Agilent TPS-Flexy 真空システム (84FS ターボ、ISO63 インレット、MD1 ダイヤフラム、オンボード付き) 120-240V

TPS-flexy: 自分で掃除機をかける! Twistorr 84 FS ISO63 インレット、オンボード コントローラー、MD1 ダイアフラム ポンプを備えた統合ターボ ポンプ システムを作成します。これらはプラグアンドポンプの高真空システムおよび超高真空システムです。コンパクトで信頼性の高い、完全に統合された真空ソリューションは、大気から UHV 1x10-9 Torr までの幅広い排気速度を備えた大容量として利用可能です。革新的に信頼性が向上した TwisTorr FS ターボ分子真空ポンプ (84FS または 304FS) が登場しました。システムをすぐに起動して実行するには、Flexy キットに付属の簡単な組み立て説明書に従ってください。

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アプリケーションには以下が含まれます:

• UHV システムのポンプダウン
• イオンポンプ荒加工
• ランプとチューブの加工
• クライオポンプ再生
• 高真空システムの操作
• 高真空および超高真空システムのベークアウト

この Agilent Varian TPS-Flexy には次のコンポーネントが含まれています。

• Agilent Varian 84 FS TwisTorr ターボ分子ポンプ、ISO63 インレット、49 l/s 窒素、部品番号 X3502-64000
• Agilent Varian 84 オンボードナビゲータコントローラ、PN X3509-64000
• Agilent Varian ラック&オンボードコントローラ用空冷ファンキット、PN 9699290
• Agilent Varian MD1 ダイアフラム ポンプ PN: 9499432M001
• ISO63 インレットスクリーン、部品番号 PN: X3502-68001
• AC 電源コード、3 メートル、部品番号 9699958

この Agilent Varian TPS-Flexy は完全な自己完結型真空システムで、プラグを差し込んでポンプを下げるだけです。必要なのは、チャンバーまたは真空プロセスに接続するために必要なハードウェアと圧力計だけです。

Agilent Varian 84 FS ターボ分子真空ポンプに関する注意事項
これらの Agilent Varian TwisTorr 84 FS ターボ分子高真空ポンプは、以前の V-81M、V-81T ターボ ポンプに比べて新しく驚くべき改良が施されています。これらの改善には、Twistorr ドラッグ ステージ テクノロジーと Agilent フローティング サスペンションが含まれます。 TwisTorr ドラッグ ステージは、水素やヘリウムなどの軽ガスの高い圧縮比を生み出し、高スループットと高いフォアライン圧力耐性を実現し、それによってより小型でより経済的な補助ポンプの使用を可能にします。この技術により、エネルギー効率が高く、低い動作温度を維持するコンパクトなローター設計が実現します。 Agilent フローティング サスペンション システムは、騒音と振動を低減し、最適なベアリング動作条件を確保して動作寿命を延ばし、システムのダウンタイムを最小限に抑え、長期にわたり安定したポンプ性能を保証します。 Agilent TwisTorr 84 FS の独自のベアリングと乾式潤滑により、オイルとメンテナンスが不要になり、どの向きでもポンプを操作できます。

Agilent Varian TwisTorr ターボ ポンプは、実際のアプリケーションで最適なパフォーマンスを発揮できるように設計されており、Agilent TPS ベンチ真空システムにうまく統合されます。これらの新しい Agilent TwisTorr 84 FS ターボ ポンプは、メンテナンスを最小限またはまったく必要とせず、誤使用から保護します。これらのポンプには銅製の水冷チャネルがあり、熱伝達を最適化し、水の消費量と所有コストを削減します。 ISO63 インレットフランジを備えた Agilent Varian TwistTorr 84 FS ターボポンプは、窒素の排気速度 49 l/s、KF-16 フォアラインフランジ、周囲動作温度 5 °C ～ +35 °C を備えています。これらの 84 FS ポンプの起動時間は 2 分未満、回転速度は 81000 rpm です。冷却要件は、周囲温度が 5 ～ 35 °C の条件の場合は最小限の強制空気、または最小流量: 65 l/h (0.30 GPM)、水温が +15 °C ～ +25 °C の場合の水冷です。水圧は45〜75 psi。 TwisTorr 84 FS ターボ ポンプの PDF ユーザー取扱説明書は、以下からダウンロードできます。

Agilent Varian 84FS オンボードナビゲータコントローラに関する注意事項
これらの Varian Agilent TwisTorr 84 FS Navigator コントローラは、シングル チップ マイクロコンピュータによって駆動され、電源と 3 相出力、アナログと I/O セクション、マイクロプロセッサとデジタル セクションを含む 2 つの PCB で構成されています。この電源は、三相出力とともに、単相 AC 主電源または 24Vdc 電源を、ポンプに電力を供給するために必要な三相低電圧の中周波出力に変換します。これらのコントローラにはシリアル ポート RS-232/485 があり、ポンプをシステム制御と接続し、T-Plus ソフトウェアを備えた PC 経由でポンプを操作できるようになります。 (ソフトウェアは別売りです)。これらの Varian Agilent TwisTorr 84 FS Navigator コントローラは新品で、製造保証が付いています。完全な仕様、コントローラーの機能、および取扱説明書については、以下の PDF をダウンロードしてご覧ください。
Agilent Varian MD1 ダイヤフラムポンプに関する注意事項
MD1 ダイヤフラム ポンプは、オイルフリーでの使用と、到達真空度 1.5 mbar までの非腐食性ガスの排気用に最適化されています。 3 ステージ設計と優れた誘導フラット ダイアフラムを備えた MD1 は、到達真空近くでも優れた排気速度を提供します。 MD1 は振動が非常に低く、ダイヤフラムの寿命が長く、比類のない安定性で到達真空度を維持できます。ダイヤフラムは PTFE/FKM で構成されており、これらのポンプは幅広い非腐食性用途に最適です。