Pompa per vuoto a secco Edwards iXL120N, 200-460 V CA, connessione per spurgo azoto, personalizzata, aggiunto raccordo acqua a disconnessione rapida 3/8 QC. Codice articolo Edwards: A54114010. La XL120 è una pompa a secco compatta, a basso consumo energetico, da 110 m3h-1 per la movimentazione di wafer e altre applicazioni pulite. Fornisce un rapido svuotamento delle camere di blocco del carico con un consumo energetico estremamente basso. iXL120 è una delle pompe più piccole e leggere disponibili per applicazioni di blocco del carico e pulizia. Le sue basse vibrazioni e i bassi livelli di rumore lo rendono ideale per il montaggio sull'utensile o all'interno del pavimento waffle di una fabbrica, contribuendo a risparmiare spazio prezioso sul pavimento della fabbrica. Una modalità ecologica consente un utilizzo ridotto delle utenze durante i periodi di inattività, abbassando i costi delle utenze e contribuendo a salvare l'ambiente!. Il tempo di inattività della pompa della camera, leader della categoria, riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) Il consumo energetico di soli 0,55 kW aiuta a ridurre al minimo i costi di proprietà per il cliente La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nella fabbrica I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare, con vibrazioni ridotte senza manutenzione di routine L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente opzioni di percorso e posizione efficienti della linea principale L'opzione di spurgo zero di azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando installazione e costi operativi Edwards iXL120N Caratteristiche e vantaggi: I cuscinetti di precisione lubrificati a olio garantiscono un funzionamento regolare, con vibrazioni ridotte senza manutenzione ordinaria L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente opzioni di percorso e posizionamento efficienti della linea principale La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività Leader della categoria il tempo di inattività della pompa della camera riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Il consumo energetico di soli 0,55 kW1 aiuta a ridurre al minimo i costi di proprietà del cliente Una singola variante copre l'intervallo di tensione di alimentazione 200-460 V, 50 /60 Hz Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso

Pompa per vuoto a secco Edwards iXL120 E 200-460 V CA, raccordo acqua 3/8 QC. Compatto, piccolo e leggero. Codice articolo Edwards A54113010. La XL120 è una pompa a secco compatta, a basso consumo energetico, da 110 m3h-1 per la movimentazione di wafer e altre applicazioni pulite. Fornisce un rapido svuotamento delle camere di blocco del carico con un consumo energetico estremamente basso. iXL120 è una delle pompe più piccole e leggere disponibili per applicazioni di blocco del carico e pulizia. Le sue basse vibrazioni e i bassi livelli di rumore lo rendono ideale per il montaggio sull'utensile o all'interno del pavimento waffle di una fabbrica, contribuendo a risparmiare spazio prezioso sul pavimento della fabbrica. Una modalità ecologica consente un utilizzo ridotto delle utenze durante i periodi di inattività, abbassando i costi delle utenze e contribuendo a salvare l'ambiente. Il tempo di inattività della pompa della camera, leader della categoria, riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) Il consumo energetico di soli 0,55 kW aiuta a ridurre al minimo i costi di proprietà per il cliente La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nella fabbrica I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare, con vibrazioni ridotte senza manutenzione di routine L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente opzioni di percorso e posizione efficienti della linea principale L'opzione di spurgo zero di azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando installazione e costi operativi Edwards iXL120 Caratteristiche e vantaggi: L'opzione di spurgo senza azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando costi di installazione e operativi I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare e con vibrazioni ridotte senza manutenzione ordinaria L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente un percorso e una posizione efficienti della linea principale opzioni La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività Il tempo di inattività della pompa della camera leader della categoria riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Il consumo energetico di soli 0,55 kW1 aiuta a ridurre al minimo il consumo energetico costo di proprietà Un'unica variante copre l'intervallo di tensione di alimentazione 200-460 V, 50/60 Hz Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nello stabilimento

