulo Edwards Semi E73 Micro TIM D37360340 El módulo Semi E73 Micro TIM proporciona una interfaz de herramienta compatible con Semi E73 para bombas secas con una ranura MicroTIM. Se puede usar un módulo Semi E73 Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards por su herramienta de proceso, usando la interfaz digital paralela. El Semi E73 Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL También para uso en sistemas de bombas múltiples con un controlador del sistema. Cuando estos módulos ya existan, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control. Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.

Edwards LAM Alliance Micro TIM ModuleD37360350LAM Alliance MicroTIM proporciona una interfaz de herramientas para plataformas LAM Alliance para bombas secas con una ranura MicroTIM. Se puede usar un módulo LAM Alliance Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards por su herramienta de proceso, usando la interfaz digital paralela. El LAM Alliance Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL También para uso en sistemas de bombas múltiples con un controlador del sistema. Cuando estos módulos ya existan, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control. Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.

Módulo Edwards Novellus C3 Micro TIM D37360360 Novellus C3 Micro TIM proporciona una interfaz de herramientas para plataformas Novellus C3 para bombas secas con una ranura MicroTIM. Se puede usar un módulo Novellus C3 Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards por su herramienta de proceso, usando la interfaz digital paralela. Novellus C3 Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL También para uso en sistemas de bombas múltiples con un controlador del sistema. Cuando estos módulos ya existan, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control. Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.

Módulo Edwards Hitachi Micro TIM D37360370Hitachi MicroTIM proporciona una interfaz de herramienta Hitachi para bombas secas con una ranura MicroTIM. Se puede usar un módulo Hitachi Micro TIM para proporcionar control y monitoreo de una variedad de bombas Edwards mediante su herramienta de proceso, usando la interfaz digital paralela. Hitachi Micro TIM es compatible con las siguientes bombas Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL También para uso en sistemas de bombas múltiples con un controlador del sistema. Cuando estos módulos ya existan, se pueden utilizar para proporcionar control y monitoreo de la bomba mediante su herramienta de proceso u otro equipo de control. Consulte los manuales Micro TIM o iTIM.pdf en nuestra sección de descargas a la izquierda para obtener información sobre compatibilidad y entrada de conexión paralela.

Cable EMO de Edwards para instalar una bomba de semiconductores secos de la serie iXL o iXH de estilo nuevo en una herramienta con bombas de la serie iH de estilo antiguo existentes. Ideal Vacuum suministra nuestro propio cable de interfaz, que permite reemplazar una bomba de la serie iH de estilo antiguo con el estilo IXL120N, iXH100 o iXH610. Este cableado EMO es útil para aplicaciones en las que una herramienta de semiconductores tiene varias bombas iH de estilo antiguo conectadas en la subfabricación. Este cable del módulo de interfaz continúa el circuito EMO a través de las bombas iH de estilo antiguo restantes y a través de la bomba de reemplazo iXL120N de estilo nuevo. Las conexiones y los diferentes módulos de interfaz se describen en detalle a continuación. Este cable generalmente se conecta desde P2 (salida) de iTIM en el lado izquierdo de iH, al conector de parada de emergencia (EMS) en iXL120N, a J1 (entrada) de iTIM en el lado derecho de la bomba iH (consulte los detalles en nuestra Nota de aplicación en formato pdf) . El problema es que las bombas de la serie Edwards iH ahora están descontinuadas y ya no están disponibles. Ideal Vacuum almacena las bombas de repuesto, iXL120N para bloqueo de carga, iXH100 (reemplaza a iH80), iXH610 (reemplaza a iH600), etc. La nueva bomba iXL120N no tiene un botón EMO en la parte delantera como las bombas IH de estilo antiguo (consulte los detalles en nuestra Nota de aplicación). El iTIM de Edwards a menudo se configuraba con bombas de vacío de semiconductores secos de la serie iH de Edwards de estilo más antiguo, en las que se conectaban varias bombas a una sola herramienta de semiconductores en la subfabricación. El cableado EMO está configurado para apagar la herramienta si se presiona un EMO en cualquiera de las bombas de la serie iH; por lo general, están cableados en serie, en una configuración de cadena tipo margarita.