NEW エドワーズ IH、QDP、IQDP ドライポンプ用排気逆止弁、KF 40 接続フランジ
これらの Edwards 真空ポンプの排気逆止弁は通常、電源がオフになっているときに空気がポンプを通って逆流するのを防ぐために使用されます。これらは単なる一方向弁であり、空気の逆流を防ぐように設計されています。これらの逆止弁の 1 つを取り付けても、ポンプは最終的には大気圧まで上昇します。これらの逆止弁は、プロセスパウダーが大量の空気の流入によって後方に吹き飛ばされるのを防ぐのに役立ちます。これらは通常、Edwards ドライ半導体ポンプ、iH、QDP、および iQDP ドライ ポンプで使用されます。