Edwards 電源コネクタ キットは、iXH 真空ポンプ用の電源ケーブルの作成に使用されます。これは、Edwards iXH シリーズ半導体真空ポンプ用の入力主電源ケーブルを作成するための Edwards iXH ドライ半導体ポンプ プラグ キットです。 iXH100、iXH610、iXH1210H、iXH1220H、その他のモデルで動作します。

Edwards QDP、iQDP、iH、および iL ウォーター コネクタ プラグ/ダスト キャップ、メス クイック カップリング ISO B、3/8 NPT (National Pipe Thread) 用に設計、これはゴム製プラグのみでフィッティングはありません。これらのクイック カップリング保護カバーは、Edwards QDP、iQDP、iH、および iL ウォーター コネクタのオス プラグ キャップに適合するように設計されています。

Edwards QDP、iQDP、iH、および iL ウォーター コネクタ、オス クイック カプラー、ISO B、真鍮、3/8 カプラー ボディ X 3/8 オス NPT。 Edwards QDP、iQDP、iH、および iL ウォーター コネクタ、オス クイック カプラー、ISO B、真鍮、3/8 カプラー本体 X 3/8 オス NPT (ナショナル パイプ スレッド)。

Edwards QDP、iQDP、iH、および iL ウォーター コネクタ、メス クイック カップリング、ISO B、真鍮、3/8 カプラー ボディ X 3/8。 Edwards QDP、iQDP、iH、および iL ウォーター コネクタ、メス クイック カップリング、ISO B、真鍮、3/8 カプラー本体 X 3/8 メス NPT (ナショナル パイプ スレッド)。

M8x1.25、30mm メトリックソケットネジ、100 個入りボックス、Edwards iH600、iH1000、および iH1800 ドライ半導体ポンプ用 LF63-100 フィッティングおよびインテークネジ これは、M8x1.25、長さ 30mm メトリックソケットヘッドキャップネジ 100 個の箱です、クラス 12.9 合金鋼、黒色酸化仕上げ。これらのネジは、タップ付きネジ穴 ISO LF NW63、NW80、および NW100 フィッティングに適合します。これらのネジは、Edwards Dry Semiconductor 真空ポンプ、モデル iH600、iH1000、および iH1800 の吸気口にも適合します。

Edwards iQ システム ターミネータ プラグ、iQDP および iH ドライ半導体真空ポンプ用Edwards iQ システム ターミネータ プラグ、iQDP-40 および iQDP-80 ドライ半導体真空ポンプ用。このプラグがないとシステムに電力を供給できません。

エドワーズ トランジット シール ビッグ 半導体ポンプ iL70、IH600、IH600MK、IH600MK2 エドワーズ トランジット シール ビッグ、半導体ポンプ iL70、IH600、IH600MK、IH600MK2 用。 iH600 PTFE シール-B。

IH 80 および IH 160 ドライ真空ポンプ用 Edwards 第 2 ステージ ローター クロー Edwards 真空部品番号 40801724 これらの Edwards 第 2 ステージ ローターは、Edwards IH 80 および IH 160 ドライ真空ポンプ用です。部品の分解図は、以下の「利用可能なダウンロード」から .pdf をダウンロードして入手できます。

IH 80 および IH 160 ドライ真空ポンプ用 Edwards サード ステージ X ローター クローEdwards 真空部品番号 40801726 これらの Edwards サード ステージ X ローターは、Edwards IH 80 および IH 160 真空ポンプ用です。部品の分解図は、以下の「利用可能なダウンロード」から .pdf をダウンロードして入手できます。

IH 80 および IH 160 ドライ真空ポンプ用 Edwards 第 4 段階 X ローター クローEdwards 真空部品番号 40801728 これらの Edwards 第 4 段階 X ローターは、Edwards IH 80 および IH 160 ドライ真空ポンプ用です。部品の分解図は、以下の「利用可能なダウンロード」から .pdf をダウンロードして入手できます。

Edwards IH 80 および IH 160 ドライ真空ポンプ用 Edwards セカンド ステージ Y ローター クロー Edwards 真空部品番号 40801725 これらの Edwards セカンド ステージ ローターは、Edwards IH 80 および IH 160 ドライ真空ポンプ用です。部品の分解図は、以下の「利用可能なダウンロード」から .pdf をダウンロードして入手できます。

IH 80 および IH 160 ドライ真空ポンプ用 Edwards サードステージ Y ローター クロー Edwards 真空部品番号 40801727 これらの Edwards サードステージ Y ローターは、Edwards IH 80 および IH 160 ドライ真空ポンプ用です。部品の分解図は、以下の「利用可能なダウンロード」から .pdf をダウンロードして入手できます。

IH 80 および IH 160 ドライ真空ポンプ用 Edwards 第 4 段階 Y ローター クロー Edwards 真空部品番号 40801729 これらの Edwards 第 4 段階 Y ローターは、Edwards IH 80 および IH 160 真空ポンプ用です。部品の分解図は、以下の「利用可能なダウンロード」から .pdf をダウンロードして入手できます。

IH 80 および IH 160 ドライ真空ポンプ用 Edwards HV ローター クローEdwards 真空部品番号 40801723 これらの Edwards HV ローターは、Edwards IH 80 および IH 160 ドライ真空ポンプ用です。部品の分解図は、以下の「利用可能なダウンロード」から .pdf をダウンロードして入手できます。

