Pompa per vuoto a secco Edwards GX100L, 62 CFM 200-230 V 50/60 Hz, 3,75 mtorr. Ultimate Pressure Numero parte Edwards A54710958 La serie di pompe per vuoto a secco Edwards GX stabilisce nuovi standard per l'assenza di manutenzione tra le revisioni principali. Una maggiore efficienza riduce il costo di proprietà e fornisce un servizio di pompaggio continuo in tutto il campo di pressione. Le pompe a secco GX includono la connettività Ethernet che consente di visualizzare i dati chiave tramite pagine Web, oltre a un set completo di opzioni di rete per garantire la disponibilità continua della pompa. Le pompe GX sono disponibili in un'ampia gamma di velocità di picco e varianti per affrontare applicazioni da processi puliti a processi medi. Un design modulare consente agli utenti di configurare le pompe a secco GX per soddisfare i requisiti individuali della fabbrica. Un ingombro ultracompatto consente opzioni di installazione tra cui sullo strumento, nelle immediate vicinanze o in remoto. Per ulteriori specifiche e opzioni scorri verso il basso fino a DOWNLOAD DISPONIBILI e scarica datasheet.pdf. Queste pompe per vuoto a semiconduttore a secco Edwards GX100L sono nuove e hanno il numero di parte Edwards A547-10-958 (A54710958).

Pompa per vuoto a secco Edwards iGX100L, 62 CFM 200-230 V 50/60 Hz, 3,75 mtorr. Ultimate Pressure Numero parte Edwards A54610958 La serie di pompe per vuoto a secco Edwards iGX stabilisce nuovi standard per l'assenza di manutenzione tra le revisioni principali. Una maggiore efficienza riduce il costo di proprietà e fornisce un servizio di pompaggio continuo in tutto il campo di pressione. Le pompe a secco iGX includono la connettività Ethernet che consente di visualizzare i dati chiave tramite pagine Web, oltre a un set completo di opzioni di rete per garantire la disponibilità continua della pompa. Le pompe iGX sono disponibili in un'ampia gamma di velocità di picco e varianti per affrontare applicazioni da processi puliti a processi medi. Un design modulare consente agli utenti di configurare le pompe a secco iGX per soddisfare i requisiti individuali della fabbrica. Un ingombro ultracompatto consente opzioni di installazione tra cui sullo strumento, nelle immediate vicinanze o in remoto. Per ulteriori specifiche e opzioni scorri verso il basso fino a DOWNLOAD DISPONIBILI e scarica datasheet.pdf. Queste pompe per vuoto a semiconduttore a secco Edwards iGX100L sono nuove e hanno il numero di parte Edwards A546-10-958 (A54610958).

Pompa per vuoto a secco Edwards iGX100M, 62 CFM 200-230 V 50/60 Hz, 3,75 mtorr. Ultimate Pressure Numero parte Edwards A54612958 La serie di pompe per vuoto a secco Edwards iGX stabilisce nuovi standard per l'assenza di manutenzione tra le revisioni principali. Una maggiore efficienza riduce il costo di proprietà e fornisce un servizio di pompaggio continuo in tutto il campo di pressione. Le pompe a secco iGX includono la connettività Ethernet che consente di visualizzare i dati chiave tramite pagine Web, oltre a un set completo di opzioni di rete per garantire la disponibilità continua della pompa. Le pompe iGX sono disponibili in un'ampia gamma di velocità di picco e varianti per affrontare applicazioni da processi puliti a processi medi. Un design modulare consente agli utenti di configurare le pompe a secco iGX per soddisfare i requisiti individuali della fabbrica. Un ingombro ultracompatto consente opzioni di installazione tra cui sullo strumento, nelle immediate vicinanze o in remoto. Per ulteriori specifiche e opzioni scorri verso il basso fino a DOWNLOAD DISPONIBILI e scarica datasheet.pdf. Queste pompe per vuoto a semiconduttore a secco Edwards iGX100M sono nuove e hanno il numero di parte Edwards A546-12-958 (A54612958).