Pompa per vuoto a secco Edwards iXL120 E 200-460VAC Raccordo acqua a secco 1/4 QC. Compatto, piccolo e leggero. Codice articolo Edwards A54113020. La XL120 è una pompa a secco compatta, a basso consumo energetico, da 110 m3h-1 per la movimentazione di wafer e altre applicazioni pulite. Fornisce un rapido svuotamento delle camere di blocco del carico con un consumo energetico estremamente basso. iXL120 è una delle pompe più piccole e leggere disponibili per applicazioni di blocco del carico e pulizia. Le sue basse vibrazioni e i bassi livelli di rumore lo rendono ideale per il montaggio sull'utensile o all'interno del pavimento waffle di una fabbrica, contribuendo a risparmiare spazio prezioso sul pavimento della fabbrica. Una modalità ecologica consente un utilizzo ridotto delle utenze durante i periodi di inattività, abbassando i costi delle utenze e contribuendo a salvare l'ambiente. Il tempo di inattività della pompa della camera, leader della categoria, riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) Il consumo energetico di soli 0,55 kW aiuta a ridurre al minimo i costi di proprietà per il cliente La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nella fabbrica I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare, con vibrazioni ridotte senza manutenzione di routine L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente opzioni di percorso e posizione efficienti della linea principale L'opzione di spurgo zero di azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando installazione e costi operativi Edwards iXL120 Caratteristiche e vantaggi: L'opzione di spurgo senza azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando costi di installazione e operativi I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare e con vibrazioni ridotte senza manutenzione ordinaria L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente un percorso e una posizione efficienti della linea principale opzioni La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività Il tempo di inattività della pompa della camera leader della categoria riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Il consumo energetico di soli 0,55 kW1 aiuta a ridurre al minimo il consumo energetico costo di proprietà Un'unica variante copre l'intervallo di tensione di alimentazione 200-460 V, 50/60 Hz Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nello stabilimento

Pompa per vuoto a secco Edwards iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 Raccordi acqua QC. Compatto, piccolo e leggero. Codice articolo Edwards A54113610. La XL120 è una pompa a secco compatta, a basso consumo energetico, da 110 m3h-1 per la movimentazione di wafer e altre applicazioni pulite. Fornisce un rapido svuotamento delle camere di blocco del carico con un consumo energetico estremamente basso. iXL120 è una delle pompe più piccole e leggere disponibili per applicazioni di blocco del carico e pulizia. Le sue basse vibrazioni e i bassi livelli di rumore lo rendono ideale per il montaggio sull'utensile o all'interno del pavimento waffle di una fabbrica, contribuendo a risparmiare spazio prezioso sul pavimento della fabbrica. Una modalità ecologica consente un utilizzo ridotto delle utenze durante i periodi di inattività, abbassando i costi delle utenze e contribuendo a salvare l'ambiente. Il tempo di inattività della pompa della camera, leader della categoria, riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) Il consumo energetico di soli 0,55 kW aiuta a ridurre al minimo i costi di proprietà per il cliente La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nella fabbrica I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare, con vibrazioni ridotte senza manutenzione di routine L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente opzioni di percorso e posizione efficienti della linea principale L'opzione di spurgo zero di azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando installazione e costi operativi Edwards iXL120 Caratteristiche e vantaggi: L'opzione di spurgo senza azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando costi di installazione e operativi I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare e con vibrazioni ridotte senza manutenzione ordinaria L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente un percorso e una posizione efficienti della linea principale opzioni La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività Il tempo di inattività della pompa della camera leader della categoria riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Il consumo energetico di soli 0,55 kW1 aiuta a ridurre al minimo il consumo energetico costo di proprietà Un'unica variante copre l'intervallo di tensione di alimentazione 200-460 V, 50/60 Hz Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nello stabilimento

