6x6 表示窓プレート用の理想的な真空キューブ交換窓、3/8 インチ溶融石英

これは、Ideal Vacuum Cube 6x6 Viewing Window AssembIy 用の溶融石英交換用ウィンドウです。傷、曇り、または変色したガラス窓を交換またはアップグレードするために使用します。これは、6x6x6 または 6x6x12 キューブで使用されている表示ウィンドウ ペインを置き換えるものです。

当社の溶融石英ウィンドウは最高品質の天然石英を使用して製造されており、最高レベルの純度、最小限のインクルージョンと気泡レベルを実現します。 Heraeus TSC-3 と比較して、これらのウィンドウは透過率が向上し、標準のガラスよりも有効波長範囲が広くなります。屈折率変化が少ない、熱膨張係数が低いなどの特徴があります。溶融石英は、プラズマ エッチングや堆積システムなどの半導体アプリケーションに使用され、低アルカリおよび低アルミニウム含有量が指定されている場合に推奨されます。高いレーザー損傷閾値が必要とされる可視および近～中赤外線波長の透過光学系によく使用されます。溶融石英には 2600 ～ 2900 nm の領域に吸収帯があり、溶融石英に似ていますが、それほど強力ではありません。 270 nm 領域に吸収があるため、UV 作業には適していません。

Ideal Vacuum はプレミアム ウィンドウ製品として溶融シリカに移行しているため、溶融石英の在庫は限られていることに注意してください。また、溶融石英ウィンドウには、誤って溶融シリカ部品番号がラベル付けされている場合があることにも注意してください。販売請求書を確認することで、窓の材質を確認できます。

標準的な低鉄強化ガラスまたは溶融シリカを使用した交換用 Cube 窓ガラスも提供しています。強化ガラスは、粗加工または高真空チャンバープロセスの一般的な直接観察に一般的に使用され、チャンバーコンポーネントの光学的位置合わせを容易にしたり、流体の脱気を観察したり、直接観察によって真空内プロセスを指導したりするために使用できます。ガラス材質は標準的な低鉄フロートガラスです。表面品質と平坦度は ASTM 1036-06 および 1048-04 に基づく Q4 です。ガラスの鉄含有量が低いため、わずかに青みがかった色合いになります。この経済的なガラスは、可視波長以下または近赤外 (NIR) 波長を超えるレーザー実験には適していません。

当社の高純度溶融シリカ交換ウィンドウは、両面とも光学グレードに研削および研磨されており、全厚さ変動 (TTV) は 10μm 未満、表面仕上げは S/D 40/20、表面粗さは Ra < 1 nm です。これらの窓は、標準のガラスよりも透過率が大幅に向上し、有効波長範囲が広くなります。特徴としては、非常に低い屈折率変化、低い複屈折値、および超低い熱膨張係数が挙げられます。溶融シリカは、高いレーザー損傷閾値が必要な透過光学系に使用されます。溶融シリカは、深紫外、可視、および近赤外の波長範囲で動作する光学部品に使用されます。


新しいバージョンの表示ウィンドウ アセンブリは現場でアップグレードできます。手順については、IVP Cube Viewing Window Assembly Manual をダウンロードしてください。

古いビューイング ウィンドウ プレート アセンブリをお持ちの場合 (裸のアルミニウム ウィンドウ フレームがない場合) 、交換用ウィンドウをご注文いただくと、ビューイング ウィンドウ アセンブリ全体を最新バージョンに無料でアップグレードします。最新バージョンにはより厚いガラスが含まれており、漏れに対する耐性が強化されています。新しい交換用ウィンドウを購入する際は、古いモデルをお持ちであることを (電話または電子メールで) お知らせください。古いビューイング ウィンドウ プレート アセンブリをお送りいただくために、RMA と返送ラベルを提供します。古いプレートアセンブリを受け取ったら、完全にテストされ、更新された完全なアセンブリをお送りします。古いプレートアセンブリは返却されません。

注:すべての表示ウィンドウまたはビューポートは本質的に壊れやすいため、慎重に取り扱う必要があり、使用前に必ず検査してください。理想的な真空観察窓は真空専用に設計および定格されており、急激な温度変化 (>10°C/分) にさらされると熱衝撃を受けやすくなります。窓を通してレーザー光線を照射する場合は、レーザーの波長が窓の材質を適切に透過できることを確認してください。 IVP Cube Viewing Window Assembly Manual をダウンロードして、安全上の警告をすべてお読みください。