NUOVA pompa per vuoto a secco Edwards iGX100M, 62 CFM 380-460 V 50/60 Hz, 3,75 mtorr. Ultimate Pressure Numero parte Edwards A54612959 La serie di pompe per vuoto a secco Edwards iGX stabilisce nuovi standard per l'assenza di manutenzione tra le revisioni principali. Una maggiore efficienza riduce il costo di proprietà e fornisce un servizio di pompaggio continuo in tutto il campo di pressione. Le pompe a secco iGX includono la connettività Ethernet che consente di visualizzare i dati chiave tramite pagine Web, oltre a un set completo di opzioni di rete per garantire la disponibilità continua della pompa. Le pompe iGX sono disponibili in un'ampia gamma di velocità di picco e varianti per affrontare applicazioni da processi puliti a processi medi. Un design modulare consente agli utenti di configurare le pompe a secco iGX per soddisfare i requisiti individuali della fabbrica. Un ingombro ultracompatto consente opzioni di installazione tra cui sullo strumento, nelle immediate vicinanze o in remoto. Per ulteriori specifiche e opzioni scorri verso il basso fino a DOWNLOAD DISPONIBILI e scarica datasheet.pdf. Queste pompe per vuoto a semiconduttore a secco Edwards iGX100M sono nuove e hanno il numero di parte Edwards A54612959 (A546-12-959).

Terminale display pompa Edwards GX, iGX, iXH, iXM e iXL, 5 vie, connettore XLR, modulo display con tastierino portatile. Numero parte Edwards: D37280700 Terminale display pompa Edwards GX, iGX, iXH, IXM e iXL Spina XLR a 5 vie. Display portatile per sistemi con pompa a secco serie Edwards GX, iGX e iXL120 con connessione XLR a 5 vie. Numero di parte del vuoto Edwards D37280700.

Kit di montaggio posteriore-orizzontale del silenziatore per processo a umido Edwards GXS Questo kit non include il gruppo silenziatore M58808162, solo il kit di montaggio. Si tratta di un kit di montaggio posteriore-orizzontale del silenziatore GXS Edwards. Viene fornito con tutto il necessario per montare un silenziatore Edwards GXS Wet Process, orizzontalmente, sul retro delle pompe modello GXS. Adatto solo al modello di silenziatore Edwards numero M58808162.

Edwards GX e iGX Kit di connessione alimentazione elettrica con presa elettrica della pompa, alimentazione trifase, D37370833 Questo è il kit di connessione elettrica con presa elettrica della pompa Edwards GX e iGX, alimentazione trifase, numero di parte per vuoto Edwards D37370833.

Nuovo sistema di pompaggio a secco Edwards iGX Valvola di ritegno del kit dell'involucro di scarico per il processo (N e M) Edwards PN A507-44-000, A50744000 Si tratta di un kit di valvole di ritegno per l'uscita dello scarico che impedisce il risucchio dei vapori di scarico dopo il Il sistema di pompaggio a secco Edwards iGX è spento. La valvola di ritegno fornisce inoltre un'attenuazione aggiuntiva degli impulsi nella pressione di scarico, per i processi N e M. Include valvola di ritegno di scarico, gomito, O-ring intrappolati, morsetti e rivestimenti isolanti, per pompe a secco Edwards iGX modelli N e M,

Silenziatore di scarico per processo a umido della pompa GXS Edwards Esistono due tipi di silenziatore utilizzati per ridurre il rumore proveniente dai sistemi di pompaggio GXS: silenziatore di scarico per processo a umido e silenziatore di scarico per processo a secco. Si tratta di un silenziatore di scarico per processo a umido realizzato in acciaio al carbonio verniciato e progettato per trattenere liquidi o particelle che possono essere prodotti durante la lavorazione della pompa. Il silenziatore per processo a umido deve essere montato orizzontalmente mentre i silenziatori per processo a secco devono essere montati verticalmente. Il silenziatore può essere svuotato senza smontaggio e deve essere pulito se si verifica un deprezzamento delle prestazioni della pompa. Può essere montato in posizione laterale o posteriore. Collegamento al kit di installazione per il silenziatore: P108231