Pompa per vuoto a secco Edwards iXL120 E 200-460 V CA MCM 3/8 QC Raccordi acqua. Compatto, piccolo e leggero. Codice articolo Edwards A54113710. La XL120 è una pompa a secco compatta, a basso consumo energetico, da 110 m3h-1 per la movimentazione di wafer e altre applicazioni pulite. Fornisce un rapido svuotamento delle camere di blocco del carico con un consumo energetico estremamente basso. iXL120 è una delle pompe più piccole e leggere disponibili per applicazioni di blocco del carico e pulizia. Le sue basse vibrazioni e i bassi livelli di rumore lo rendono ideale per il montaggio sull'utensile o all'interno del pavimento waffle di una fabbrica, contribuendo a risparmiare spazio prezioso sul pavimento della fabbrica. Una modalità ecologica consente un utilizzo ridotto delle utenze durante i periodi di inattività, abbassando i costi delle utenze e contribuendo a salvare l'ambiente. Il tempo di inattività della pompa della camera, leader della categoria, riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) Il consumo energetico di soli 0,55 kW aiuta a ridurre al minimo i costi di proprietà per il cliente La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nella fabbrica I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare, con vibrazioni ridotte senza manutenzione di routine L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente opzioni di percorso e posizione efficienti della linea principale L'opzione di spurgo zero di azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando installazione e costi operativi Edwards iXL120 Caratteristiche e vantaggi: L'opzione di spurgo senza azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando costi di installazione e operativi I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare e con vibrazioni ridotte senza manutenzione ordinaria L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente un percorso e una posizione efficienti della linea principale opzioni La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività Il tempo di inattività della pompa della camera leader della categoria riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Il consumo energetico di soli 0,55 kW1 aiuta a ridurre al minimo il consumo energetico costo di proprietà Un'unica variante copre l'intervallo di tensione di alimentazione 200-460 V, 50/60 Hz Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nello stabilimento

Pompa per vuoto a secco Edwards iXL120 E 200-460VAC 3/8 QC raccordi acqua con valvola di controllo del flusso. Codice articolo Edwards A54113011. La XL120 è una pompa a secco compatta, a basso consumo energetico, da 110 m3h-1 per la movimentazione di wafer e altre applicazioni pulite. Fornisce un rapido svuotamento delle camere di blocco del carico con un consumo energetico estremamente basso. iXL120 è una delle pompe più piccole e leggere disponibili per applicazioni di blocco del carico e pulizia. Le sue basse vibrazioni e i bassi livelli di rumore lo rendono ideale per il montaggio sull'utensile o all'interno del pavimento waffle di una fabbrica, contribuendo a risparmiare spazio prezioso sul pavimento della fabbrica. Una modalità ecologica consente un utilizzo ridotto delle utenze durante i periodi di inattività, abbassando i costi delle utenze e contribuendo a salvare l'ambiente. Il tempo di inattività della pompa della camera, leader della categoria, riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) Il consumo energetico di soli 0,55 kW aiuta a ridurre al minimo i costi di proprietà per il cliente La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nella fabbrica I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare, con vibrazioni ridotte senza manutenzione di routine L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente opzioni di percorso e posizione efficienti della linea principale L'opzione di spurgo zero di azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando installazione e costi operativi Edwards iXL120 Caratteristiche e vantaggi: L'opzione di spurgo senza azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando costi di installazione e operativi I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare e con vibrazioni ridotte senza manutenzione ordinaria L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente un percorso e una posizione efficienti della linea principale opzioni La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività Il tempo di inattività della pompa della camera leader della categoria riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Il consumo energetico di soli 0,55 kW1 aiuta a ridurre al minimo il consumo energetico costo di proprietà Un'unica variante copre l'intervallo di tensione di alimentazione 200-460 V, 50/60 Hz Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nello stabilimento

