Edwards AIGX-S アクティブ ION ゲージ デュアル イットリア コーティングイリジウム フィラメント DN16CF Con flat CF 1.33 インチ フランジ。 10 -2トル~10 -10トルエドワーズ部品番号 D04851000
Edwards のコンパクトなアクティブ イオン ゲージは、イットリアでコーティングされたデュアル イリジウム フィラメントを備え、5 x 10
-2 Torr ~ 5 x 10
-10 Torr の広い測定範囲と 1 ボルト/ディケードのリニア出力を備えています。 Edwards の新しい AIGX-S ゲージには、一体型電子機器と
ユーザーが交換可能なセンサー チューブを備えた、業界標準のアクティブ ゲージング コンセプトの利点がすべて組み込まれています。このゲージにはガス抜き機能があり、フィラメントを保護して寿命を延ばす機能が含まれています。 AIGX-S は、荷電粒子の放出が極めて低いというメリットがあるため、バックグラウンド ノイズが望ましくないプロセスに最適です。アクティブ ゲージ ケーブル FCC68/RJ45 およびコントローラーは付属しません。この AIGX-S アクティブ イオン ゲージの仕様と機能の詳細については、以下の利用可能なダウンロードから取扱説明書 .pdf をダウンロードしてください。
特徴は次のとおりです。- 5 x 10 -2から 5 x 10 -10 Torr までの 8 ディケイドの完全な圧力測定
- 荷電粒子プロセスを最大 30 分の 1 に削減
主要な競合他社と比較した汚染 - ユーザー交換可能なイオンセンサーチューブ
- CSA、C/US承認済み
- スイッチオンに対する自動フィラメント保護
ATM および高圧での運転または脱気