Modulo Edwards SPI Micro TIMD37360310Il modulo SPI Micro TIM fornisce l'interfaccia dello strumento Edwards SPI per le pompe a secco con uno slot Micro TIM. È possibile utilizzare un modulo SPI Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. SPI Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Micro TIM MCM EdwardsD37360320Il modulo MicroTIM MCM fornisce l'interfaccia dello strumento MCM Edwards per le pompe a secco con uno slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo MCM Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando un'interfaccia digitale parallela. MCM Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Serie GXS (solo versione MCM) Serie CXS (solo versione MCM) Se questi moduli sono già presenti, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Ad esempio, una pompa può essere aggiornata da iH a iHs senza cambiare il modulo di interfaccia. MCM Micro TIM ha compatibilità AUC con le pompe della serie GXS e CXS. Equivalente a iH iTIM D37422000 - MCM. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Edwards TEL Micro TIMD37360330Il modulo TEL Micro TIM fornisce l'interfaccia dello strumento Edwards TEL per le pompe a secco con uno slot Micro TIM. È possibile utilizzare un modulo TEL Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. TEL Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Micro TIM Edwards Semi E73D37360340Il modulo Micro TIM Semi E73 fornisce un'interfaccia strumento conforme a Semi E73 per pompe a secco con slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo Micro TIM Semi E73 per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. Il Semi E73 Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi a più pompe con un controller di sistema. Se questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Edwards LAM Alliance Micro TIMD37360350LAM Alliance MicroTIM fornisce un'interfaccia strumento alle piattaforme LAM Alliance per pompe a secco con uno slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo LAM Alliance Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. LAM Alliance Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Edwards Novellus C3 Micro TIMD37360360Novellus C3 Micro TIM fornisce un'interfaccia strumento alle piattaforme Novellus C3 per pompe a secco con uno slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo Novellus C3 Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. Novellus C3 Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Edwards Hitachi Micro TIMD37360370Hitachi MicroTIM fornisce l'interfaccia strumento Hitachi per pompe a secco con uno slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo Hitachi Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. Hitachi Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Cavo Edwards EMO per l'installazione di una pompa a semiconduttore a secco serie iXL o iXH di nuovo tipo su un attrezzo con pompe serie iH vecchio stile esistenti. Ideal Vacuum fornisce il nostro cavo di interfaccia, che consente la sostituzione di una pompa della serie iH di vecchio stile con lo stile IXL120N, iXH100 o iXH610. Questo cablaggio EMO è utile per le applicazioni in cui uno strumento per semiconduttori ha più pompe iH vecchio stile collegate nel sottofab. Questo cavo del modulo di interfaccia continua il circuito EMO attraverso le rimanenti pompe iH vecchio stile e attraverso la nuova pompa sostitutiva iXL120N. Le connessioni ei diversi moduli di interfaccia sono descritti in dettaglio di seguito. Questo cavo è generalmente collegato da P2 (uscita) di iTIM sul lato sinistro iH, al connettore di arresto di emergenza (EMS) su iXL120N, a J1 (ingresso) di iTIM sulla pompa iH lato destro (vedere i dettagli nella nostra nota applicativa in formato pdf) . Il problema è che le pompe della serie Edwards iH sono ora fuori produzione e non sono più disponibili. Ideal Vacuum dispone delle pompe sostitutive, iXL120N per blocco del carico, iXH100 (sostituisce iH80), iXH610 (sostituisce iH600) e così via. La nuova pompa iXL120N non ha un pulsante EMO sulla parte anteriore come le vecchie pompe IH (vedere i dettagli nella nostra nota applicativa). L'iTIM di Edwards è stato spesso configurato con pompe per vuoto a semiconduttore a secco della serie Edwards iH di vecchio stile, in cui più pompe sono collegate a un singolo utensile a semiconduttore nel sub-fab. Il cablaggio EMO è impostato per arrestare lo strumento se viene premuto un EMO su una qualsiasi delle pompe della serie iH, in genere sono cablati in serie, in una configurazione a margherita.