Pompa per vuoto a secco Edwards iXL120 E 200-460VAC SPI 1/4 QC raccordi acqua con valvola di controllo del flusso. Codice articolo Edwards A54113221. La XL120 è una pompa a secco compatta, a basso consumo energetico, da 110 m3h-1 per la movimentazione di wafer e altre applicazioni pulite. Fornisce un rapido svuotamento delle camere di blocco del carico con un consumo energetico estremamente basso. iXL120 è una delle pompe più piccole e leggere disponibili per applicazioni di blocco del carico e pulizia. Le sue basse vibrazioni e i bassi livelli di rumore lo rendono ideale per il montaggio sull'utensile o all'interno del pavimento waffle di una fabbrica, contribuendo a risparmiare spazio prezioso sul pavimento della fabbrica. Una modalità ecologica consente un utilizzo ridotto delle utenze durante i periodi di inattività, abbassando i costi delle utenze e contribuendo a salvare l'ambiente. Il tempo di inattività della pompa della camera, leader della categoria, riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) Il consumo energetico di soli 0,55 kW aiuta a ridurre al minimo i costi di proprietà del cliente La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nella fabbrica I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare, con vibrazioni ridotte senza manutenzione di routine L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente opzioni di percorso e posizione efficienti della linea principale L'opzione di spurgo zero di azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando installazione e costi operativi Edwards iXL120 Caratteristiche e vantaggi: L'opzione di spurgo senza azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando costi di installazione e operativi I cuscinetti di precisione lubrificati a olio garantiscono un funzionamento regolare e con vibrazioni ridotte senza manutenzione ordinaria L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente un percorso e una posizione efficienti della linea principale opzioni La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività Il tempo di inattività della pompa della camera, leader della categoria, riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Il consumo energetico di soli 0,55 kW1 aiuta a ridurre al minimo il consumo energetico costo di proprietà Un'unica variante copre l'intervallo di tensione di alimentazione 200-460 V, 50/60 Hz Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nello stabilimento

Pompa per vuoto a secco Edwards iXL120 E 200-460VAC HIT 3/8 QC Raccordi per acqua con valvola di controllo del flusso. Codice articolo Edwards A54113611. La XL120 è una pompa a secco compatta, a basso consumo energetico, da 110 m3h-1 per la movimentazione di wafer e altre applicazioni pulite. Fornisce un rapido svuotamento delle camere di blocco del carico con un consumo energetico estremamente basso. iXL120 è una delle pompe più piccole e leggere disponibili per applicazioni di blocco del carico e pulizia. Le sue basse vibrazioni e i bassi livelli di rumore lo rendono ideale per il montaggio sull'utensile o all'interno del pavimento waffle di una fabbrica, contribuendo a risparmiare spazio prezioso sul pavimento della fabbrica. Una modalità ecologica consente un utilizzo ridotto delle utenze durante i periodi di inattività, abbassando i costi delle utenze e contribuendo a salvare l'ambiente. Il tempo di inattività della pompa della camera, leader della categoria, riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) Il consumo energetico di soli 0,55 kW aiuta a ridurre al minimo i costi di proprietà per il cliente La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nella fabbrica I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare, con vibrazioni ridotte senza manutenzione di routine L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente opzioni di percorso e posizione efficienti della linea principale L'opzione di spurgo zero di azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando installazione e costi operativi Edwards iXL120 Caratteristiche e vantaggi: L'opzione di spurgo senza azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando costi di installazione e operativi I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare e con vibrazioni ridotte senza manutenzione ordinaria L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente un percorso e una posizione efficienti della linea principale opzioni La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività Il tempo di inattività della pompa della camera leader della categoria riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Il consumo energetico di soli 0,55 kW1 aiuta a ridurre al minimo il consumo energetico costo di proprietà Un'unica variante copre l'intervallo di tensione di alimentazione 200-460 V, 50/60 Hz Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nello stabilimento