IH 80 および IH 160 ドライ真空ポンプ用 Edwards LV ローター Edwards 真空部品番号 40801730 これらの Edwards LV ローターは、Edwards IH 80 および IH 160 真空ポンプ用です。部品の分解図は、ダウンロードの横にある .pdf をダウンロードすると入手できます。

新しい Edwards 排気逆止弁、IH、QDP、IQDP ドライ ポンプ、KF 40 接続フランジ用これらの Edwards 真空ポンプ排気逆止弁は通常、電源オフ時に空気がポンプを通って逆流するのを防ぐために使用されます。これらは単なる一方向弁であり、空気の逆流を防ぐように設計されています。これらの逆止弁の 1 つを取り付けても、ポンプは最終的には大気圧まで上昇します。これらの逆止弁は、プロセスパウダーが大量の空気の流入によって後方に吹き飛ばされるのを防ぐ取り組みに役立ちます。これらは通常、Edwards ドライ半導体ポンプ、iH、QDP、および iQDP ドライ ポンプで使用されます。

NEW Edwards 排気チェックバルブキット IH、QDP、IQDP ドライポンプ用、KF 40 接続フランジこれは Edwards 真空ポンプの排気チェックバルブキットです。これは通常、電源がオフになっているときに空気がポンプを通って逆流するのを防ぐために使用されます。これらは単なる一方向弁であり、空気の逆流を防ぐように設計されています。これらの逆止弁の 1 つが取り付けられている場合でも、ポンプは最終的には大気圧まで上昇します。これらの逆止弁は、プロセスパウダーが大量の空気の流入によって後方に流されるのを防ぐのに役立ちます。通常、Edwards ドライ半導体ポンプ、iH、QDP、および iQDP ドライ ポンプで使用されます。排気チェック バルブ キットの内容: (2) KF-40 ヒンジ クランプ(2) KF-40 過圧センタリング リング(1) KF-40 排気チェックバルブ(1) KF-40 90度エルボ ステンレス

Edwards iXL ドライ半導体ポンプ プラグは、iXL シリーズ真空ポンプ用の電源ケーブルの作成に使用されます。これは、Edwards iXL シリーズ半導体真空ポンプ用の入力主電源ケーブルを作成するための Edwards iXL ドライ半導体ポンプ プラグ キットです。 iXL120およびその他のモデルで動作します。

新しいスタイルの iXL または iXH シリーズ ドライ半導体ポンプを既存の古いスタイルの iH シリーズ ポンプを備えたツールに取り付けるための Edwards EMO ケーブル。 Ideal Vacuum は独自のインターフェイス ケーブルを提供しており、古いスタイルの iH シリーズ ポンプを IXL120N、iXH100、または iXH610 のスタイルに置き換えることができます。この EMO ケーブル接続は、半導体ツールのサブファブに複数の古いスタイルの iH ポンプが接続されているアプリケーションに役立ちます。このインターフェイス モジュール ケーブルは、残りの古いスタイルの iH ポンプと新しいスタイルの iXL120N 交換用ポンプを介して EMO 回路を継続します。接続とさまざまなインターフェイス モジュールについては、以下で詳しく説明します。このケーブルは通常、左側の iH の iTIM の P2 (出力)、iXL120N の緊急停止 (EMS) コネクタ、右側の iH ポンプの iTIM の J1 (入力) に接続されます (詳細は、PDF 形式のアプリケーション ノートを参照してください)。 。問題は、Edwards iHシリーズのポンプが現在製造中止されており、入手できないことです。 Ideal Vacuum では、交換用ポンプ、ロード ロック用の iXL120N、iXH100 (iH80 の代替品)、iXH610 (iH600 の代替品) などを在庫しています。新しい iXL120N ポンプには、古いスタイルの IH ポンプのような前面に EMO ボタンがありません (詳細はアプリケーション ノートを参照)。 Edwards iTIM は、多くの場合、サブファブ内の単一の半導体ツールに複数のポンプが接続される旧式の Edwards iH シリーズ ドライ半導体真空ポンプで構成されていました。 EMO ケーブル配線は、iH シリーズ ポンプのいずれかで EMO が押された場合にツールをシャットダウンするように設定されています。これらのポンプは通常、デイジー チェーン構成で直列にケーブル接続されています。

Edwards iTIM E73 & Al & T1 & iH ポンプ用ゲート バルブ コントロール。 PN: D37420000。 iTIM を使用すると、パラレル デジタル インターフェイスを使用して、プロセス ツールによる IH ポンプの制御と監視を行うことができます。 iTIM には多くの高度な機能があります。 • 各 iTIM で最大 3 つの異なるタイプのツール インターフェイスにデジタル接続。• ポンプ後部への便利な取り付け、迅速な 2 点固定。• AUC 機能を簡単にカスタマイズできる構成可能な接続。• ゲート バルブ制御は、このモジュールは標準です。 • iTIM には設定値ストアがあり、特定のプロセスまたはレシピに関連するポンプ設定値を保存できます。これらの設定値は、ポンプを交換したときの新しいポンプも含め、電源投入時に自動的にポンプにロードされます。これらのモジュールがすでに存在する場合は、プロセス ツールまたはその他の制御機器によるポンプの制御と監視を行うために利用できます。たとえば、インターフェースモジュールを変更せずにポンプを iH から iHs にアップグレードできます。ただし、iTIM は iM モジュールよりも優れたパフォーマンスを提供します。たとえば、完全な AUC 機能は iTIM を使用した場合にのみ使用できます。すべての新規インストールでは iTIM が推奨されます。さらに詳しい手順については、505-872-0037 までお電話ください。