Pompa per vuoto a secco Edwards iXL120 E 200-460 V CA MCM 3/8 QC Raccordi per acqua con valvola di controllo del flusso. Codice articolo Edwards A54113711. La XL120 è una pompa a secco compatta, a basso consumo energetico, da 110 m3h-1 per la movimentazione di wafer e altre applicazioni pulite. Fornisce un rapido svuotamento delle camere di blocco del carico con un consumo energetico estremamente basso. iXL120 è una delle pompe più piccole e leggere disponibili per applicazioni di blocco del carico e pulizia. Le sue basse vibrazioni e i bassi livelli di rumore lo rendono ideale per il montaggio sull'utensile o all'interno del pavimento waffle di una fabbrica, contribuendo a risparmiare spazio prezioso sul pavimento della fabbrica. Una modalità ecologica consente un utilizzo ridotto delle utenze durante i periodi di inattività, abbassando i costi delle utenze e contribuendo a salvare l'ambiente. Il tempo di inattività della pompa della camera, leader della categoria, riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) Il consumo energetico di soli 0,55 kW aiuta a ridurre al minimo i costi di proprietà per il cliente La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nella fabbrica I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare, con vibrazioni ridotte senza manutenzione di routine L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente opzioni di percorso e posizione efficienti della linea principale L'opzione di spurgo zero di azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando installazione e costi operativi Edwards iXL120 Caratteristiche e vantaggi: L'opzione di spurgo senza azoto elimina la necessità di una fornitura di azoto, risparmiando costi di installazione e operativi I cuscinetti di precisione lubrificati ad olio garantiscono un funzionamento regolare e con vibrazioni ridotte senza manutenzione ordinaria L'esclusiva disposizione a doppia entrata consente un percorso e una posizione efficienti della linea principale opzioni La modalità Green può ridurre il consumo energetico fino al 92% durante i periodi di inattività Il tempo di inattività della pompa della camera leader della categoria riduce il tempo di ciclo medio totale (TACT) L'alimentazione idrica fino a 35°C aiuta a ridurre i requisiti di acqua di raffreddamento dell'impianto Il consumo energetico di soli 0,55 kW1 aiuta a ridurre al minimo il consumo energetico costo di proprietà Un'unica variante copre l'intervallo di tensione di alimentazione 200-460 V, 50/60 Hz Estremamente piccolo e leggero, aiuta a risparmiare spazio prezioso nello stabilimento

Pompa per vuoto a secco Edwards iXL600N. Alimentazione trifase 200-460 V 50/60 Hz. 600 m3h-1 Velocità di pompaggio di picco. Include: Raccordi dell'acqua a connessione rapida 3/8. Codice Edwards: A54134010 L'iXL600N è una combinazione di pompa a secco e sistema booster. I sistemi sono destinati all'uso in applicazioni leggere e la variante N è dotata di un modulo gas che fornisce gas di spurgo azoto alle aree del meccanismo della pompa. Lo statore, il motore e gli azionamenti dell'inverter sono raffreddati ad acqua. I sistemi di pompaggio possono essere controllati dal pannello frontale, da un accessorio PDT o dallo strumento tramite MicroTIM. I sistemi di pompaggio a secco sono destinati all'uso in applicazioni con blocco del carico e per impieghi leggeri. Le applicazioni comuni includono blocco del carico, trasferimento, metrologia, litografia, processo PVD e pre-pulizia PVD.

Terminale display pompa Edwards GX, iGX, iXH, iXM e iXL, 5 vie, connettore XLR, modulo display con tastierino portatile. Numero parte Edwards: D37280700 Terminale display pompa Edwards GX, iGX, iXH, IXM e iXL Spina XLR a 5 vie. Display portatile per sistemi con pompa a secco serie Edwards GX, iGX e iXL120 con connessione XLR a 5 vie. Numero di parte del vuoto Edwards D37280700.

Modulo Edwards SPI Micro TIMD37360310Il modulo SPI Micro TIM fornisce l'interfaccia dello strumento Edwards SPI per le pompe a secco con uno slot Micro TIM. È possibile utilizzare un modulo SPI Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. SPI Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Micro TIM MCM EdwardsD37360320Il modulo MicroTIM MCM fornisce l'interfaccia dello strumento MCM Edwards per le pompe a secco con uno slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo MCM Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando un'interfaccia digitale parallela. MCM Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Serie GXS (solo versione MCM) Serie CXS (solo versione MCM) Se questi moduli sono già presenti, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Ad esempio, una pompa può essere aggiornata da iH a iHs senza cambiare il modulo di interfaccia. MCM Micro TIM ha compatibilità AUC con le pompe della serie GXS e CXS. Equivalente a iH iTIM D37422000 - MCM. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Edwards TEL Micro TIMD37360330Il modulo TEL Micro TIM fornisce l'interfaccia dello strumento Edwards TEL per le pompe a secco con uno slot Micro TIM. È possibile utilizzare un modulo TEL Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. TEL Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Micro TIM Edwards Semi E73D37360340Il modulo Micro TIM Semi E73 fornisce un'interfaccia strumento conforme a Semi E73 per pompe a secco con slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo Micro TIM Semi E73 per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. Il Semi E73 Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi a più pompe con un controller di sistema. Se questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Edwards LAM Alliance Micro TIMD37360350LAM Alliance MicroTIM fornisce un'interfaccia strumento alle piattaforme LAM Alliance per pompe a secco con uno slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo LAM Alliance Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. LAM Alliance Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Edwards Novellus C3 Micro TIMD37360360Novellus C3 Micro TIM fornisce un'interfaccia strumento alle piattaforme Novellus C3 per pompe a secco con uno slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo Novellus C3 Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. Novellus C3 Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Modulo Edwards Hitachi Micro TIMD37360370Hitachi MicroTIM fornisce l'interfaccia strumento Hitachi per pompe a secco con uno slot MicroTIM. È possibile utilizzare un modulo Hitachi Micro TIM per fornire il controllo e il monitoraggio di una varietà di pompe Edwards tramite lo strumento di processo, utilizzando l'interfaccia digitale parallela. Hitachi Micro TIM è compatibile con le seguenti pompe Edwards. Serie EPX Serie iGX Serie GX Serie iXH Serie iXL Anche per l'uso su sistemi multipompa con un controller di sistema. Laddove questi moduli esistono già, possono essere utilizzati per fornire il controllo e il monitoraggio della pompa mediante lo strumento di processo o altre apparecchiature di controllo. Controlla Micro TIM o iTIM manuals.pdf nella nostra sezione download a sinistra per l'input di connessione parallela e informazioni sulla compatibilità.

Spina per pompa a semiconduttore a secco iXL Edwards utilizzata per realizzare il cavo di alimentazione per le pompe per vuoto serie iXL. Si tratta di un kit di spine per pompa a semiconduttore a secco Edwards iXL per realizzare il cavo di alimentazione di rete in ingresso per le pompe per vuoto a semiconduttore della serie Edwards iXL. Funziona con iXL120 e altri modelli.

Cavo Edwards EMO per l'installazione di una pompa a semiconduttore a secco serie iXL o iXH di nuovo tipo su un attrezzo con pompe serie iH vecchio stile esistenti. Ideal Vacuum fornisce il nostro cavo di interfaccia, che consente la sostituzione di una pompa della serie iH di vecchio stile con lo stile IXL120N, iXH100 o iXH610. Questo cablaggio EMO è utile per le applicazioni in cui uno strumento per semiconduttori ha più pompe iH vecchio stile collegate nel sottofab. Questo cavo del modulo di interfaccia continua il circuito EMO attraverso le rimanenti pompe iH vecchio stile e attraverso la nuova pompa sostitutiva iXL120N. Le connessioni ei diversi moduli di interfaccia sono descritti in dettaglio di seguito. Questo cavo è generalmente collegato da P2 (uscita) di iTIM sul lato sinistro iH, al connettore di arresto di emergenza (EMS) su iXL120N, a J1 (ingresso) di iTIM sulla pompa iH lato destro (vedere i dettagli nella nostra nota applicativa in formato pdf) . Il problema è che le pompe della serie Edwards iH sono ora fuori produzione e non sono più disponibili. Ideal Vacuum dispone delle pompe sostitutive, iXL120N per blocco del carico, iXH100 (sostituisce iH80), iXH610 (sostituisce iH600) e così via. La nuova pompa iXL120N non ha un pulsante EMO sulla parte anteriore come le vecchie pompe IH (vedere i dettagli nella nostra nota applicativa). L'iTIM di Edwards è stato spesso configurato con pompe per vuoto a semiconduttore a secco della serie Edwards iH di vecchio stile, in cui più pompe sono collegate a un singolo utensile a semiconduttore nel sub-fab. Il cablaggio EMO è impostato per arrestare lo strumento se viene premuto un EMO su una qualsiasi delle pompe della serie iH, in genere sono cablati in serie, in una configurazione a margherita.